KR970015782A - 포토에칭용 처리장치 - Google Patents

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KR970015782A
KR970015782A KR1019950031237A KR19950031237A KR970015782A KR 970015782 A KR970015782 A KR 970015782A KR 1019950031237 A KR1019950031237 A KR 1019950031237A KR 19950031237 A KR19950031237 A KR 19950031237A KR 970015782 A KR970015782 A KR 970015782A
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이인석
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조희재
Lg 마이크론 주식회사
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

본 발명은 포토 에칭용 처리장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 컬러텔레비전의 섀도우마스크나 반도체용 리드프레임에 사용하는 금속시트재의 포토에칭에 의한 단계별 공정시 각 처리조내에 장착하여 처리조내에 담긴 부식성 유체에 금속시트재가 침적하도록 지지하는 침적롤러의 회전마찰을 방지하는 포토에칭용 처리장치를 제공하는 데 있다.
이러한 목적을 실현하기 위한 본 발명에 의한 포토에칭용 처리장치는 포토에칭에 따라 부식성 유체가 담기는 처리조와, 내부에 중공부를 형성하여 외주연에 중공부와 연통되는 복수개의 통공을 형성하여 처리조 내부에 고정 장착하는 고정축과 내경에 부시를 압입하여 고정축 외주연에 회전하도록 삽입하는 롤러몸체로 이루어진 침적롤러와, 처리조의 유체를 흡입하고 흡입한 유체를 고정축의 중공부에 일정 압력으로 토출하기 위한 펌프를 포함하여 구성된 것을 본 발명의 요지로 한다.

Description

포토에칭용 처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3도는 본 발명의 포토에칭용 침적롤러를 적용한 포토에칭용 처리장치의 구성을 나타낸 측단면도,
제 4도는 본 발명에 따른 포토에칭용 침적롤러로서 제 3도의 B-B선 단면도,
제 5도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 포토에칭용 침적롤러의 단면도.

Claims (1)

  1. 포토에칭에 따라 부식성 유체가 담기는 처리조와, 내부에 중공부를 형성하고 외주연에 중공부와 연통되는 복수개의 통공을 형성하여 처리조 내부에 고정 장착하는 고정축과 내경에 부시를 압입하여 고정축 외주연에 회전하도록 삽입하는 롤러몸체로 이루어진 침적롤러와, 처리조의 유체를 흡입하고 흡입한 유체를 고정축의 중공부에 일정 압력으로 토출하기 위한 펌프를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 포토에칭용 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950031237A 1995-09-21 1995-09-21 포토에칭용 처리장치 KR0150578B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101628790B1 (ko) * 2015-01-30 2016-06-10 주식회사 삼우에코 도금액의 내부유입을 방지할 수 있는 싱크롤

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