KR970018019A - 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 - Google Patents

이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 Download PDF

Info

Publication number
KR970018019A
KR970018019A KR1019950033258A KR19950033258A KR970018019A KR 970018019 A KR970018019 A KR 970018019A KR 1019950033258 A KR1019950033258 A KR 1019950033258A KR 19950033258 A KR19950033258 A KR 19950033258A KR 970018019 A KR970018019 A KR 970018019A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
exhaust pipe
vacuum pump
ion implantation
oil
oil vacuum
Prior art date
Application number
KR1019950033258A
Other languages
English (en)
Inventor
윤춘식
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019950033258A priority Critical patent/KR970018019A/ko
Publication of KR970018019A publication Critical patent/KR970018019A/ko

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조공정에 있어서 웨이퍼에 불순물을 주입하기 위해 이온주입 챔버 내부를 진공상태로 하기 위한 오일 진공 펌프의 배기관에 관한 것으로 좀더 상세하게는 진공을 유지하기 위한 오일 진공 펌프에 배기 가스의 역류를 방지하도록 별도의 쿨링공급수단을 마련하고, 진공펌프와 배기관 사이에 신축성이 우수한 벨로우즈관체를 연결시킴으로서 배기가스의 독성을 중화시킴과 배기관의 교체를 용이하게 할 수 있는 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관에 관한 것으로 반도체 웨이퍼의 오일 진공 펌프와 배기관의 연결부에 긴밀하게 접속결합된 벨로우즈관체와, 상기 배기관의 내주면에 배기 가스의 필터링이 가능하도록 설치된 쿨링 트랩 및 상기 쿨링 트랩에 연결되어 냉각된 배기가스가 유입되게 한 오일통이 구비됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관.

Description

이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 구조를 도시한 개략도.

Claims (1)

  1. 이온 주입 장비의 진공을 형성하기 위한 오일 진공 펌프와 배기관의 연결부에 긴밀하게 접속결합된 벨로우즈관체와, 상기 배기관의 내주면에 배기 가스의 필터링이 가능하도록 설치된 쿨링 트랩 및 상기 쿨링 트랩에 연결되어 냉각된 배기가스가 유입되게 한 오일통이 구비됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950033258A 1995-09-30 1995-09-30 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 KR970018019A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950033258A KR970018019A (ko) 1995-09-30 1995-09-30 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950033258A KR970018019A (ko) 1995-09-30 1995-09-30 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970018019A true KR970018019A (ko) 1997-04-30

Family

ID=66583399

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950033258A KR970018019A (ko) 1995-09-30 1995-09-30 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970018019A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100466702B1 (ko) * 1997-05-22 2005-05-27 액셀리스 테크놀로지스, 인크. 진공펌프용이중벽배기어셈블리,이온주입시스템및이중벽배기어셈블리를재구성하는방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100466702B1 (ko) * 1997-05-22 2005-05-27 액셀리스 테크놀로지스, 인크. 진공펌프용이중벽배기어셈블리,이온주입시스템및이중벽배기어셈블리를재구성하는방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2674317B1 (fr) Chambre de combustion de turbomachine comportant un reglage du debit de comburant.
SE9303470D0 (sv) Insugningsrör för en förbränningsmotor
JPS55139920A (en) Exhaust device for outside engine of boat
KR970018019A (ko) 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관
EP1585419A4 (en) VACUUM TUBE FOR VACUUM CLEANER
ES2094163T3 (es) Dispositivo de cilindro y piston.
AR007236A1 (es) Aparato eductor
GB2111122B (en) Silencer arrangement at the inlet of an i.c. engine air cleaner
KR930009500B1 (ko) 세정장치
SE9301411D0 (sv) Anordning vid en gasfjaeder
EP1571049A4 (en) GAS GENERATOR FOR AIRBAG
SU1160793A1 (ru) Устройство для конденсации газов или паров
KR100253563B1 (ko) 라미너 플로우 실현을 위한 쳄버구조를 가진 반도체 화학기상증착 장치
KR200167736Y1 (ko) 반도체 생산라인용의 상분리가 가능한 배기덕트
SU1435852A1 (ru) Фланцевое соединение паромасл ного высоковакуумного насоса
SU1631244A1 (ru) Теплова труба
SU1489865A2 (ru) Выт жной зонт дл местного отсоса
KR920019392A (ko) 기체상 유체의 분진 제거 방법과 장치
KR970057647A (ko) 광로 조절 장치의 증발 식각 장치
KR970011367A (ko) 청정 레조네이터
ES2169622A1 (es) Metodo y aparato para sacar una bomba sumergida en un deposito usando un tubo de baja presion.
JPS56152792A (en) Night soil purifier tank
RU96102332A (ru) Способ контроля герметичности газонаполненного и запаянного изделия
ATE373315T1 (de) Reinraum
KR950027974A (ko) 저압화학기상증착 장비의 반응실 오염원 제거방법

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
WITN Withdrawal due to no request for examination