KR960025903A

KR960025903A - 직열형 음극 구조체

Info

Publication number: KR960025903A
Application number: KR1019940038990A
Authority: KR
Inventors: 김창섭; 정봉욱
Original assignee: 윤종용; 삼성전관 주식회사
Priority date: 1994-12-29
Filing date: 1994-12-29
Publication date: 1996-07-20
Also published as: KR0147615B1

Abstract

본 발명은 직열형 음극 구조체에 관하여 개시한 것이다.

본 발명에 의한 직열형 음극 구조체는 펠렛(101)에 복수의 필라멘트를 고정하기 위한 2개의 보조부재 즉, 제1금속부재(201)와 제2금속부재(202)를 포함하여 마련된다는 점에 그 특징이 있는 것으로서, 음극물질이 함침된 다공성 펠렛과, 이다공성 펠렛에 용접고정되는 제1금속부재와, 상기 제1금속부재에 용접적층되는 제2금속부재와, 상기 제1금속부재와 상기제2금속부재 사이에 개재되는 필라멘트와, 이 필라멘트를 지지하는 서포터 및 이 서포터를 지지하는 절연블럭을 포함하여이루어지며, 이로써 그 지지구조가 매우 견고함은 물론 용접공정의 개선 등으로 인해 품질 및 생산성 향상에 크게 기여할수 있도록 한 것이다.

Description

직열형 음극 구조체

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제7도는 본 발명에 의한 직열형 음극 구조체의 요부를 발췌하여 나타내 보인 사시도, 제8도는 본 발명에 의한 직열형 음극 구조체의 다른 실시예에 대한 요부를 발췌 분해하여 나타내 보인 분해사시도, 제9도 내지 제11도는 본 발명의 또 다른 실시예들에 의한 직열형 음극 구조체의 변형 펠렛과 보조부재 및 필라멘트 일부를 발췌 도시한 사시도.

Claims

음극물질이 함유된 다공성 펠렛과, 이 다공성 펠렛에 용접고정되는 제1금속부재와, 상기 제1금속부재에 용접적층되는 제2금속부재를 구비하고, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에 개재되는 필라멘트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항에 있어서, 상기 필라멘트는 그 전체가 연결된 일체형으로 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에서 그 일부가 용접에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항에 있어서, 상기 필라멘트는 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에서 그 일부가 열십자형으로용접에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항에 있어서, 상기 필라멘트는 상기 다공성 펠렛과 상기 제1금속부재 및 상기 제2금속부재의 측면에 대하여 소정 각도를 이룬 상태로 용접 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 그 일부가 저항용접이나 레이저용접 또는 플라즈마용접에 의해 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 텅스텐(W)이 주성분을 이루고 있는 발열체인것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 주성분인 텅스텐(W)에 레늄(Ru)을 첨가하여 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 그 직경이 30㎛ 내지 70㎛의 범위를 가지고,그 길이는 2.5㎜ 내지 5㎜ 범위를 가지도록 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛은 다공성 기체금속 텅스텐(W)을 주성분으이루어지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛은 원형 단면 형상을 가지는 것을 특징으로하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 탄타륨(Ta)이 주성분을 이루고 있는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 원형 단면 형상을 가지는 디스크형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 그 직경이 0.75㎜ 내지 1.5㎜의 범위를 가지고, 그 두께는 50㎛ 내지 200㎛ 범위를 가지도록 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 육면체인 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 다각형의 단면형상을가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛과 상기 제1금속부재 및 상기 제2금속부재는동일한 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛과 상기 제1금속부재 및 상기 제2금속부재는동일한 규격과 동일한 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제1항 내지 제4항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 각각 다른 규격과 다른 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
음극물질이 함침된 다공성 펠렛과, 이 다공성 펠렛에 용접고정되는 제1금속부재와, 상기 제1금속부재에용접적층되는 제2금속부재와, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에 개재되는 필라멘트와, 이 필라멘트를 지지하는 서포터 및 이 서포터를 지지하는 절연블럭을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항에 있어서, 상기 필라멘트는 그 전체가 연결된 일체형으로 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재사이에서 그 일부가 용접에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항에 있어서, 상기 필라멘트는 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에서 그 일부가 열십자형으로 용접에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제21항에 있어서, 상기 필라멘트는 상기 다공성 펠렛과 상기 제1금속부재 및 상기 제2금속부재의 측면에대하여 소정 각도를 이룬 상태로 용접 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 그 일부가 저항용접이나 레이저용접 또는플라즈마용접에 의해 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재 사이에 고정되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 텅스텐(W)이 주성분을 이루고 있는 발열체인 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 필라멘트는 그 직경이 30㎛ 내지 70㎛의 범위를 가지고, 그 길이는 2.5㎜ 내지 5㎜ 범위를 가지도록 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛은 다공성 기체금속 텅스텐(W)을 주성분으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛은 원형 단면 형상을 가지는 것을 특징으로하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 탄타륨(Ta)이 주성분을 이루고 있는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 원형 단면 형상을가지는 디스크형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 그 직경이 0.75㎜내지 1.5㎜의 범위를 가지고, 그 두께는 50㎛ 내지 200㎛ 범위를 가지도록 이루어진 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 육면체인 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 다각형의 단면형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛과 상기 제1금속부재 및 상기 제2금속부재는 동일한 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 펠렛과 상기 제1금속부재 및 상기 제2금속부재는 동일한 규격과 동일한 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1금속부재와 상기 제2금속부재는 각각 다른 규격과다른 단면 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제19항 내지 제22항의 어느 한 항에 있어서, 상기 절연블럭에 상기 서포터가 소정 간격으로 복수쌍 마련되며, 상기 펠렛은 상기 서포터에 대응하게 복수개 마련되는 것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.
제36항에 있어서, 상기 서포터는 3쌍이며, 상기 펠렛은 3개 인것을 특징으로 하는 직열형 음극 구조체.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.