KR970011028A - 단결정 연속 성장 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연속 성장 장치에 관하여 개신한 것으로서, 본 발명의 특징에 의하면 2중 구조를 가지는 용기와, 상기 용기내부로 원료를 공급하기 위한 원료공급기, 상기 용기를 가열하는 가열수단, 상기 용기의 상부에서 종자결정을 지지하여 승강가능하도록 마련되는 제1지지수단 및 상기 가열수단과 상기 종자결정 지지수단을 상관적으로 제어하는 제어수단을 포함하여 이루어진 단결정 연속 성장 장치에 있어서, 상기 원료공급기는 상기 제어수단에 의해 제어되는 투입원료량 조절수단을 구비하며, 상기 용기는 그 하부가 상기 제어수단에 연결되어 제어되는 제2지지수단에 지지되어 이루어진 것을 특징으로 한다. 이러한 특징에 의하여, 본 발명에 따른 단결정 연속성장 장치는 성장된 결정의 무게만큼 원료를 정확하게 추가로 공급해 주는 기능을 가진다. 따라서, 성장되는 단결정의 길이를 적어도 2배 내지 3배 이상의 크기로 성장시킬 수 있고, 도가니에 투입되는 원료의 양이 성장된 결정의 무게와 동일하게 제어되어 용융액면이 일정하게 유지되므로, 결정의 성장속도가 균일하게 되고, 성장되는 결정의 조성 또한 균일하게 유지할 수 있는 효과를 얻을 수 있도록 한 것이다.

Description

단결정 연속 성장 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 기술에 의한 단결정 연속 성장 장치를 나타낸 보인 개략적 구성도이고,
제2도는 본 발명에 의한 단결정 연속 성장 장치를 나타내 보인 개략적 구성도이다.

Claims (3)

  1. 2중 구조를 가지는 용기와, 상기 용기내부로 원료를 공급하기 위한 원료공급기, 상기 용기를 가열하는 가열수단, 상기 용기의 상부에서 종자결정르 지지하여 승강가능하도록 마련되는 제1지지수단 및 상기 가열수단과 상기 종자결정 지지수단을 상관적으로 제어하는 제어수단을 포함하여 이루어진 단결정 연속 성장 장치에 있어서, 상기 원료공급기는 상기 제어수단에 의해 제어되는 투입원료량 조절수단을 구비하며, 상기 용기는 그 하부가 상기 제어수단에 연결되어 제어되는 제2지지수단에 지지되어 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 연속 성장 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 조절수단은 전자밸브인 것을 특징으로 하는 단결정 연속 성장 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1지지수단 및 제2지지수단은 중량 감지가 가능하게 된 로드셀로 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 연속 성장 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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