KR970052673A - 스핀스크루버의 브러쉬에이징장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체장치의 제조공정중 웨이퍼상에 미세한 파티클을 브러쉬와 회전에 의해 제거하는 스핀스크루버(spin scrubber)의 브러쉬에이징장치에 관한 것으로서, 상기 브러쉬(14)를 지지하는 브러쉬홀더(42)와; 상기 브러쉬홀더(42)를 회전시키는 회전수단 및 상기 브러쉬에 초순수를 분사시키는 초순수분사수단을 구비하여 상기 브러쉬를 부드럽게 연화시키는 구성을 갖는다. 상술한 브러쉬에에이징장치에 의하면, 기존의 스핀스크루버가 아닌 별도의 장치에서 브러쉬를 부드럽게 연화시킬수 있기 때문에, 스핀스크루버의 가동율을 높힐 수 있고, 또한 브러쉬를 다량 에이징시켜서 브러쉬 교체후 즉시 웨이퍼의 세정공정을 실행할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (3)
- 웨이퍼상에 파티클을 제거하는데 사용되는 브러쉬구동설비에 장착되는 브러쉬(14)를 에이징하기 위한 브러쉬에이징시스템에 있어서, 상기 브러쉬(14)를 지지하는 브러쉬홀더(42)와; 상기 브러쉬홀더(42)를 회전시키는 회전수단과; 상기 브러쉬에 초순수를 공급하는 초순수공급수단을 구비한 것을 특징으로 하는 브러쉬에이징시스템.
- 제1하에 있어서, 상기 회전수단은 모터(40)와, 상기 시스템에 고정되어 있고 그리고 상기 모터(40)를 고정시키는 모터지지부(42)와. 상기 모터(40)에서 발생된 회전력을 브러쉬로 제공하고 그리고 상기 브러쉬를 고정시키는 브러쉬홀더(44)를 포함하는 것을 특징으로 하는 브러쉬에이징시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 초순순공급수단은 상기 브러쉬홀더의 회전시 상기 브러쉬의 표면에 초순수를 공급하는 초순수공급라인(32)과; 상기 공급된 초순수와 브러쉬에이징시에 발생되는 부산물을 배출시키는 배출라인(34)를 구비하는 것을 특징으로 하는 브러쉬에이징시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950059266A KR970052673A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 스핀스크루버의 브러쉬에이징장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950059266A KR970052673A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 스핀스크루버의 브러쉬에이징장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970052673A true KR970052673A (ko) | 1997-07-29 |
Family
ID=66618744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950059266A KR970052673A (ko) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 스핀스크루버의 브러쉬에이징장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970052673A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100790273B1 (ko) * | 2003-12-12 | 2007-12-31 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 펜슬 스펀지 클리닝 장치 및 그 방법 |
| KR101482046B1 (ko) * | 2013-05-23 | 2015-01-13 | (주)제이씨이노텍 | 브러시 및 브러시 에이징 설비 |
| KR20150061105A (ko) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | 세메스 주식회사 | 세정 유닛 및 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-12-27 KR KR1019950059266A patent/KR970052673A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100790273B1 (ko) * | 2003-12-12 | 2007-12-31 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 펜슬 스펀지 클리닝 장치 및 그 방법 |
| KR101482046B1 (ko) * | 2013-05-23 | 2015-01-13 | (주)제이씨이노텍 | 브러시 및 브러시 에이징 설비 |
| KR20150061105A (ko) * | 2013-11-25 | 2015-06-04 | 세메스 주식회사 | 세정 유닛 및 기판 처리 장치 |
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |