KR970003000B1 - 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법 - Google Patents

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Description

투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법

제1도는 (a) 내지 (f)는 종래 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조공정도,

제2도는 (a) 내지 (e)는 본 발명에 따른 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조공정도,

제3도는 제2도(e)를 b-b 선으로 자른 부분단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

40 : 세라믹웨이퍼 41,47 : 제1 및 제2홈

43,49 : 제1 및 제2도전막 45,53 : 제1 및 제2에폭시

51 : 왁스 55 : 제3홈

57 : 제3도전막 59 : 전도성접착제

61 : 비전도성접착제 63 : 변형부

65 : 반사막 67 : 거울

69 : 금속도선 71 : 도선패턴

73 : 구동기판 75 : 광로조절장치

본 발명은 투사형 화상표시장치에서 광로를 조절하는데 사용되는 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 특히, 액츄에이터들의 상부 표면에 도포에 의해 거울들을 형성하여 실장이 쉽고, 액츄에이터들과 거울들이 자기정렬을 이룰 수 있는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법에 관한 것이다.

화상표시장치는 표시방식에 따라 직시형 화상표시장치와 투사형 화상표시장치로 구분된다. 직시형 화상표시장치는 CRT(Cathode Ray Tube)등이 있는데, 이러한 CRT화상표시장치는 화질이 좋으나 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증가와, 가격이 비싸지는 문제점이 있어 대화면을 구현하는데 한계가 있다. 투사형화상표시장치는 대화면 액정 표시장치(Liquid Crystal Display:이하 LCD라 칭함)등이 있는데, 이러한 대화면 LCD는 박형화가 가능하여 중량을 작게 할 수 있다. 그러나, 이러한 LCD는 편광판에 의한 광의 손실이 크고, LCD를 구동하기 위한 박막 트랜지스터가 화소마다 형성되어 있어 개구율(광의 투과 면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.

이러한, LCD의 단점을 보완하고자 미합중국 Aura사에서 액츄에이티드 미러 어레이(Actuated Mirror Arrays:이하 AMA라 칭함)를 이용한 투사형 화상표시장치가 개발되었다. AMA를 이용한 투사형 화상표시장치는 광원에서 발광된 백색광을 적색, 녹색 및 청색의 광속(light beam)등으로 분리한 후, 이 광속들을 액츄에이터들의 변형에 의해 기울어지는 반사경들에 각각 반사시켜 광로(light path)들을 조절하고, 이 광속들의 광량을 조절하여 화면으로 투사시키므로서 화상을 나타낸다. AMA는 구동방식에 따라 액츄에이터가 M×1개인 1차원 AMA와 M×N개인 2차원 AMA로 구분된다. 상기에서 액츄에이터는 압전물질이나 전왜물질로 이루어지는 변형부와 전극들을 포함하며 전계발생시 변형되어 상부에 있는 거울을 기울어지게 한다.

제1도(a)내지 (f)는 종래의 투사형 화상표시장치용 광로조절 장치의 제조공정도이다.

제1도(a)는 통상의 적층형 세라믹 콘덴서를 제조하는 방법으로 한층의 두께가 t인 그린 시트(green sheet)들 사이에 M개의 제1금속막(13)들을 갖도록 성형한 후 소결한 M+1개의 세라믹층md(11)들을 가지는 다층세라믹(10)을 도시한다. 다층세라믹(10)에 제1금속막(13)들과 수직방향으로 모든 세라믹층(11)들이 동일한 방향으로 분극(polarization)되도록 수십 KV정도의 고전압을 인가한다. 상기에서 세라믹층(11)들은 액츄에이터의 변형부를 형성하기 위한 것으로 압전세라믹으로 형성된다. 또한, 제1금속막(13)들은 액츄에이터의 내부전극(또는 신호전극)을 형성하기 위한 것으로 팔라듐(Pd) 또는 은(Ag)과 팔라듐의 합금등의 고융점금속으로 형성된다.

제1도(b)는 두께가 T인 세라믹 웨이퍼(15)를 도시한다. 세라믹웨이퍼(15)는 상기 다층세라믹(10)을 a-a선의 방향으로 자른 후 상부 및 하부 표면을 연마한 것이다. 상기에서 세라믹 웨이퍼(15)는 연마후에 표면 조도는 ±5㎛ 정도가 되고 평탄도(flatness)는 ±10㎛ 정도가 되어야 한다.

제1도(c)는 제1금속막(13)들과 평행하게 세라믹층(11)의 표면에 홈(17)들을 형성하고, 이 홈(17)들의 내부표면에 형성된 제2도전막(19)들을 도시한다. 상기에서 웨이퍼(15)의 상부표면에 회전도포(spin coating)등의 방법으로 포토레지스트(photoresist)와 같은 중합제(polymer)를 얇게 도포한 후, 세라믹층(11)의 가운데를 제1금속막(13)들과 평행하게 쏘잉(sawing)등의 기계적 방법으로 M+1회 가공하여 홈(17)들을 형성한다. 상기에서 제1금속막(13)들을 중심으로 제거되지 않고 남아 있는 세라믹층(13)들은 액츄에이터의 변형부가 된다. 그 다음, 홈(17)들의 내부표면에 외부전극(또는 공통접지전극)이 되는 제2금속막(19)들을 형성한다. 이때, 중합체의 표면에도 제2금속막(19)들이 형성되는데, 중합체를 제거할 때 같이 제거된다.

제1도(d)는 상술한 구조의 가동된 웨이퍼(15)를 지그(jig:21)에 실장하고 홈(17)들과 수직방향으로 절단하여 완성된 M×N개의 액츄에이터(23)들을 도시한다. 상기에서 세라믹층(11)들의 돌출부분의 표면이 지그(21)에 접착되게 실장하고, 이 세라믹층(11)들을 접착되지 않는 표면으로부터 쏘잉등의 기계적방법으로 홈(17)들과 수직되게 N-1회 절단하여 M×N개의 액츄에이터(23)들을 완성시킨다. 상기에서 지그(21)는 쏘잉공정에서 분리된 액츄에이터(23)들이 흐트러지는 것을 방지한다.

제1도(e)는 트랜지스터(도시하지 않음)들이 내장된 능동매트릭스의 기판(25)에 액츄에이터(23)가 실장된것을 도시한다. 상기에서 액츄에이터(23)들은 지그(21)에 부착되지 않은 면이 기판(25)에 실장되고 접착제에 의해 부착된다. 이때, 액츄에이터(23)들은 제1도전막(13)들을 상기 트랜지스터들의 드레인 전극단자에 전기적으로 연결되도록 전도성 접착제로 부착시킨다. 상기에서 트랜지스터들의 게이트에는 동기신호가 인가되는 단자와 접속되고, 소오스에는 화상신호가 인가되는 단자와 접속되게 한다. 그 다음, 지그(21)를 액츄에이터(23)들과 분리한다.

제1도(f)는 액츄에이터(23)들의 제2금속막(19)들이 M+1개의 도선(27)들로 연결되어 공통 접지되고, 이 액츄에이터(23)들의 돌출부분에 거울(29)들이 실장된 광로조절수단(31)을 도시한다. 상기에서 도선(27)들을 각 액츄에이터(23)들의 제1금속막(13)들과 평행하게 연결하고 한쪽 끝을 하나로 연결하여 공통접지시킨다. 도선(27)들을 알루미늄등의 금속선이나, 또는, 전도성 접착제로 형성할 수 있다. 그리고, 거울(29)들을 액츄에이터(23)들의 돌출부분 표면에 실장한다. 상기에서 거울(29)들은 평탄한 표면을 가지는 유리기판상에 알루미늄 등의 금속을 스퍼터링(sputtering) 또는 진공증착등에 의해 소정 크기로 도포하여 형성한다. 또한, 거울(29)들을 액츄에이터(23)들의 돌출부분 표면에 정렬 및 부착시켜 실장한 후 유리기판을 분리시킨다.

상술한 종래의 광로조절장치는 액츄에이터들이 2개의 변형부를 가지는 바이오프형(bimorpt type)인데, 내부에 신호전극들을 가지므로 이 신호전극들을 형성하기 위해 세라믹층을 사이에 제1금속막들을 가지는 다층 세라믹을 형성하고, 이 다층세라믹을 쏘잉등의 기계적 방법으로 가공하여 액츄에이터들을 한정한다.

그러나, 다층 세라믹을 형성하는 공정에서 소결시 신호 전극이 될 제1금속막들이 휘게되어 변형부들을 한정하기 위해 세라믹층들의 가운데 부분에 홈들을 형성하기 어렵고 높은 분극전압이 필요한 문제점이 있었다. 또한, 다층 세라믹을 기계적 가공하여 액츄에이터들을 형성하므로 생산성 및 수율이 낮으며, 소형화를 이루기 어려운 문제점이 있었다. 또한, 액츄에이터들의 돌출부분 표면상에 거울들을 실장시킬 때 거울들이 유리기판과 잘 분리되지 않아 실장시키기 어려운 문제점이 있었다. 그리고, 액츄에이터들과 거울들은 정렬시켜 부착시켜야 하므로 오차에 의한 오정렬 및 평탄하게 되지 않는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 세라믹 소결시 액츄에이터 내부에 전극을 형성하지 않고 나중에 형성하여 세라믹 웨이퍼의 가공 및 액츄에이터들의 제조가 용이한 투사형 화성표시장치용 광로조절 장치의 제조방법을제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 액츄에이터들의 상부표면에 금속을 도포하여 거울들로 이용되는 반사막들을 형성할 수 있는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법을 제공함에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 액츄에이터들과 반사막이 자기정렬을 이루도록 할 수 있는 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 투사형화상 표시장치용 광로조절장치의 제조방법은 벌크상태의 압전세라믹으로 수직으로 분극되어 있는 세라믹웨이퍼를 만드는 제1공정과; 상기 세라믹웨이퍼의 세로방향으로 상부에 깊이가 다르고 내부 표면에 제1및 제2도전막들이 도포된 제1및 제2홈들은 교호적으로 형성하고 제1홈들 내부에 제1에폭시를 채우는 제2공정과; 상기 제1홈들과 제2홈들 사이의 세라믹웨이퍼의 돌출부분들을 교호적으로 그라인딩하고 제1에폭시상부의 소정부분을 제외하고 제2홈들의 내부와 제1에폭시의 상부에 왁스를 채우고, 이 왁스의 상부에 제1에폭시와 연결되도록 제2에폭시를 도포하는 제3공정과; 상기 세라믹웨이퍼의 하부에 제1홈들과 동일한 방향으로 제1에폭시들이 노출되도록 제3홈들을 형성하고 각 화소들과 대응하도록 비전도성접착제들을 개재시켜 이 제3홈들의 소정 높이까지 전도성 접착제를 채우는 제4공정과; 상기 세라믹웨이퍼를 전도성 에폭시가 접촉단자와 접촉되도록 트랜지스터들을 가지는 구동기판에 실장하는 제5공정과; 상기 제2에폭시의 표면에 반사면을 도포하고 가로 및 세로 방향으로 다이싱하여 반사경을 한정하는 제6공정과; 상기 왁스를 제거하고 제2도전막들을 금속도선으로 접지시키는 제7공정을 구비한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

제2도(a)내지 (e)는 본 발명의 일실시예에 따른 투사형 화상표시장치용 광로조절장치의 제조공정도이다.

제2도(a)는 소정 두께로 얇게 자른 세라믹웨이퍼(40)를 도시한다. 세라믹웨이퍼(40)는 BaTiO₃, PZT(Pb(Zr, Ti)O₃) 또는 PLZT((Pb, La)(Zr, Ti)O₃)등의 압전세라믹(Piexoelectric ceramic)으로 이루어지며 벌크(bulk) 상태로 성형 및 소결한 후 수십 KV 정도의 고전압으로 분극을 하고 얇게 가공하여 만든다. 벌크상태의 압전세라믹을 얇게 가공할 때 분극 방향과 수직(Z 축)으로 얇게 자르고 상부 및 하부의 표면을 연마한다. 상기에서 세라믹웨이퍼(40)의 표면이 분극방향과 수직으로 자르면 진단모드(shear mode)의 액츄에이터를 만들 수 있다.

제2도(b)도는 세라믹웨이퍼(40)의 상부에 제1및 제2도전막들(43)(49)이 도포된 제1및 제2홈들(41)(47)이 y방향으로 길게 형성되고, 이 제1홈(41)들 내부에 비전도성의 제1에폭시(45)가 채워젼 것을 도시한다. 상기에서 세라믹웨이퍼(40)의 상부에 다이아몬드톱(diamond)등으로 제1홈(41)들을 형성한다. 그리고, 제1홈(41)들의 내부에 금(Au), 니켈(Ni) 또는 금/니켈을 스퍼터링 또는 진공증착하여 신호전극들이 될 제1도전막(43)들을 형성하고 비전도성의 제1에폭시(45)를 채운다. 그다음, 상기와 같은 방법으로 제1홈(41)들의 사이에 제2홈(47)들을 형성한다. 상기에서 제2홈(47)들을 제1홈(41)들보다 깊게 형성한 후 공통접지전극(또는 외부전극)을 형성하기 위한 제2도전막(49)을 도포한다. 계속해서, 세라믹웨이퍼(40)의 상부를 연마(lapping)하여 표면에 도포된 제1및 제2전도막(43)(49)들을 제거한다.

제2도(c)는 제1홈(41)들과 제2홈(47)들 사이의 세라믹웨이퍼(40)상부가 하나 걸러 그라인딩(grinding)되고, 제1에폭시(45)상부의 소정부분을 제외한 전 표면에 왁스(wax:51)가 채워지고, 이 왁스(51)의 표면에 제2에폭시(53)가 도포된 것을 도시한다. 상기에서 제1홈(41)들과 제2홈(47)들 사이의 세라믹웨이퍼(40)를 제1홈(41)들의 중간 높이까지 그라인딩한다. 그리고, 세라믹웨이퍼(40)의 상부표면에 제1에폭시(45)가 덮어지도록 왁스(51)를 채운후 이 왁스(51)의 소정부분을 제거하여 제1에폭시(45)를 노출시킨다. 계속해서, 왁스(51)의 표면에 거울들이 몸체가 될 제2에폭시(53)을 도포한다. 상기에서, 제2에폭시(53)는 제1에폭시(51)와 동일한 특성을 가지며 한 몸체가 된다.

제2도(d)는 제1홈(41)들의 하부에 제3홈(55)들을 형성하여 세라믹웨이퍼(40)의 바닥면과 제2홈(47)들 바닥면 사이의 중간 높이정도 전도성접착제(59)를 채운후, 이 전도성 접착제(59)를 x 방향으로 분리하고 비전도성접착제(61)를 채운것을 도시한다. 상기에서 세라믹웨이퍼(40)의 하부에 y 방향으로 제1에폭시(45)의 하부가 노출될 때까지 제3홈(55)들을 파고 신호전극이 될 제3도전막(57)들을 도포한다. 상기에서 제3홈(55)들은 상기 제1및 제2홈들(41)(47) 사이의 그라인딩되지 않은 부분이 높도록 바닥면이 턱을 갖도록 한다.

그 다음, 제3홈(55)들 내부에 신호전극들로 이 逾 타 제3도전막(57)들을 형성한다. 제3도전막(57)들을 제1및 제2도전막(43)(49)과 동일한 방법으로 형성하여 제1도전막(43)과 접촉되어 전기적으로 연결된다. 전도성접착제(59)는 세라믹웨이퍼(40)를 트랜지스터들이 내장되어 있는 기판에 실장할 때 접촉단자들을 통해 이 트랜지스터들과 접촉되어 화상신호를 신호전극으로 이용되는 제1및 제3도전막들(43)(49)로 전달한다. 그 다음, 세라믹웨이퍼(40) 하부에 형성되어 있는 전도성접착제(59)들을 x 방향으로 분리하고, 전도성접착제(59)들을 분리한 틈들에 비전도성접착제(61)들을 채워 각각의 액츄에이터들을 이루는 변형부(63)들을 한정한다. 상기에서 비전도성 접착제(61)들을 제3홈(55)들에 하부로부터 제2홈(47)들의 바닥면보다 높게한다.

제2도(e)는 가공된 세라믹웨이퍼(40)를 구동기판(73)에 실장하고, 제2에폭시(53)의 표면에 반사면(65)들을 형성한 후 비전도성접착제(61:제2도(e)에는 도시되지 않음)들이 노출될 때까지 분리하고 제2도전막(49)들을 접지시킨 광로조절장치(75)를 도시한다. 상기에서 구동기판(73)은 트랜지스터들(도시되지 않음)과 접촉단자들(도시되지 않음)을 가지는 유리 또는 Al₂O₃등의 결연기판이나, 또는 실리콘웨이퍼로 이루어진다. 그리고, 제2에폭시(53)는 반사경(67)의 몸체를 이루며, 반사면(65)은 제2에폭시(53)의 상부표면을 연마한 후 알루미늄등을 스퍼터링 또는 진공증착하여 형성된다. 그 다음, 반사면(65)과 제2에폭시(53)를 x 및 y 방향으로 분리하여 반사경(67)들과 액츄에이터(74)들을 한정한다. 상기에서 반사면(65)과 제2에폭시(53)을 식각 또는 다이싱(dicing)하되 x 방향으로는 비전도성접착제(61)들이 노출되고 제2도전막(49)들의 바닥면이 분리되지 않도록 한다. 그러므로, 액츄에이터(74)들은 신호전극으로 이용되는 제1및 제3도전막들(43)(57)이 분리되고 공통접지전극으로 이용되는 제2도전막(49)들이 y 방향으로 이어지게 되어 독립적으로 구동될 수 있다. 계속해서, 왁스(51)를 약 50℃ 정도로 가열된 아세톤등의 비극성용매로 녹여 제거하고, 제2도전막(49)들을 금속도선(69)등에 의해 연결시키고 도선패턴(71)에 의해 공통접지시켜 광로조절장치(75)를 완성한다.

제3도는 제2도(e)를 b-b 선으로자른 부분단면도로서, 이를 이용하여 광로조절장치(74)의 동작을 설명한다.

화상신호가 외부회로로 부터 구동기판(73)내에 내장되어있는 트랜지스터(도시되지 않음)에 스위칭되어 접촉단자(도시되지 않음)과 전도성접착제(59)를 통해 신호전극(57)에 입력되어 변형부(63)들에 전계를 발생시킨다. 상기에서 변형부(63)들은 Z 축의 어느 한쪽의 동일한 방향으로 분극되어 있는데, 제2도(c) 공정에서 그라인딩되어 높이가 낮은 것을 제1변형부(63a)라 하고, 그렇지 않고 높이가 높은 것을 제2변형부(63b)라하면, 제1및 제2변형부(63a)(63b)에 x 축을 따라 서로 반대의 방향으로 전계가 발생된다. 상기에서 제1및 제2변형부들(63a)(63b)은 전계의 방향과 분극의 방향이 일치하지 않고 직각을 이루므로 분극방향의 표면과 전계방향의 측면이 맞닿는 모서리와 이 모서리의 대각선에 있는 모서리가 신장되는 전단모드로 동작된다. 예를 들어, 제1및 제2변형부들(63a)(63b)이 +z 방향으로 분극되어 있고, (-)전위의 화상신호에 의해 서로 마주보는 방향으로 전계가 발생되면, 제1변형부(63a)는 우측 상부의 모서리가 제2변형부(63b) 쪽으로 제2변형부(63a)는 좌측 상부의 모서리가 제1변형부(63b)쪽으로 이동하여 기울어진다. 상기에서, 제2에폭시(45)에서 제1및 제2변형부들(63a)(63b)과 맞닿는 부분들의 수평중심이 수직중심과 교차하는 점들을 P₁및 P₂라하면, 점(P1)은 우측으로, 정(P2)은 좌측으로 이동된다. 그러므로, 제2에폭시(45)의 수직중심이 제1변형부(63a)쪽으로 기울게되어 반사경(67)이 경사지게 된다. 상기에서, 제1변형부(63a)의 구동되는 높이(H)가 구동전달부로 이용되는 에폭시(45)의 점들(P₁)(P₂) 사이의 높이(h), 즉, 계단의 턱 높이보다 크므로 반사경(67)의 경사각이 제1변형부(63a)의 경사각보다 크게된다. 따라서, 제1및 2변형부들(63a)(63b)의 경사각이 일정하다면 반사경(67)은 제1변형부(63a)뿐만 아니라 제2변형부(63a)의 구동에 의해서도 기울어지므로 경사각은 제1변형부(63a)만이 구동될 때보다 2배이상이 된다. 상기에서 높이(h)는 제1및 제2변형부들(63a)(63b)의 구동력을 반사경(67)들에 잘 전달시키기 위하여 에폭시(67)의 두께보다 커야한다.

상술한 바와 같이 다층세라믹이 아닌 벌크상태의 압전 세라믹을 분극방향과 직각이 되도록 얇게 자른 세라믹웨이퍼를 이용하여 구동전달부로 이용되는 계단형태의 에폭시를 개재시켜 높이가 서로 다르고 전단모드로 구동되는 제1및 제2변형부들을 만들고 에폭시의 상부 표면에 반사막을 도포하여 반사경을 만든다.

따라서, 본 발명은 압전세라믹을 벌크 상태로 성형 및 소성을 한 다음 얇게 잘라 웨이퍼를 만드므로 가공이 잇점이 있다. 또한, 거울을 몸체가 되는 에폭시의 상부표면에 금속으로 반사막을 도포하여 형성하므로 실장이 쉬운 잇점이 있다.

Claims (9)

1. 벌크상태의 압전세라믹으로 수직으로 분극되어 있는 세라믹웨이퍼를 만드는 제1공정과; 상기 세라믹웨이퍼의 세로 방향으로 상부에 깊이가 다르고 내부표면에 제1및 제2도전막들이 도포된 제1및 제2홈들은 교호적으로 형성하고 제1홈들 내부에 제1에폭시를 채우는 제2공정과; 상기 제1홈들과 제2홈들 사이의 세라믹웨이퍼의 돌출부분들을 교호적으로 그라인딩하고 제1에폭시상부의 소정부분을 제외하고 제2홈들의 내부와 제1에폭시의 상부에 왁스를 채우고, 이 왁스의 상부에 제1에폭시와 연결되도록 제2에폭시를 도포하는 제3공정과; 상기 세라믹웨이퍼의 하부에 제1홈들과 동일한 방향으로 제1에폭시들이 노출되도록 제3홈들을 형성하고 각 화소들과 대응하도록 비전도성접착제들을 개재시켜 이 제3홈들의 소정 높이까지 전도성접착제를채우는 제4공정과; 상기 세라믹웨이퍼를 전도성에폭시가 접촉단자와 접촉되도록 트랜지스터들을 가지는 구동기판에 실장하는 제5공정과; 상기 제2에폭시의 표면에 반사면을 도포하고 가로 및 세로 방향으로 다이싱하여 반사경을 한정하는 제6공정과; 상기 왁스를 제거하고 제2도전막들을 금속도선으로 접지시키는 제7공정을 구비하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
2. 제1항에 있어서 제2공정은, 상기 세라믹웨이퍼의 상부에 제1홈들을 파고 제1도전막을 도포하는 단계와, 상기 제1도전막의 상부에 제1에폭시를 채우는 단계외; 상기 제1홈들사이의 세라믹웨이퍼 상부에 제2홈들을 파고 제2도전막을 도포하는 단계를 가지는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1홈들보다 제2홈들을 깊게 형성하는 투사형화상표시 장치용 광로조절장치의 제조방법.
4. 제1항에 있어서, 제3공정에서, 상기 제1홈들과 제2홈들 사이의 세라믹웨이퍼의 돌출부분을 그라인딩할때 제1에폭시의 소정부분도 제거되는 투사형화상표시 장치용 광로조절장치의 제조방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 세라믹웨이퍼의 돌출부분을 제1홈들의 중간 높이까지 그라인딩하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
6. 제1항에 있어서, 제4공정은, 상기 제3홈들을 형성하고 소정높이 까지 전동성접착제를 채우는 단계와, 상기 전도성접착제의 소정부분을 제거하여 분리하고 그 부분에 비전도성접착제를 채우는 단계를 가지는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 제3홈들을 상기 제1에폭시가 계단형상을 이루도록 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 제1에폭시의 계단턱의 높이를 상기 제1에폭시의 두께 보다 크게 형성하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.
9. 제1항에 있어서, 제6공정에서, 상기 가로방향으로 상기 비전도성 에폭시가 노출될 때까지 다이싱하는 투사형화상표시장치용 광로조절장치의 제조방법.