KR950030418A - 기체레이저장치 - Google Patents

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쯔토무 스기야마
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은, 레이저가공에 사용되는 기체레이저장치에 있어서, 고전압노이즈에 의한 방전전류전압변동을 작게 해서 가공의 품질을 안정화하고, 고전압전원의 절연상태를 감시해서 레이저장치의 가동율의 향상을 도모하는 것을 목적으로 한 것으로서, 그 구성에 있어서, 직류고전압전원(9)의 출력단자에 일단부를 접지한 고내압고저항(10a), (10b)을 접속해서 저항접지하고, 출력단자의 한쪽과 여기부의 사이에 접지한 철심(12)과 홀소자(13)와 코일(11)로 구성되는 전류검출기를 설치하고, 전류검출기의 홀소자(13)의 출력신호에 의해 직류고전압전원(9)의 출력제어를 행한다. 또는, 1차 전류파형의 실효치신호에 의해 고주파교류전원의 출력을 바꾸어서, 고전압노이즈의 혼입을 방지한다. 직류고전압전원의 승압트랜스의 1차전류, 전압파형의 어긋남을 검지해서 기준신호와 비교하고, 고전압전원의 절연상태를 감시하는 것을 특징으로 한 것이다. 이로서, 전류검출기를 통해서 혼입하는 고전압노이즈가 없어지고 방전전류가 안정화되므로, 레이저출력 나아가서는 가공품질의 안정화가 실현되고, 레이저장치를 운전하면서, 고전압전원의 절연상태를 감시하므로써, 레이저장치의 보수점검시기를 적절히 파악할 수 있기 때문에, 장치의 가동율향상을 도모할 수 있다.

Description

기체레이저장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 실시예에 있어서의 기체레이저장치의 개략구성도, 제2도(a)는 전류검출기의 외관도, (b)는 전류검출기의 홀소자의 근처구조를 표시한 평면단면도, (c)는 전류검출기의 단면도, 제3도는 본 발명의 제1의 실시예에 있어서의 전류검출기용기의 단면도.

Claims (9)

  1. 기체레이저매질을 방전여기하는 여기부에 의해 레이저광을 인출하는 레이저공진기와, 방전을 발생시키는 직류고전압전원과, 기체레이저매질을 송풍하는 송풍기와, 기체레이저매질의 냉각기와, 상기 송풍기로부터 레이저고진기에 기체레이저매질을 인도하는 가스배관을 구비한 기체레이저장치에 있어서, 상기 직류고전압전원의 출력단자에 일단부를 접지한 저항을 접속하고, 출력단자의 한쪽과 여기부의 사이에 접지한 철심과 홀소자와 코일로 구성되는 전류검출기를 설치하고, 상기 전류검출기의 홀소자의 출력신호에 의해 상기 직류고전압전원의 출력제어를 행하는 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  2. 제1항에 있어서, 저항에 흐르는 전류가 레이저공진기의 여기부에서 행하여지는 방전의 방전전류의 1/100이하가 되도록 상기 저항의 저항치를 설정한 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  3. 제1항에 있어서, 전류검출기는 철심보다도 저항치가 작은 도체커버로 씌우고, 상기 처림접지단자를 상기 도체커버의 홀소자근처에 설치하고, 상기 홀소자, 철심, 도체커버를 자계방향으로 평행으로 또한 동축으로 배치한 복수개의 절연커버에 수납하고, 상기 홀소자, 철심, 도체커버, 절연커버의 틈새에 절연물을 충전하고, 상기 절연커버의 가장 바깥쪽에 코일을 감은 구성으로 한 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  4. 제1항에 있어서, 전류검출기는, 1쌍의 절연단자와 신호인출구멍을 뚫은 덮개를 접지한 도체케이스에 씌운 검출기용기의 상기 덮개의 안쪽에 장착하고, 전류검출기의 코일을 절연단자에 접속하고, 철심의 접지선 및, 홀소자의 출력신호를 상기 덮개의 신호인출구멍으로부터 인출하고, 상기 검출용기내에 절연물질을 봉입하는 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  5. 제4항에 있어서, 검출기용기는, 상기 절연커버의 신호인출구멍을, 상기 홀소자의 출력신호에 접속된 신호 증폭기를 장착한 회로지지구로 막는 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  6. 기체레이저매질을 방전여기하는 여기부에 의해 레이저광을 인출하는 레이저공진기와, 방전을 발생시키는 직류고전압전원과, 기체레이저매질을 송풍하는 송풍기와, 기체레이저매질의 냉각기와, 상기 송풍기로부터 레이저공진기에 기체레이저매질을 인도하는 가스배관을 구비한 기체레이저장치에 있어서, 고주파교류전원과 교류승압트랜스와 고압정류회로와 전류검출기로 상기 직류고전압전원의 1차쪽을 구성하고, 상기 전류검출기를 상기 교류승압트랜스와 고주파교류전원의 사이에 설치하고, 상기 전류검출기의 출력신호에 의해 상기 고주파교류전원의 출력을 가변으로 한 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  7. 제4항에 있어서, 전류검출기의 출력신호를 실효치연산기를 통한 신호에 의해 고주파교류전원의 출력을 가변으로 한 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  8. 제4항에 있어서, 전류검출기의 출력신호를 정류기와 콘덴서로 이루어진 정류평활회로를 통한 신호에 의해 고주파교류전원의 출력을 가변으로 한 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
  9. 제4항에 있어서, 고주파교류전원은, 직류전압원과 스위치소자와 펄스발생기로 구성한 스위치전원으로 하고, 전류파형의 피크를 검출하는 피크검출기를 전류검출기에 접속하고, 상기 펄스발생기와 상기 피크검출기의 출력펄스발생시간의 차를 검출하는 시간차검출기를 설치한 것을 특징으로 하는 기체레이저장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019950010289A 1994-04-28 1995-04-28 기체레이저장치 KR0151581B1 (ko)

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