KR950008676Y1 - 핸들러의 노말콘택핑거구조 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

핸들러의 노말콘택핑거구조

제1도는 핸들러 부분개략도.

제2도는 종래의 콘택핑거 구조도.

제3도는 본 고안의 콘택핑거 구조도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 포스콘택핑거 2 : 센스콘택핑거

3 : 절연체 4 : 분리자

본 고안은 핸들러의 콘택핑거(Contact Finger)의 구조에 관한 것으로, 특히 반도체 소자의 테스트시 접촉저항을 감소시킬 수 있도록 한 노말(Normal) 콘택핑거의 구조에 관한 것이다.

여기서 핸들러는 일종의 반도체소자 테스트 장비로서 부분개략도인 제1도에 나타낸 바와 같이 드롭 셔틀(Drop Shuttle)을 이용하여 IC를 한개씩 콘택핑거까지 이송하고 이송된 각 IC는 콘택핑거에 의해 테스트될 수 있도록 한 것이다.

종래의 핸들러의 콘택핑거구조는 제2도에 나타낸 바와 같이 포스(Force) 콘택핑거(1)와 센스(Sense) 콘택핑거(2)로 이루어지고 이 두 핑거(1)(2)는 한쪽 끝부분 사이에 삽입된 절연체(3)를 통해 결합되며 다른 한쪽 끝부분은 서로 일정간격을 유지하도록 중간지점에 분리자(4)를 끼워 넣은 것이었다.

이와 같은 핸들러 콘택핑거는 반도체소자 테스트시 로드보드(Load Board)와 소자간에 접촉을 하여 소자의 특성신호가 상기 로드보드에 전달되도록 하는 역할을 한다.

그러나 상기 종래의 콘택핑거 구조는 제2도에 나타낸 바와 같이 일자형으로서 소자핀과의 접촉부분(A)이 적기 때문에 전류 및 전압을 가할 때 콘택저항이 매우 크게 되는 단점이 있었다.

본 고안은 상기 단점을 제거키 위한 수단으로서 소자핀과 접촉하는 부분을 돌기구로 형성하였다.

제3도는 본 고안의 일실시예를 나타낸 것으로 소자핀과 접촉하는 부분(A)을 "ㄱ"자형 돌기구조로 형성하여 접촉부분을 넓히므로써 콘택핑거와 소자핀간의 콘택저항을 감소시킨 것이다.

이상과 같이 본 고안에 의하면 콘택핑거의 소자핀과의 접촉부분(A)을 넓게 형성하여 콘택저항을 감소시키므로써 소자의 정확한 테스트를 행할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 뱐도체소자와 접촉하는 포스콘택핑거와 센스콘택핑거의 끝부분을 접촉면적이 넓어지도록 돌기구조로 형성함을 특징으로 하는 핸들러의 노말콘택핑거구조.