KR960002604A - 처리장치, 처리가스의 공급방법 및 처리장치의 크리닝방법 - Google Patents

처리장치, 처리가스의 공급방법 및 처리장치의 크리닝방법 Download PDF

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KR960002604A
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하쓰오 오사다
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기미히로 마쓰세
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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Abstract

진공처리장치는 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 진공처리실에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스 공급원과; 처리가스 공급원으로 부터 진공처리실로 처리가스를 공급하는 처리가스 공급원과; 처리가스가 진공처리실로 공급될때에 가스 공급관내를 대기압보다도 낮은 압력으로 설정하는 감압수단을 구비한다.

Description

처리장치, 처리가스의 공급방법 및 처리장치의 크리닝방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 관한 처리장치를 나타내는 모식도,
제2도는 제1도에 나타낸 장치의 횡단면도,
제3도는 본 발명의 다른 실시예에 관한 처리장치를 나타내는 모식도.

Claims (16)

  1. 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 진공처리실내에서 상기 피처리체에 대하여 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스 공급원과; 상기 처리가스 공급원으로 부터 상기 처리실내로 상기 처리가스를 공급하는 처리가스 공급배관과; 상기 처리가스가 상기 처리실로 공급되는 때에 상기 가스 공급배관내를 대기압보다도 낮은 압력으로 설정하는 감압수단을 구비하는 진공처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 감압수단은 감압밸브를 가지는 진공처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 처리가스는 상기 진공처리실내를 크리닝하는 ClF3가스가 포함하는 크리닝가스를 가지는 진공처리장치.
  4. 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 가스를 공급하는 처리가스의 공급방법으로서, 상기 처리가스의 유로내를 대기압보다도 낮은 압력으로 설정하는 공정과; 그 압력상태에서 상기 처리가스를 상기 유로내를 통하여 처리실에 공급하는 공정을 구비하는 처리가스의 공급방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 처리가스는 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 가지는 처리가스의 공급방법.
  6. 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3의 가스를 포함하는 크리닝가스를 대기압보다도 낮은압력으로 공급하는 크리닝가스 공급계를 구비하는 진공 처리장치.
  7. 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급하는 크리닝가스 공급계와; 상기 진공처리실에 상기 처리가스 및 상기 크리닝가스를 도입하기 위한 가스도입부재와; 상기 가스도입부재를 가열하기 위한 가열수다을 구비하는 진공처리장치.
  8. 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급하는 크리닝가스 공급계와; 상기 크리닝가스 공급계를 가열하여 액화를 방지하기 위한 액화방지 가열수단을 구비하는 감압처리장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 크리닝가스 공급계에 있어서의 크리닝가스의 액화가 생기기 수운 부분을 가열하는 가열수단을 더욱 가지는 감압처리장치.
  10. 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 불활성 가스를 포함하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급하는 크리닝가스 공급계를 구비하는 처리장치의 크리닝방법으로서, 상기 크리닝가스 공급계를 통하여 크리닝가스를 상기 처리실에 공급하는 공정과; 크리닝가스를 공급할때에 불활성가스를 상기 처리실에 공급하는 공정을 구비하는 처리장치에 있어서의 크리닝방법.
  11. 복수매의 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 상기 피처리체를 재치하는 재치대와; 이 재치대상의 각 피처리체에 개별로 처리가스를 각각 공급하는 처리가스 공급부와; 상기 각 처리가스 공급부에 접속되고, 이것에 대하여 개별적으로 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급가능한 크리닝가스 공급계를 구비하고, 임의로 선택된 처리가스 공급부로부터 이것에 대응하는 상기 지지체에 향하여 크리닝가스가 공급되는 처리장치.
  12. 복수매의 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 상기 피처리체를 재치하는 재치대와; 이 재치대상의 각 피처리체에 개별로 처리가스를 각각 공급하는 처리가스 공급부와; 상기 각 처리가스 공급부에 접속되고, 이것에 대하여 개별적으로 크리닝가스를 공급가능한 크리닝가스 공급계를 구비하는 처리장치의 크리닝방법으로서, 상기 지지체의 적어도 1개의 위에 피처리체를 지지시키고, 이 피처리체에 대하여 특정의 처리를 하는 공정과; 상기 지지체중 처리가 행해지고 있지 않는 것의 적어도 1개에 대응하는 처리가스 공급부로 부터 그 지지체에 향하여 크리닝가스를 공급하여 크리닝을 하는 공정을 구비하는 처리장치의 크리닝방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기크리닝가스는 ClF3가스를 포함하는 처리장치의 크리닝방법.
  14. 제12항에 있어서, 상기 처리실로부터 크리닝가스를 배기하는 공정을 더욱 가지는 처리장치의 크리닝방법.
  15. 복수매의 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 상기 피처리체를 재치하는 재치대와; 이 재치대상의 각 피처리체에 처리가스를 각각 공급하는 처리가스 공급부와; 상기 처리가스 공급부에 접속되고, 그것에 대하여 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급가능한 크리닝가스 공급계와; 상기 처리실의 벽면을 50℃이하로 유지되는 냉각수단을 구비하는 처리장치.
  16. 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 1매의 피처리체를 지지하는 지지체와; 이 지지체를 통하여 피처리체를 가열하는 제1가열수단과; 상기 처리실의 벽면을 가열하는 제2가열수단과; 상기 처리실에 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스가 공급되는 크리닝 가스공급부를 구비하는 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940012732A 1994-06-07 1994-06-07 처리장치,처리가스의공급방법및처리장치의크리닝방법 KR100300096B1 (ko)

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