KR970048407A - 마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법 - Google Patents

마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970048407A
KR970048407A KR1019950049254A KR19950049254A KR970048407A KR 970048407 A KR970048407 A KR 970048407A KR 1019950049254 A KR1019950049254 A KR 1019950049254A KR 19950049254 A KR19950049254 A KR 19950049254A KR 970048407 A KR970048407 A KR 970048407A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transmission line
parallel transmission
quarter
coaxial cable
wavelength
Prior art date
Application number
KR1019950049254A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0159203B1 (ko
Inventor
김종대
송윤호
조경익
Original Assignee
양승택
한국전자통신연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 양승택, 한국전자통신연구원 filed Critical 양승택
Priority to KR1019950049254A priority Critical patent/KR0159203B1/ko
Priority to JP8235402A priority patent/JPH09161992A/ja
Publication of KR970048407A publication Critical patent/KR970048407A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0159203B1 publication Critical patent/KR0159203B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

본 발명은 마이크로파 공진검침기(Microwave Resonance Probe) 및 이를 이용한 다이나믹 플라스마(Dynamic Plasma)의 밀도 측정방법에 관한 것으로, 측정 오차 및 측정상의 어려움을 최소화하여 비교적 낮은 플라스마의 밀도 및 국부적인 밀도를 측정하는데 이용할 수 있는 마이크로파 공진검침기 및 이를 이용한 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법에 관한 것으로, 1/4 파장 평행 전달선; 상기 1/4 파장 평행 전달선과 인접한 곳에 위치하며 동축케이블에 연결되고, 외부의 주파수 발생기의 출력을 입력받아 상기 1/4 파장 평행 전달선을 진동시키는 제1자기루프; 상기 1/4 파장 평행 전달선과 인접한 곳에 위치하며 동축케이블에 연결되고, 상기 1/4 파장 평행 전달선을 통해 전달된 신호를 외부의 출력장치로 출력하는 제2자기루프; 및 상기 1/4 파장 평행 전달선을에폭시를 이용하여 동축 케이블에 부착시키므로써 상기 1/4 파장 평행 전달선을 전기적으로 플로팅(floating) 시키는 결합수단으로 구성되고, 진공 밀봉된 것을 특징으로 한다.

Description

마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 미아크로파 공진검침기의 구조도.
제2도는 본 발명에 의해 마이크로파 공진검침기를 이용하여 다이나믹 플라스마를 밀도를 측정하기 위한 회로도.
제3도는 본 발명에 의해 다이나믹 플라스마의 밀도를 측정하는 방법의 흐름도.

Claims (2)

1/4 파장 평행 전달선; 상기 1/4 파장 평행 전달선과 인접한 곳에 위치하며 동축케이블에 연결되고, 외부의 주파수 발생기의 출력을 입력받아 상기 1/4 파장 평행 전달선을 진동시키는 제1자기루프; 상기 1/4 파장 평행 전달선과 인접한 곳에 위치하며 동축케이블에 연결되고, 상기 1/4 파장 평행 전달선을 통해 전달된 신호를 외부의 출력장치로 출력하는 제2자기루프; 및 상기 1/4 파장 평행 전달선을 에폭시를 이용하여 동축케이블에 부착시키므로써 상기 1/4 파장 평행 전달선을 전기적으로 풀로팅(floating)시키는 결합수단으로 구성되고, 진공 밀봉된 것을 특징으로 하는 마이크로파 공진검침기.
진공중에서의 공진주파수를 측정하는 제1단계; 다수의 플라스마 상태의 공진주파수에 의해 공진 시간을 측정하는 제2단계; 플라스마 주파수를 계산하는 제3단계; 및 플라스마 밀도를 계산하는 제4단계로 수행되는 것을 특징으로 하는 다이나믹 플라스마 밀도의 측정방법.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950049254A 1995-12-13 1995-12-13 마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법 KR0159203B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950049254A KR0159203B1 (ko) 1995-12-13 1995-12-13 마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법
JP8235402A JPH09161992A (ja) 1995-12-13 1996-09-05 マイクロ波共振検針器およびこれを利用したダイナミックプラズマの密度測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950049254A KR0159203B1 (ko) 1995-12-13 1995-12-13 마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970048407A true KR970048407A (ko) 1997-07-29
KR0159203B1 KR0159203B1 (ko) 1999-05-01

Family

ID=19439602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950049254A KR0159203B1 (ko) 1995-12-13 1995-12-13 마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH09161992A (ko)
KR (1) KR0159203B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100702974B1 (ko) * 1998-07-23 2007-04-04 나고야 다이가쿠쵸 플라즈마 생성용 고주파파워의 제어방법 및 플라즈마 발생장치

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8040138B2 (en) 2005-08-31 2011-10-18 National University Corporation Nagoya University Planar type frequency shift probe for measuring plasma electron densities and method and apparatus for measuring plasma electron densities
CN110351940B (zh) * 2019-06-11 2021-07-30 中国科学院合肥物质科学研究院 一种用于测量离子回旋辐射的高频磁探针诊断系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100702974B1 (ko) * 1998-07-23 2007-04-04 나고야 다이가쿠쵸 플라즈마 생성용 고주파파워의 제어방법 및 플라즈마 발생장치

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09161992A (ja) 1997-06-20
KR0159203B1 (ko) 1999-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4467235A (en) Surface acoustic wave interferometer
JPH02504555A (ja) レーダー雑音検査装置
ATE220461T1 (de) Impedanzmessgerät für resonanzstruktur
US4117731A (en) Pseudo continuous wave instrument
KR970048407A (ko) 마이크로파 공진검침기 및 다이나믹 플라스마의 밀도 측정방법
US2483768A (en) Microwave-acoustic wave translator
JPS59162412A (ja) 超音波距離測定装置
JPH04130294A (ja) 地中レーダトモグラフィ装置
Melcher et al. CW Transmission Spectrometer for Direct Detection of Nuclear Acoustic Resonance Utilizing Magnetic Field or Frequency Modulation
SU1659731A1 (ru) Устройство дл измерени уровн диэлектрического вещества
JPH05322699A (ja) 高距離分解能光伝送路測定装置
Mann et al. 183 GHz double diode subharmonically pumped mixer
SU381039A1 (ru) Устройство для измерения механических
JPS6017162B2 (ja) 導波管型マルチプレクサ
JPS62277947A (ja) 電界又は磁界測定方法と装置
RU2025669C1 (ru) Измеритель вибрации
US6647780B1 (en) Slow wave structure sensor with zero-based frequency output
SU1167541A1 (ru) Измеритель распределени электрических полей одиночных или редко-повтор ющихс мощных СВЧ радиоимпульсов
SU1446487A1 (ru) Радиоволновой измеритель колебаний
SU1191837A1 (ru) Устройство дл измерени импульсной проход щей мощности
JPH0378945B2 (ko)
SU786021A1 (ru) Устройство дл измерени длины кабел
JP2001021664A (ja) アンテナ近傍誘電率測定装置
SU1113753A1 (ru) Устройство дл измерени малых коэффициентов отражени
SU1473598A1 (ru) СВЧ-замедл юща система

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070730

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee