Claims (20)
영상을 형성하기 위한 신호를 출력하는 구동 기판(1) 위의 일측에 액츄에이터를 고정시키기 위한 지지부(20)가 형성되고 지지부(20)위에 구동 기판(1)과 일정 간격을 두면서 멤브레인(21)이 형성되며, 지지부(20)의 중앙 영역에 그 지지부(20)와 멤브레인(21)이 형성되며, 지지부(2)의 중앙 영역에 그 지지부(2)와 맴브레인(2!)을 관통하는 도전체(22)가 형성되고 표면에 신호 전극(23), 변형부(24) 그리고 바이어스 전극(25)이 차례로 형성되며, 바이어스 전극(25)위 지지부(20)와는 반대측과 멤브레인(21), 변형부(24) 그리고 바이어스 전극(25)의 측면에 걸쳐 그 바이어스 전극(25)과는 일정 간격을 두며 "ㄴ"자가 뒤집어진 형태로 빛을 반사시키기 위한 거울(26)이 형성되어 이루어지는 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.A support part 20 for fixing an actuator is formed on one side of the drive substrate 1 for outputting a signal for forming an image, and the membrane 21 is spaced apart from the drive substrate 1 on the support part 20. And a support 20 and a membrane 21 formed in a central region of the support 20, and a conductor penetrating the support 2 and the membrane 2! In the central region of the support 2. 22, a signal electrode 23, a deformable part 24, and a bias electrode 25 are sequentially formed on the surface thereof, and the membrane 21 and the deformable part (the side opposite to the support part 20 on the bias electrode 25) are formed. 24) and a mirror 26 for reflecting light in a form in which the letter “B” is inverted at a predetermined distance from the bias electrode 25 over the side of the bias electrode 25 is formed. Structure of optical path control device.
제1항에 있어서, 상기 지지부(20)는 세라믹으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.The structure of an optical path control apparatus of a projection type image display apparatus according to claim 1, wherein said support portion (20) is made of ceramic.
제1항에 있어서, 상기 멤브레인(21)은 세라믹으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.The structure of an optical path control device of a projection type image display device according to claim 1, wherein said membrane (21) is made of ceramic.
제1항에 있어서, 상기 신호 전극(23)은 도전체로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.The structure of an optical path control device of a projection type image display device according to claim 1, wherein said signal electrode (23) is made of a conductor.
제4항에 있어서, 상기 도전체는 Pt, Pt/Ti중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.5. The structure of claim 4, wherein the conductor is at least one of Pt and Pt / Ti.
제1항에 있어서, 상기 변형부(24)는 압전 세라믹, 전왜 세라믹중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.The structure of an optical path control apparatus of a projection type image display apparatus according to claim 1, wherein the deformable portion (24) is made of at least one of piezoelectric ceramics and electrostrictive ceramics.
제1항에 있어서, 상기 바이어스 전극(25)은 도전체로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.The structure of an optical path control device of a projection type image display device according to claim 1, wherein said bias electrode (25) is a conductor.
제7항에 있어서, 상기 도전체는 Pt, Ag, Al 그리고 Au중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.8. The structure of claim 7, wherein the conductor is made of at least one of Pt, Ag, Al, and Au.
제1항에 있어서, 상기 거울(26)은 금속으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.The structure of an optical path control device of a projection type image display device according to claim 1, wherein said mirror (26) is made of metal.
제9항에 있어서, 상기 금속은 Pt, Ag, Al 그리고 Au중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.10. The structure of claim 9, wherein the metal is at least one of Pt, Ag, Al, and Au.
영상을 형성하기 위한 신호를 출력하는 구동 기판(1) 위의 일측에 액츄에이터를 고정시키기 위한 지지부(30)가 형성되고 지지부(30) 중앙에 도전체(31)가 그 지지부(30)를 관통하여 형성되며, 지지부(30)위 구동 기판(1)과 일정 간격을 유지하면서 신호 전극(32),변형부(33), 바이어스 전극(34) 그리고 멤브레인(35)이 차례로 적층되어 형성되고 멤브레인(35)위 지지부(3)와는 반대측과 변형부(33), 바이어스 전극(34) 그리고 멤브레인(35)의 측면에 걸쳐 멤브레인(35)과 일정 간격을 유지하면서 "ㄴ"자가 뒤집어진 형태로 빛을 반사시키기 위한 거울(36)이 형성되어 이루어지는 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.A support part 30 for fixing an actuator is formed on one side of the driving substrate 1 that outputs a signal for forming an image, and a conductor 31 penetrates the support part 30 at the center of the support part 30. The signal electrode 32, the deformation unit 33, the bias electrode 34, and the membrane 35 are sequentially stacked and formed at a constant distance from the driving substrate 1 on the support 30. Reflects light in an inverted "b" shape while maintaining a constant distance from the membrane 35 across the support 3 and the side of the deformable portion 33, the bias electrode 34 and the membrane 35. A structure of an optical path control device of a projection type image display device, in which a mirror 36 is formed.
제11항에 있어서, 상기 지지부(30)는 세라믹으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.12. The structure of claim 11, wherein the support part (30) is made of ceramic.
제11항에 있어서, 상기 멤브레인(35)은 세라믹으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.12. The structure of the optical path control device of the projection type image display device according to claim 11, wherein the membrane (35) is made of ceramic.
제11항에 있어서, 상기 신호 전극(32)은 도전체로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.12. The structure of the optical path control device of the projection image display device according to claim 11, wherein said signal electrode (32) is made of a conductor.
제14항에 있어서, 상기 도전체는 Pt, Pt/Ti중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.15. The structure of claim 14, wherein the conductor is at least one of Pt and Pt / Ti.
제11항에 있어서, 상기 변형부(33)는 압전 세라믹, 전왜 세라믹중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.12. The structure of the optical path control apparatus of the projection type image display apparatus according to claim 11, wherein the deformable portion (33) is made of at least one of piezoelectric ceramics and electrodistorted ceramics.
제11항에 있어서, 상기 바이어스 전극(34)은 도전체로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.12. The structure of claim 11, wherein the bias electrode is made of a conductor.
제17항에 있어서, 상기 도전체는 Pt, Ag, Al 그리고 Au중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.18. The structure of claim 17, wherein the conductor is made of at least one of Pt, Ag, Al, and Au.
제11항에 있어서, 상기 거울(36)은 금속으로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.12. The structure of claim 11, wherein the mirror (36) is made of metal.
제19항에 있어서, 상기 금속은 Pt, Ag, Al 그리고 Au중 적어도 하나로 된 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 구조.20. The structure of claim 19, wherein the metal is at least one of Pt, Ag, Al, and Au.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.