KR960012532A - 자기정렬 매몰 채널/접합 적층 게이트 플래시 메모리셀 - Google Patents
자기정렬 매몰 채널/접합 적층 게이트 플래시 메모리셀 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960012532A KR960012532A KR1019950027551A KR19950027551A KR960012532A KR 960012532 A KR960012532 A KR 960012532A KR 1019950027551 A KR1019950027551 A KR 1019950027551A KR 19950027551 A KR19950027551 A KR 19950027551A KR 960012532 A KR960012532 A KR 960012532A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- memory cell
- cell structure
- single transistor
- transistor memory
- region
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 4
- -1 phosphorus ion Chemical class 0.000 claims 4
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
- H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
- H01L29/7883—Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by tunnelling of carriers, e.g. Fowler-Nordheim tunnelling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
- H01L29/7881—Programmable transistors with only two possible levels of programmation
- H01L29/7884—Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by hot carrier injection
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
효과적으로 채널길이 치수가 적층게이트 구조와 임계치수와는 무관하도록 하기 위하여 개량된 단일 트랜지스터 플래시 EEPROM 셀구조와 제조하는 제조방법이 제공된다. 셀구조(110)는 터널산화막(126)과 적층게이트 구조(134)의 형성이전에 기판(112)에서 임플란트되는 n-매몰 채널/접합영역(116)을 포함한다. 적층게이트 구조를 형성하고 나서, p-타입 소오스영역(122)은 기판에서 큰 평향각을 가지고 임플란트된다. 따라서, n+드레인과 n+소오스영역(118,124)이 기판에 임플란트되어 적층게이트 구조로 자기정렬된다. 본 발명의 셀구조는 작은 크기로 비례축소가 용이하고 고집적으로 저전압 파워스플라이 응용분야에서 사용할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따라서 구성된, 단일 트랜지스터 EEPROM 셀을 도시한 단면도.
Claims (18)
- 단일 트랜지스터 메모리 셀구조로서, 기판(112), 상기 기판에 배치된 n-매몰 채널/접합영역(116), 상기 기판과 드레인측부를 한정하는 상기 n-매몰채널/접합영역의 제1측부상에 배치된 n+ ─타입 드레인 영역(118), 상기 기판과 소오스측부를 한정하는 상기 n- 매몰채널/접합영역의 제2측부상에 배치된 소오스구조(120), 상기 기판상에 배치된 터널 산화막(126) 및, 상기 터널 산화막(126)상에 배치된 적층게이트 구조(134)로 이루어지며, 상기 소오스구조는 제1p-타입 소오스영역(122)과 상기 제1p-타입 소오스영역에 배치된 제2n+ -타입 소오스영역(124)을 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제1항에 있어서, 상기 적층게이트 구조(134)는 상기 n+ -타입 드레인영역(118)의 일부분(119), 상기 제1p-타입 소오스영역(122) 및, 상기 제2n+소오스영역(124)의 일부분(125)을 덮어씌우는 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제2항에 있어서, 상기 n-매몰 채널/접합영역(116)은 두께가 1000내지 2000Å인것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제3항에 있어서, 상기 n-매몰 채널/접합영역(116)은 1×1013내지 3×1014이온/㎠의 범위내에 밀도를 가진 인이온을 임폴란트함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제1항에 있어서, 상기 p-타입 소오스영역(122)은 5×1013내지 8×1014이온/㎠의 밀도를 가진 붕소이온을 임플란트함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제1항에 있어서, 상기 터널 산화막(126)은 두께가 대략 100Å 미만인 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제1항에 있어서, 상기 적층게이트 구조(134)는 부동게이트(128), 상기 부동게이트상에 배치된 인터-게이트 유전체(130) 및, 상기 인터-게이트 유전체상에 배치된 제어게이트(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제1항에 있어서, 상기 p-타입 소오스영역(122)은 상기 소오스측부에서 큰 평향각을 가지고 임플란트함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 제1항에 있어서, 상기 메모리셀의 상기 채널길이는 상기 소오스 측부상의 상기 p-타입 소오스영역(122)에 의해 세트되고, 상기 적층게이트 구조의 임계치수와는 무관하며, 이로써, 작은 크기로 비례축소를 할 수 있으며, 고집적으로 저전압 파워서플라이 응용분야에 접합한 것을 특징으로 하는 단일 트랜지스터 메모리 셀구조.
- 실리콘 반도체기판상에 자기정렬의 단일 트랜지스터 메모리 셀구조를 형성하는 형성방법으로서, 상기 방법은 상기 기판에 n-매몰채널/접합영역(116)을 임플란트하는 임플란트단계, 상기 기판의 표면위에 터널 산화막구조(126)를 형성하는 단계, 상기 터널 산화막상에 적층게이트 구조(134)를 형성하는 형성단계, 드레인측부를 한정하는 상기 n-매몰채널/접합영역의 제1측부를 마스킹하는 마스킹단계, 소오스측부를 한정하는 상기 n-매몰채널/접합영역의 제2측부상에 p-타입 소오스영역(122)을 임플란트하는 임플란트단계 및, 상기 각각의 드레인 및 소오스측부상에 상기 기판에서 n+드레인 및 n+소오스영역(118,124)을 임플란트하는 임플란트단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 적층게이트 구조(134)는 상기 n+ -타입 드레인영역(118)의 일부분(119), 상기제1p-타입 소오스영역(122) 및, 상기 제2n+소오스영역(124)의 일부분(125)을 덮어씌우는 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제11항에 있어서, 상기 n-매몰 채널/접합영역(116)은 두께가 1000내지 2000Å인 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제12항에 있어서, 상기 n-매몰채널/접합영역(116)은 1×1013내지 3×1014이온/㎠의 범위내에 밀도를 가진 인이온을 임폴란트함으로써 형성되는 것을 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 p-타입 소오스영역(122)은 5×1013내지 8×1014이온/㎠의 밀도를 가진 붕소이온을 임플란트함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 터널 산화막(126)은 두께가 대략 100Å 미만인 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 적층게이트 구조(134)는 부동게이트(128), 상기 부동게이트상에 배치된 인터-게이트 유전체(130) 및, 상기 인터-게이트 유전체상에 배치된 제어게이트(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 p-타입 소오스영역(122)은 상기 소오스측부에서 큰 편향각을 가지고 임플란트 함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.
- 제10항에 있어서, 상기 메모리셀의 상기 채널길이는 상기 소오스 측부상의 상기 p-타입 소오스영역(122)에 의해 세트되고, 상기 적층게이트 구조의 임계치수와는 무관하며, 이로써, 작은 크기로 비례축소를 할수 있으며, 고집적으로 저전압 파워서플라이 응용분야에 적합한 것을 특징으로 하는 자기정렬 단일 트랜지스터 메모리 셀구조 형성방법.참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/299,868 | 1994-09-01 | ||
US08/299,868 US5468981A (en) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | Self-aligned buried channel/junction stacked gate flash memory cell |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960012532A true KR960012532A (ko) | 1996-04-20 |
Family
ID=23156647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950027551A KR960012532A (ko) | 1994-09-01 | 1995-08-30 | 자기정렬 매몰 채널/접합 적층 게이트 플래시 메모리셀 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5468981A (ko) |
EP (1) | EP0700097B1 (ko) |
JP (1) | JPH0878541A (ko) |
KR (1) | KR960012532A (ko) |
DE (1) | DE69517268T2 (ko) |
TW (1) | TW265476B (ko) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5574685A (en) * | 1994-09-01 | 1996-11-12 | Advanced Micro Devices, Inc. | Self-aligned buried channel/junction stacked gate flash memory cell |
JP3878681B2 (ja) * | 1995-06-15 | 2007-02-07 | 株式会社ルネサステクノロジ | 不揮発性半導体記憶装置 |
IT1289524B1 (it) | 1996-12-24 | 1998-10-15 | Sgs Thomson Microelectronics | Cella di memoria per dispositivi di tipo eeprom e relativo processo di fabbricazione |
US7154141B2 (en) * | 2001-02-02 | 2006-12-26 | Hyundai Electronics America | Source side programming |
US6887758B2 (en) * | 2002-10-09 | 2005-05-03 | Freescale Semiconductor, Inc. | Non-volatile memory device and method for forming |
US6713812B1 (en) | 2002-10-09 | 2004-03-30 | Motorola, Inc. | Non-volatile memory device having an anti-punch through (APT) region |
KR100790493B1 (ko) * | 2007-01-10 | 2008-01-03 | 삼성전자주식회사 | 비휘발성 메모리 소자 및 그 형성방법 |
US7906805B2 (en) * | 2008-08-22 | 2011-03-15 | Actel Corporation | Reduced-edge radiation-tolerant non-volatile transistor memory cells |
CN101771052B (zh) * | 2009-12-25 | 2011-08-03 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种浮体动态随机存储器的单元结构及其制作工艺 |
JP2013041891A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
CN112329099B (zh) * | 2020-10-27 | 2023-04-14 | 中国铁路设计集团有限公司 | 一种基于自定义数据库的铁路山岭隧道正洞智能匹配方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4161039A (en) * | 1976-12-15 | 1979-07-10 | Siemens Aktiengesellschaft | N-Channel storage FET |
JP3059442B2 (ja) * | 1988-11-09 | 2000-07-04 | 株式会社日立製作所 | 半導体記憶装置 |
US4958321A (en) * | 1988-09-22 | 1990-09-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | One transistor flash EPROM cell |
KR940010930B1 (ko) * | 1990-03-13 | 1994-11-19 | 가부시키가이샤 도시바 | 반도체장치의 제조방법 |
JP2817393B2 (ja) * | 1990-11-14 | 1998-10-30 | 日本電気株式会社 | 半導体記憶装置の製造方法 |
JPH05167078A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-07-02 | Nippon Steel Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US5396459A (en) * | 1992-02-24 | 1995-03-07 | Sony Corporation | Single transistor flash electrically programmable memory cell in which a negative voltage is applied to the nonselected word line |
US5349220A (en) * | 1993-08-10 | 1994-09-20 | United Microelectronics Corporation | Flash memory cell and its operation |
US5378909A (en) * | 1993-10-18 | 1995-01-03 | Hughes Aircraft Company | Flash EEPROM cell having gap between floating gate and drain for high hot electron injection efficiency for programming |
-
1994
- 1994-09-01 US US08/299,868 patent/US5468981A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-04-01 TW TW084103202A patent/TW265476B/zh active
- 1995-06-30 EP EP95110236A patent/EP0700097B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-30 DE DE69517268T patent/DE69517268T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-30 KR KR1019950027551A patent/KR960012532A/ko not_active Application Discontinuation
- 1995-08-31 JP JP7223235A patent/JPH0878541A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW265476B (en) | 1995-12-11 |
EP0700097A1 (en) | 1996-03-06 |
JPH0878541A (ja) | 1996-03-22 |
EP0700097B1 (en) | 2000-05-31 |
DE69517268T2 (de) | 2001-02-08 |
US5468981A (en) | 1995-11-21 |
DE69517268D1 (de) | 2000-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960012533A (ko) | 자기정렬 매몰 채널/접합 적층 게이트 플래시 메모리셀 | |
US5231299A (en) | Structure and fabrication method for EEPROM memory cell with selective channel implants | |
US5761126A (en) | Single-poly EPROM cell that utilizes a reduced programming voltage to program the cell | |
US5596213A (en) | Shallow trench source EPROM cell | |
JP3129438B2 (ja) | Mos eepromトランジスタセル及びその製造方法 | |
WO2001097292A1 (en) | Vertical channel floating gate transistor having silicon germanium channel layer | |
KR0138312B1 (ko) | 비휘발성 반도체 메모리장치의 제조방법 | |
CN104701316B (zh) | 一种双槽形结构的半浮栅器件及其制造方法 | |
KR970018492A (ko) | 불휘발성 메모리 셀 및 그 제조방법 | |
US20030001195A1 (en) | Non-volatile semiconductor memory having a decreased gate length and manufacturing method thereof | |
KR960012532A (ko) | 자기정렬 매몰 채널/접합 적층 게이트 플래시 메모리셀 | |
US4233616A (en) | Semiconductor non-volatile memory | |
JPH11330280A (ja) | チャネル消去/書込によるフラッシュメモリ―セル構造の製造方法およびその操作方法 | |
KR970024313A (ko) | 불휘발성 반도체기억장치 및 그 제조방법(nonvolatile semiconductor memory device and method of manufacturing the same) | |
GB2200795A (en) | Eprom cell with integral select transistor | |
JP2819975B2 (ja) | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 | |
US6329247B1 (en) | Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof | |
EP0936672A3 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
KR100585097B1 (ko) | 이이피롬 소자 및 그 제조방법 | |
CN114335182A (zh) | 嵌入式闪存、半导体器件结构及其制备方法 | |
US6963106B1 (en) | Memory array with memory cells having reduced short channel effects | |
JPH0132673B2 (ko) | ||
US20020089011A1 (en) | Eeprom cell with a single polysilicon level and a self-algned tunnel area | |
KR100303916B1 (ko) | 플레쉬 메모리 셀의 제조방법 | |
KR970024287A (ko) | 실리콘-온- 절연체 모스 전계효과 트랜지스터 및 그의 제조방법(Silicon-On-Insulator MOS transistor and fabricating method thereof) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |