KR970030434A - 세정장치에 사용되는 레벨 센서 - Google Patents
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Abstract
화학용액의 파동에 의한 센싱불량을 방지할 수 있는 레벨 센서에 관하여 개시한다. 본 발명은 배스내에 유입되는 화학용액의 양을 레벨 센서 튜브를 이용하여 측정하는 세정장치의 레벨 센서에 있어서, 상기 화학용액의 유동에 의한 센싱불량을 방지할 수 있도록 상기 레벨 센서 튜브을 감싸는 레벨 센서 튜브가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서를 제공한다. 본 발명에 의하면, 화학용액의 파동에 의한 센싱불량을 방지함으로써 정확한 조성비를 갖는 화학용액으로 세정을 실시하여 공정불량을 방지할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 레벨 센시를 갖는 세정장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
Claims (4)
- 배스내에 유입되는 화학용액의 양을 레벨 센시 튜브를 이용하여 측정하는 세정장치의 레벨 센서에 있어서, 상기화학용액의 유동에 의한 센싱불량을 방지할 수 있도록 상기 레벨 센서 튜브을 감싸는 레벨 센서 튜브 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 레벨 센서 튜브가이드는 원통형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 레벨 센서 튜브가이드는 유리 또는 테플론(teflon) 재질로 구성하는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 레벨 센서 튜브가이드에 눈금이 기록되어 화학용액의 양을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950044262A KR970030434A (ko) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 세정장치에 사용되는 레벨 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950044262A KR970030434A (ko) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 세정장치에 사용되는 레벨 센서 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970030434A true KR970030434A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66589067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950044262A KR970030434A (ko) | 1995-11-28 | 1995-11-28 | 세정장치에 사용되는 레벨 센서 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970030434A (ko) |
-
1995
- 1995-11-28 KR KR1019950044262A patent/KR970030434A/ko not_active Application Discontinuation
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WITN | Withdrawal due to no request for examination |