KR970018019A - 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조공정에 있어서 웨이퍼에 불순물을 주입하기 위해 이온주입 챔버 내부를 진공상태로 하기 위한 오일 진공 펌프의 배기관에 관한 것으로 좀더 상세하게는 진공을 유지하기 위한 오일 진공 펌프에 배기 가스의 역류를 방지하도록 별도의 쿨링공급수단을 마련하고, 진공펌프와 배기관 사이에 신축성이 우수한 벨로우즈관체를 연결시킴으로서 배기가스의 독성을 중화시킴과 배기관의 교체를 용이하게 할 수 있는 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관에 관한 것으로 반도체 웨이퍼의 오일 진공 펌프와 배기관의 연결부에 긴밀하게 접속결합된 벨로우즈관체와, 상기 배기관의 내주면에 배기 가스의 필터링이 가능하도록 설치된 쿨링 트랩 및 상기 쿨링 트랩에 연결되어 냉각된 배기가스가 유입되게 한 오일통이 구비됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 구조를 도시한 개략도.
Claims (1)
- 이온 주입 장비의 진공을 형성하기 위한 오일 진공 펌프와 배기관의 연결부에 긴밀하게 접속결합된 벨로우즈관체와, 상기 배기관의 내주면에 배기 가스의 필터링이 가능하도록 설치된 쿨링 트랩 및 상기 쿨링 트랩에 연결되어 냉각된 배기가스가 유입되게 한 오일통이 구비됨을 특징으로 하는 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950033258A KR970018019A (ko) | 1995-09-30 | 1995-09-30 | 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950033258A KR970018019A (ko) | 1995-09-30 | 1995-09-30 | 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970018019A true KR970018019A (ko) | 1997-04-30 |
Family
ID=66583399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950033258A KR970018019A (ko) | 1995-09-30 | 1995-09-30 | 이온 주입 장비용 오일 진공 펌프의 배기관 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970018019A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466702B1 (ko) * | 1997-05-22 | 2005-05-27 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 진공펌프용이중벽배기어셈블리,이온주입시스템및이중벽배기어셈블리를재구성하는방법 |
-
1995
- 1995-09-30 KR KR1019950033258A patent/KR970018019A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466702B1 (ko) * | 1997-05-22 | 2005-05-27 | 액셀리스 테크놀로지스, 인크. | 진공펌프용이중벽배기어셈블리,이온주입시스템및이중벽배기어셈블리를재구성하는방법 |
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