KR950030232A - 자동슬릿 조절장치 - Google Patents

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KR950030232A
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정욱채
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문정환
금성일렉트론 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70091—Illumination settings, i.e. intensity distribution in the pupil plane or angular distribution in the field plane; On-axis or off-axis settings, e.g. annular, dipole or quadrupole settings; Partial coherence control, i.e. sigma or numerical aperture [NA]

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

본 발명은 슬릿의 조절을 자동으로 조절하도록 한 노광장치의 자동슬릿조절장치에 관한 것이다.
하부의 고정된 고정판과 상부의 탄력이 있는 복원판 사이의 열려진 틈으로 형성한 슬릿의 조절을 통하여 빛의 유니퍼미티를 조절하는 노광장치의 슬릿 조절장치에 있어서, 모터의 작동에 의하여 상기 복원판을 상방향 또는 하방향으로 밀어줌으로서 슬릿을 자동으로 조절하는 다수개의 구동장치와, 상기 구동장치의 상하이동을 제어하는 신호를 발생하는 제어장치를 포함하는 자동슬릿조절장치이다.

Description

자동슬릿 조절장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 노광장치의 자동슬릿조절장치이며, 제3도는 본 발명의 자동슬릿조절장치의 회로도이고, 제4도는 본 발명의 자동슬릿조절장치의 플로차트이다.

Claims (5)

  1. 하부의 고정된 고정판과 상부의 탄력이 있는 복원판 사이의 열려진 틈으로 형성한 슬릿의 조절을 통하여 빛의 유니퍼미티를 조절하는 노광장치의 슬릿조절장치에 있어서, 모터의 작동에 의하여 상기 복원판을 상방향 또는 하방향으로 밀어줌으로서 슬릿을 자동으로 조절하는 다수개의 구동장치와, 상기 구동장치의 상하이동을 제어하는 신호를 발생하는 제어장치를 포함하는 것이 특징인 자동슬릿조절장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동장치는 복원판과 직접 접촉하도록 복원판 상에 상하로 길이를 갖으며 형성한 밀대와, 상기 밀대에 밀착되어 제어장치의 신호에 의하여 밀대를 상하로 제어하는 모터와, 상기 밀대 상단에 형성한 과도진행방지부와, 밀대의 하단에서 구동장치를 지지하는 안전구동부를 포함하는 것이 특징인 자동슬릿조절장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 안전구동부는 표면에 나사선을 형성한 베어링지지대와, 베어링지지대의 외부에 형성한 육각커플러로 구성한 것이 특징인 자동슬릿조절장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 과도진행방지부는 금속판으로 형성하며 완충 및 플래그판인 플래그와, 이에 연결된 광센서로 구성한 것이 특징인 자동슬릿조절장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제어장치는 빛의 강도 및 유니퍼미티 제어신호를 발생하는 마이크로프로세서와, 상기 제어신호를 전송받아 위상과 구동전류를 발생시켜, 모터구동을 다중송신하여 모터 선택 제어 신호와 위상 제어신호를 출력하며 구동장치에 대한 과도신호를 래치하고 모터구동 클락주파수 및 제어신호를 출력하는 모터제어부와, 모터제어부로부터 신호를 받아 모터를 선택하도록 신호를 전송하는 플립플롭회로와, 플립플롭회로의 신호에 따라 모터를 선택하는 모터선택부와, 상기 모터선택부에서 선택한 모터가 구동하도록 제어하는 모터구동부를 포함하는 것이 특징인 자동슬릿조절장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임
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