KR970030434A - 세정장치에 사용되는 레벨 센서 - Google Patents

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KR970030434A
KR970030434A KR1019950044262A KR19950044262A KR970030434A KR 970030434 A KR970030434 A KR 970030434A KR 1019950044262 A KR1019950044262 A KR 1019950044262A KR 19950044262 A KR19950044262 A KR 19950044262A KR 970030434 A KR970030434 A KR 970030434A
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KR
South Korea
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level sensor
chemical solution
sensor tube
cleaning equipment
sensor used
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KR1019950044262A
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유동준
김용석
서영상
허동철
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
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  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
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Abstract

화학용액의 파동에 의한 센싱불량을 방지할 수 있는 레벨 센서에 관하여 개시한다. 본 발명은 배스내에 유입되는 화학용액의 양을 레벨 센서 튜브를 이용하여 측정하는 세정장치의 레벨 센서에 있어서, 상기 화학용액의 유동에 의한 센싱불량을 방지할 수 있도록 상기 레벨 센서 튜브을 감싸는 레벨 센서 튜브가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서를 제공한다. 본 발명에 의하면, 화학용액의 파동에 의한 센싱불량을 방지함으로써 정확한 조성비를 갖는 화학용액으로 세정을 실시하여 공정불량을 방지할 수 있다.

Description

세정장치에 사용되는 레벨 센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 레벨 센시를 갖는 세정장치를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

Claims (4)

  1. 배스내에 유입되는 화학용액의 양을 레벨 센시 튜브를 이용하여 측정하는 세정장치의 레벨 센서에 있어서, 상기화학용액의 유동에 의한 센싱불량을 방지할 수 있도록 상기 레벨 센서 튜브을 감싸는 레벨 센서 튜브 가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 레벨 센서 튜브가이드는 원통형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 레벨 센서 튜브가이드는 유리 또는 테플론(teflon) 재질로 구성하는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 레벨 센서 튜브가이드에 눈금이 기록되어 화학용액의 양을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 세정장치의 레벨 센서.
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