KR970011779A - Inspection method of inspection plate and inspection device - Google Patents

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이시다 아키라
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Abstract

섀도우마스크 등의 투공판의 투공의 치수 이상에 기인한 광투과율의 불균일의 양부 판별의 신뢰성을 향상시킨다. 섀도우마스크(SM)의 투공영역 (SMe)의 둘레를 제외한 처리대상영역(SMeO)에 따라서 데이터 수집을 위한 처리 윈도(SW)를 그 1/2피치씩 비키어 놓으면서 종ㆍ횡으로 주사하여 그때마다 처리윈도(SW)에 속하는 계조데이터의 개개의 데이터를 사용하여 이들 데이터의 표준편차 σ를 구한다. 그리고, 주사때마다 구한 전체의 표준편차 σ를 사용하여 그 평균치 σav, 최대치 σmax, 최빈도치 σpeak를 구한다. 그리고, 최대치 σmax와 평균치 σav와의 차의 절대치 1σmax-σav1 및 최대치 σmax와 최빈도치 σpeak와의 차의 절대치 1σmax-σpeak1를 연산하여 이들을 제시한다. 또한, 이들의 차의 절대치에 근거하여 불균일의 양부 판별을 한다.It is possible to improve the reliability of the difference between the light transmittance and the light transmittance due to the size of the through hole of the light transmitting plate such as the shadow mask. The processing window SW for data acquisition is scanned in the longitudinal and transverse directions with the processing window SW being shifted by half pitch in accordance with the processing target area SMeO excluding the perimeter of the perforated area SMe of the shadow mask SM, The standard deviation? Of these data is obtained by using individual data of the gradation data belonging to the processing window SW. Then, the average value? Aav, the maximum value? Max, and the maximum allowable value? Peak are obtained using the standard deviation? Of the whole obtained every scanning. The absolute value 1σmax-σav1 of the difference between the maximum value σmax and the average value σav, and the absolute value 1σmax-σpeak1 of the difference between the maximum value σmax and the maximum value σpeak are calculated and presented. In addition, based on the absolute value of these differences, the non-uniformity is discriminated.

Description

투공판의 검사 방법 및 검사 장치Inspection method of inspection plate and inspection device

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음Since this is a trivial issue, I did not include the contents of the text.

제1도는 실시예인 섀도우마스크 검사장치(30)의 외관 구성을 나타내는 정면도, 제2도는 제1도에 나타난 섀도우마스크 검사장치(30)의 전기적 구성을 나타내는 블록도, 제3도는 섀도우마스크 검사장치가 행하는 섀도우마스크(SM)의 불균일의 검사처리 전체를 나타내는 플로우 챠트.2 is a block diagram showing an electrical configuration of a shadow mask inspection apparatus 30 shown in FIG. 1, FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration of a shadow mask inspection apparatus 30 according to a first embodiment of the present invention, In which the shadow mask (SM) is uneven.

Claims (8)

다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대해 투공의 치수 이상에 기인하여 생기는 광투과율의 불균일을 검사하는 투공판의 검사방법에 있어서, 상기 투공판에 그 한쪽 주면측에서 빛을 조사하고 상기 투공판을 다른쪽 주면측에서 촬상하여 상기 촬상화상의 계조데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조데이타에 속하는 개개의 데이타의 분포에 나타나는 저주파성분을 제거하여 상기 계조데이타로부터 규격화 데이터를 생성하는 저주파 제거공정과, 상기 규격화 데이터를 소정의 영역군마다 주사하여 상기 영역군에 속하는 개개의 데이터의 편차 정도를 상기 영역군마다 연산하는 편차 연산공정과, 상기 영역군마다 구한 상기 편차 정도의 최대치와 평균치를 연산하여 상기 연산한 최대치와 평균치화의 차를 제시하는 제시공정을 갖는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.A method for inspecting a transmission plate inspection apparatus for inspecting a transmission plate for unevenness in light transmittance caused by a dimension of a through hole with respect to a transmission plate in which a plurality of projections are arranged in a substantially periodic manner, An image pickup step of picking up image data of the picked-up image by picking up an image of the transmission plate on the other main surface side, a low-frequency removing step of removing low-frequency components appearing in the distribution of individual data belonging to the gradation data and generating normalized data from the gradation data A difference calculation step of scanning the standardized data for each predetermined area group to calculate the degree of deviation of individual data belonging to the area group for each of the area groups; and a maximum value and an average value of the degree of deviation, And a presentation step of calculating a difference between the calculated maximum value and the average value, The inspection method of the transfer plate as a gong. 제1항에 있어서, 상기 연산한 최대치와 상기 평균치와의 차에 근거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 불균일의 양부판별을 내리는 판별공정을, 상기 제시공정에 대체하여 혹은 상기 제시공정과 함께 갖는 것을 특징으로 하는 투공판이 검사방법.The method according to claim 1, further comprising the step of determining whether the unevenness of the permeability plate to be inspected is determined based on a difference between the calculated maximum value and the average value, in place of or in association with the presentation step Wherein said inspection method is a method for inspection. 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대해 투공의 치수 이상에 기인하여 생기는 광투과율의 불균일을 검사하는 투공판의 검사장치에 있어서, 상기 투공판을 지지하여 상기 지지된 투공판에 그 한쪽 주면측에서 빛을 조사하는 조사수단과, 상기 빛이 조사된 상기 투공판을 다른쪽 주면측에서 촬상하여 상기 촬상 화상의 계조데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조데이터에 속하는 개개의 데이터의 분포에 나타나는 저주파 성분을 제거하여 상기 계조 데이터로부터 규격화 데이터를 생성하는 저주파 제거수단과, 상기 규격화 데이터를 소정의 영역군마다 주사하여 상기 영역군에 속하는 개개의 데이터의 편차 정도를 상기 영역군마다 연산하는 편차 연산수단과, 상기 영역군마다 구한 상기 편차 정도의 최대치와 평균치를 연산하여 상기 연산한 최대치와 평균치의 차를 제시하는 제시수단을 갖는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.An inspection apparatus of a permeable plate for inspecting a non-uniformity of a light transmittance caused by a dimension of a through hole with respect to a permeable plate having a plurality of permeable apertures arranged roughly periodically, characterized in that the supporting means supports the permeable plate, An image pickup means for picking up tone data of the picked-up image by picking up the light-irradiated light-transmitting plate on the other main surface side; A low frequency elimination means for generating standardized data from the gradation data by removing a low frequency component appearing in a predetermined region group; a low frequency elimination means for generating standardized data from the gradation data by removing the low frequency components appearing; Calculating means for calculating a maximum value and an average value of the degree of deviation calculated for each region group, Two perforated plate of the testing device, characterized in that with a presentation means that presents a difference between a maximum value and average value. 제3항에 있어서, 상기 연산한 최대치와 상기 평균치와의 차에 근거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 불균일의 양부판별을 내리는 판별수단을, 상기 제시수단으로 대체하여 혹은 상기 제시수단과 함께 갖는 것을 특징으로 하는 투공판이 검사장치.The apparatus according to claim 3, further comprising: discriminating means for discriminating the unevenness of the unevenness with respect to the permeable plate to be inspected on the basis of a difference between the calculated maximum value and the average value, And the inspection apparatus is characterized in that the inspection apparatus is provided. 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대해 투공의 치수 이상에 기인하여 생기는 광투과율의 불균일을 검사하는 투공판의 검사방법에 있어서, 상기 투공판에 그 한쪽 주면측에서 빛을 조사하고 상기 투공판을 다른쪽 주면측에서 촬상하여 상기 촬상 화상의 계조데이터를 구하는 촬상공정과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개 데이터의 분포에 나타나는 저주파성분을 제거하여 상기 계조 데이터로부터 규격화 데이터를 생성하는 저주파 제거공정과, 상기 규격화 데이터를 소정의 영역군마다 주사하여 상기 영역군에 속하는 개개의 데이터의 편차 정도를 상기 영역군마다 연산하는 편차 연산공정과, 상기 영역군마다 구한 상기 편차 정도의 최대치와 빈도를 연산하여 상기 연산한 최대치의 편차 정도와 최대 빈도의 편차 정도와의 차를 제시하는 재시공정을 갖는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사방법.A method for inspecting a transmission plate inspection apparatus for inspecting a transmission plate for unevenness in light transmittance caused by a dimension of a through hole with respect to a transmission plate in which a plurality of projections are arranged in a substantially periodic manner, A low frequency removing step of removing low frequency components appearing in a distribution of individual data belonging to the gradation data and generating normalized data from the gradation data; A deviation calculation step of scanning the standardized data for each predetermined area group to calculate the degree of deviation of individual data belonging to the area group for each of the area groups; and calculating a maximum value and a frequency of the degree of deviation, The difference between the calculated deviation of the maximum value and the deviation of the maximum frequency is presented Two methods of testing, characterized in that the perforated plate has a retry process. 제5항에 있어서, 상기 연산한 최대치의 편차 정도와 최대 빈도의 편차 정도의 차에 근거하여 검사대상인 상기 투공판에 대한 상기 불균일의 양부 판별을 내리는 판별공정을, 상기 제시공정으로 대체하여 혹은 상기 제시공정과 함께 갖는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사 방법.The method according to claim 5, further comprising the step of replacing the discriminating step of discriminating the unevenness with respect to the permeable plate to be inspected on the basis of the difference between the degree of deviation of the calculated maximum value and the degree of deviation of the maximum frequency, Wherein the method comprises the steps of: 다수의 투공이 대략 주기적으로 배열된 투공판에 대해 투공의 치수 이상에 기인하여 생기는 광투과율의 불균일을 검사하는 투공판의 검사장치에 있어서, 상기 투공판을 지지하여 상기 지지된 투공판에 그 한쪽 주면측에서 빛을 조사하는 조사수단과, 상기 빛이 조사된 상기 투공판을 다른쪽 주면측에서 촬상하여 상기 촬상화상의 계조 데이터를 구하는 촬상수단과, 상기 계조 데이터에 속하는 개개의 데이터의 분포에 나타나는 저주파 성분을 제거하여 상기 계조 데이터로부터 규격화 데이터를 생성하는 저주파 제거수단과, 상기 규격화 데이터를 소정의 영역군마다 주사하여 상기 영역군에 속하는 개개의 데이터의 편차 정도를 상기 영역군마다 연산하는 편차 연산수단과, 상기 영역군마다 구한 상기 편차 정도의 최대치와 빈도를 연산하여 상기 연산한 최대치의 편차 정도와 최대 빈도의 편차 정도와의 차를 제시하는 제시수단을 갖는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.An inspection apparatus of a permeable plate for inspecting a non-uniformity of a light transmittance caused by a dimension of a through hole with respect to a permeable plate having a plurality of permeable apertures arranged roughly periodically, characterized in that the supporting means supports the permeable plate, An image pickup means for picking up tone data of the picked-up image by picking up the light-irradiated light-transmitting plate on the other main surface side; A low frequency elimination means for generating standardized data from the gradation data by removing a low frequency component appearing in a predetermined region group; a low frequency elimination means for generating standardized data from the gradation data by removing the low frequency components appearing; Calculating means for calculating a maximum value and a frequency of the degree of deviation calculated for each region group, Variation in the maximum degree of projection of the perforated plate, characterized in that the testing device having a presenting means for presenting a difference between the deviation of the maximum frequency. 제7항에 있어서, 상기 연산한 최대치의 편차 정도와 최대 빈도의 편차 정도와의 차에 따라서 검사 대상인 상기 투공판에 대한 상기 불균일의 양부 판별을 내리는 판별수단을, 상기 제시수단으로 대체하여 혹은 상기 제시수단과 함께 갖는 것을 특징으로 하는 투공판의 검사장치.The apparatus according to claim 7, further comprising: discriminating means for discriminating the unevenness of the unevenness with respect to the permeable plate to be inspected according to the difference between the calculated degree of deviation of the maximum value and the degree of deviation of the maximum frequency, And a control unit for controlling the conveying unit. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: It is disclosed by the contents of the first application.
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