KR970016647A - 줌 장치 - Google Patents

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KR970016647A
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유르겐 슈바이쩌
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뮐러 리쓰마니, 파우 베크만
칼-짜이스-슈티프퉁 한델른트 알스 칼 짜이스
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Abstract

본 발명은 적어도 평행한 입사빔의 직경을 변화시킬 수 있고 투과빔이 입사빔과 같은 광축을 가지는 다수의 렌즈로 구성된 줌장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 상기 줌장치는 다수의 줌 시스템으로 구비되고 상이한 줌 시스템의 렌즈의 광축이 서로 평행하거나 혹은 적어도 공간적으로 고정 배열되어 있어서, 다수의 개별빔으로 된 빔다발의 직경이 상기 외측 개별빔의 축들을 동일하게 유지된다.
[대표도] 제1도

Description

줌장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 평행한 입사빔과 평행한 투과빔 및 다중빔 줌장치.

Claims (12)

  1. 적어도 평행한 입사빔이 그의 직경 상에서 변화될 수 있고 투과빔이 입사빔과 같은 광축을 가지는 다수의 렌즈로 구성된 줌장치에 있어서, 상기 줌장치가 다수의 줌 시스템으로 구비되며 상이한 시스템의 렌즈 광축이 서로 평행하거나 또는 적어도 공간적으로 고정 배열되므로, 다수의 개별 빔으로 된 빔 다발에서의 직경이 상기 외측 개별 빔의 축들을 통해 동일하게 남아 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  2. 제1항에 있어서, 각각의 줌 시스템이 적어도 하나의 자체 광 입사측 렌즈 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  3. 제1항에 있어서, 각각의 줌 시스템이 광 입사측 렌즈, 중간 렌즈 및 광 출구측 렌즈로 구비되고, 이 경우 상기 처음의 두 렌즈는 볼록 렌즈이고 마지막 렌즈가 오목 렌즈인 것을 특징으로 하는 줌장치.
  4. 제3항에 있어서, 광 입사측 렌즈와 중간 렌즈 사이에 블라인드가 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 광 입사측 렌즈는 한 평면에서 면의 형태로 또는 직선의 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광 출구측 빔 다발은 광 입구측 빔 다발(들)의 광축에 대하여 평행하게 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 줌장치뒤에 적어도 하나의 볼록 렌즈 및 볼록 렌즈 부분이 배열되는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  8. 제3항 또는 제4항에 있어서, 다수 또는 모든 렌즈 상의 상기 중간 렌즈와 광 출구측 렌즈가 개별적으로 또는 그룹 단위로 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  9. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 상기 광 입구측 렌즈의 렌즈 가장자리가 육각형인 것을 특징으로 하는 줌장치.
  10. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 상기 광 입구측 렌즈가 한 배열에 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 어레이는 또다른 동일한 어레이가 모든 측면에 첨가될 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 어레이는 육각형으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 줌장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960037818A 1995-09-27 1996-09-02 줌장치 KR100505202B1 (ko)

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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9702006D0 (en) * 1997-01-31 1997-03-19 Univ Montfort Lens arrangements
US6493867B1 (en) 2000-08-08 2002-12-10 Ball Semiconductor, Inc. Digital photolithography system for making smooth diagonal components
US6512625B2 (en) 2000-11-22 2003-01-28 Ball Semiconductor, Inc. Light modulation device and system
US6473237B2 (en) * 2000-11-14 2002-10-29 Ball Semiconductor, Inc. Point array maskless lithography
US7164961B2 (en) * 2002-06-14 2007-01-16 Disco Corporation Modified photolithography movement system
US6809869B2 (en) 2002-08-28 2004-10-26 Genlyte Thomas Group Llc Zoomable beamspreader for non-imaging illumination applications
KR100474430B1 (ko) * 2002-12-30 2005-03-10 삼성전자주식회사 멀티빔 레이져 스캐닝 유닛
JP4717813B2 (ja) * 2003-09-12 2011-07-06 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー マイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系
US7283209B2 (en) * 2004-07-09 2007-10-16 Carl Zeiss Smt Ag Illumination system for microlithography
US8451427B2 (en) 2007-09-14 2013-05-28 Nikon Corporation Illumination optical system, exposure apparatus, optical element and manufacturing method thereof, and device manufacturing method
JP5267029B2 (ja) * 2007-10-12 2013-08-21 株式会社ニコン 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法
KR101546987B1 (ko) 2007-10-16 2015-08-24 가부시키가이샤 니콘 조명 광학 시스템, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법
CN101681123B (zh) 2007-10-16 2013-06-12 株式会社尼康 照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法
JP5159240B2 (ja) * 2007-10-18 2013-03-06 キヤノン株式会社 撮像装置
US8379187B2 (en) 2007-10-24 2013-02-19 Nikon Corporation Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
US9116346B2 (en) 2007-11-06 2015-08-25 Nikon Corporation Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method
DE102008019850A1 (de) * 2008-04-19 2009-10-22 Diehl Bgt Defence Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Verfahren zum Beleuchten einer Objektszene
JP5360057B2 (ja) 2008-05-28 2013-12-04 株式会社ニコン 空間光変調器の検査装置および検査方法、照明光学系、照明光学系の調整方法、露光装置、およびデバイス製造方法
JP6220125B2 (ja) * 2012-12-28 2017-10-25 キヤノン株式会社 撮像装置およびその制御方法
DE102013206394A1 (de) 2013-04-11 2014-10-16 Asphericon Gmbh Refraktiver Strahlformer
DE102018211972B4 (de) * 2018-07-18 2020-04-23 Trumpf Laser Gmbh Optische Anordnung zur variablen Erzeugung eines Multifoki-Profils, sowie Verfahren zum Betrieb und Verwendung einer solchen Anordnung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4617578A (en) * 1984-02-15 1986-10-14 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Multi-beam zoom and focusing lens scan pitch-adjusting recorder
US4867514A (en) * 1985-11-12 1989-09-19 Hydro Fuels, Inc. Systems for deviating and (optionally) converging radiation
US5170277A (en) * 1988-05-11 1992-12-08 Symbol Technologies, Inc. Piezoelectric beam deflector
US5270859A (en) * 1992-01-30 1993-12-14 United Technologies Corporation Optical instrument with micro-lenses
US5477383A (en) * 1993-02-05 1995-12-19 Apa Optics, Inc. Optical array method and apparatus
US5392157A (en) * 1993-08-18 1995-02-21 Trw Inc. Line-of-sight steering system for high power laser beams and method using same
US5581408A (en) * 1994-05-13 1996-12-03 United Technologies Corporation Method and apparatus for deflecting an optical beam

Also Published As

Publication number Publication date
KR100505202B1 (ko) 2005-11-25
JP4005651B2 (ja) 2007-11-07
JPH09133862A (ja) 1997-05-20
DE19635792A1 (de) 1997-04-03
US5850310A (en) 1998-12-15

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