KR960002604A - 처리장치, 처리가스의 공급방법 및 처리장치의 크리닝방법 - Google Patents
처리장치, 처리가스의 공급방법 및 처리장치의 크리닝방법 Download PDFInfo
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Abstract
진공처리장치는 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 진공처리실에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스 공급원과; 처리가스 공급원으로 부터 진공처리실로 처리가스를 공급하는 처리가스 공급원과; 처리가스가 진공처리실로 공급될때에 가스 공급관내를 대기압보다도 낮은 압력으로 설정하는 감압수단을 구비한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예에 관한 처리장치를 나타내는 모식도,
제2도는 제1도에 나타낸 장치의 횡단면도,
제3도는 본 발명의 다른 실시예에 관한 처리장치를 나타내는 모식도.
Claims (16)
- 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 진공처리실내에서 상기 피처리체에 대하여 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스 공급원과; 상기 처리가스 공급원으로 부터 상기 처리실내로 상기 처리가스를 공급하는 처리가스 공급배관과; 상기 처리가스가 상기 처리실로 공급되는 때에 상기 가스 공급배관내를 대기압보다도 낮은 압력으로 설정하는 감압수단을 구비하는 진공처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 감압수단은 감압밸브를 가지는 진공처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 처리가스는 상기 진공처리실내를 크리닝하는 ClF3가스가 포함하는 크리닝가스를 가지는 진공처리장치.
- 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 가스를 공급하는 처리가스의 공급방법으로서, 상기 처리가스의 유로내를 대기압보다도 낮은 압력으로 설정하는 공정과; 그 압력상태에서 상기 처리가스를 상기 유로내를 통하여 처리실에 공급하는 공정을 구비하는 처리가스의 공급방법.
- 제4항에 있어서, 상기 처리가스는 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 가지는 처리가스의 공급방법.
- 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3의 가스를 포함하는 크리닝가스를 대기압보다도 낮은압력으로 공급하는 크리닝가스 공급계를 구비하는 진공 처리장치.
- 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급하는 크리닝가스 공급계와; 상기 진공처리실에 상기 처리가스 및 상기 크리닝가스를 도입하기 위한 가스도입부재와; 상기 가스도입부재를 가열하기 위한 가열수다을 구비하는 진공처리장치.
- 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 특정의 처리를 실시하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급하는 크리닝가스 공급계와; 상기 크리닝가스 공급계를 가열하여 액화를 방지하기 위한 액화방지 가열수단을 구비하는 감압처리장치.
- 제8항에 있어서, 상기 크리닝가스 공급계에 있어서의 크리닝가스의 액화가 생기기 수운 부분을 가열하는 가열수단을 더욱 가지는 감압처리장치.
- 피처리체를 처리하기 위한 진공처리실과; 상기 진공처리실에 피처리체에 대하여 불활성 가스를 포함하는 처리가스를 공급하는 처리가스의 공급계와; 처리가스 공급계와는 별개로 설치된 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급하는 크리닝가스 공급계를 구비하는 처리장치의 크리닝방법으로서, 상기 크리닝가스 공급계를 통하여 크리닝가스를 상기 처리실에 공급하는 공정과; 크리닝가스를 공급할때에 불활성가스를 상기 처리실에 공급하는 공정을 구비하는 처리장치에 있어서의 크리닝방법.
- 복수매의 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 상기 피처리체를 재치하는 재치대와; 이 재치대상의 각 피처리체에 개별로 처리가스를 각각 공급하는 처리가스 공급부와; 상기 각 처리가스 공급부에 접속되고, 이것에 대하여 개별적으로 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급가능한 크리닝가스 공급계를 구비하고, 임의로 선택된 처리가스 공급부로부터 이것에 대응하는 상기 지지체에 향하여 크리닝가스가 공급되는 처리장치.
- 복수매의 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 상기 피처리체를 재치하는 재치대와; 이 재치대상의 각 피처리체에 개별로 처리가스를 각각 공급하는 처리가스 공급부와; 상기 각 처리가스 공급부에 접속되고, 이것에 대하여 개별적으로 크리닝가스를 공급가능한 크리닝가스 공급계를 구비하는 처리장치의 크리닝방법으로서, 상기 지지체의 적어도 1개의 위에 피처리체를 지지시키고, 이 피처리체에 대하여 특정의 처리를 하는 공정과; 상기 지지체중 처리가 행해지고 있지 않는 것의 적어도 1개에 대응하는 처리가스 공급부로 부터 그 지지체에 향하여 크리닝가스를 공급하여 크리닝을 하는 공정을 구비하는 처리장치의 크리닝방법.
- 제12항에 있어서, 상기크리닝가스는 ClF3가스를 포함하는 처리장치의 크리닝방법.
- 제12항에 있어서, 상기 처리실로부터 크리닝가스를 배기하는 공정을 더욱 가지는 처리장치의 크리닝방법.
- 복수매의 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 상기 피처리체를 재치하는 재치대와; 이 재치대상의 각 피처리체에 처리가스를 각각 공급하는 처리가스 공급부와; 상기 처리가스 공급부에 접속되고, 그것에 대하여 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스를 공급가능한 크리닝가스 공급계와; 상기 처리실의 벽면을 50℃이하로 유지되는 냉각수단을 구비하는 처리장치.
- 피처리체를 수용하는 처리실과; 상기 처리실내에 설치되고, 1매의 피처리체를 지지하는 지지체와; 이 지지체를 통하여 피처리체를 가열하는 제1가열수단과; 상기 처리실의 벽면을 가열하는 제2가열수단과; 상기 처리실에 ClF3가스를 포함하는 크리닝가스가 공급되는 크리닝 가스공급부를 구비하는 처리장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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