KR950030739A - 박막 전계발광 표시소자의 복합유전층 구조 - Google Patents

박막 전계발광 표시소자의 복합유전층 구조 Download PDF

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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/12—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/22—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers

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Abstract

본 발명은 박막 전계발과 표시(thin film electroluminescent display) 소자의 절연층을 형성하는 유리박막에 관한 것임. 본 발명의 복합 유전층 구조는 투명전극인 인듐 팀 산화물(ITO)이 도포된 유리기판 위에 먼저 Si3N4, 실리콘 옥시나이트라이드(Silicon Oxynitride) 또는 SiAION으로 구성되는 버퍼층을 10∼100nm의 두께로 증착시킨 다음 버퍼층 위에 절연층으로서의 Ba1-xSrxTiO3(0＜x＜1)의 유리전막을 200∼400nm의 두께로 증착시킴에 의해 형성된다. 본 발명은 유리기판의 ITO층과 유리박막의 사이에 버퍼층이 형성됨에 따라 종래의 유전체에 비해 누설전류 및 파괴전계강도등의 전기적 특성면에서 우수한 효과를 발휘한다.

Description

박막 전계발광 표시소자의 복합유전층 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명이 버퍼층이 형성된 박막 전계발광 표시소자의 개략구조도, 제3도는 본 발명의 버퍼층이 형성된 박막 전계발광 표시소자의 누설전류 변화를 나타낸 그래프.

Claims (2)

  1. 인듐 틴 산화물(ITO)로 이루어진 투명전극이 도포된 유리기판 위에 하부절연층, 발광층 및 상부절연층이 순차적층되어 이루어진 다층 박막구조 박막 전계발광 표시소자에 있어서, 하부절연층이 Ba1-xSrxTiO3(0＜x＜1)의 유리박막으로 구성되고 하부절연층과 투명전극과의 사이에 버퍼층이 형성됨을 특징으로 하는 박막 전계발광 표시소자의 복합 유전층 구조.
  2. 제1항에 있어서, 버퍼층은 Si3N4, 실리콘 옥시나이트라이드(Silicon Oxynitride)또는 SiAION으로 이루어짐을 특징으로 하는 박막 전계발광 표시소자의 복합유전층 구조.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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