KR950007230Y1 - Power source device of a sputter - Google Patents

Power source device of a sputter Download PDF

Info

Publication number
KR950007230Y1
KR950007230Y1 KR2019930009723U KR930009723U KR950007230Y1 KR 950007230 Y1 KR950007230 Y1 KR 950007230Y1 KR 2019930009723 U KR2019930009723 U KR 2019930009723U KR 930009723 U KR930009723 U KR 930009723U KR 950007230 Y1 KR950007230 Y1 KR 950007230Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
switch
way
power supply
sputter
motor
Prior art date
Application number
KR2019930009723U
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR950001269U (en
Inventor
이정훈
Original Assignee
엘지전자 주식회사
이헌조
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사, 이헌조 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR2019930009723U priority Critical patent/KR950007230Y1/en
Publication of KR950001269U publication Critical patent/KR950001269U/en
Application granted granted Critical
Publication of KR950007230Y1 publication Critical patent/KR950007230Y1/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
    • H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

내용 없음.No content.

Description

스퍼터의 전원 공급장치Sputter Power Supply

제1도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 구성도.1 is a block diagram of a power supply according to the present invention.

제2도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 요부 정면도.Figure 2 is a front view of the main portion of the power supply according to the present invention.

제3도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 요부 분해 사시도.Figure 3 is an exploded perspective view of the main portion of the power supply according to the present invention.

제4도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 동축 케이블 연결부 구성도.4 is a configuration diagram of the coaxial cable connection of the power supply according to the present invention.

제5도는 종래 전원 공급장치의 구성도.5 is a block diagram of a conventional power supply.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 스퍼터 본체 2 : 제1건(GUN) 전원연결부1: Sputter body 2: 1st gun (GUN) power connection

3 : 제2건(GUN) 전원 연결부 4 : 튜너3: second gun (GUN) power connection 4: tuner

5', 5" :제1, 제2동축 케이블 10 : 3방향 RF 스위치5 ', 5 ": 1st, 2nd coaxial cable 10: 3-way RF switch

10a : 조정노브 11 : 입력단10a: Adjustment knob 11: Input terminal

12 : 제1출력단 13 : 제2출력단12: first output terminal 13: second output terminal

20 : 선택 스위치 30 : 모터20: selection switch 30: motor

31 : 로드 32 : 로버틱 암31: Rod 32: Robotic Arm

33 : 지지판 34 : 연결판33: support plate 34: connecting plate

34a : 연결공 34b : 삽입공34a: connection hole 34b: insertion hole

40 : 릴레이 50 : 위치 검출수단40: relay 50: position detection means

51 : 위치 검출 스위치 53 : 돌출편51: position detection switch 53: protrusion

60 : 회동수단60: means of rotation

본 고안은 스퍼터의 전원 공급장치에 관한 것으로, 특히 고출력 레이저 다이오드(High Power Diode)의 미러 코팅(Mirror coating)을 하기 위한 장비인 스퍼터(Sputter)에 있어서 RF 전원을 수동으로 연결하여 공급하는 대신 장비의 외부에서 선택 스위치를 사용하여 자동으로 연결할 수 있도록 한 스퍼터의 전원 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a sputter power supply device, and in particular, in sputter which is a device for mirror coating of a high power diode, instead of manually connecting and supplying RF power It relates to a sputter power supply that can be connected automatically using a selector switch from outside of the device.

여기서 미러 코팅이란 고출력 레이져 다이오드의 반사면의 반사도를 높이기 위하여 유전체를 코팅하는 것을 말한다.Here, mirror coating refers to coating a dielectric to increase the reflectivity of the reflective surface of the high power laser diode.

종래의 스퍼터는 제5도에 도시한 바와 같이 , 스퍼터 본체(1)에 제1건(gun) 전원 연결부(2)와 제2건(GUN) 전원 연결부(3)가 구비되어 이 제1건(GUN) 전원 연결부(2)와 제2건(GUN) 전원 연결부(3)에 전원을 수동으로 연결하도록 되어 있다.As shown in FIG. 5, a conventional sputter is provided with a first gun power supply connection part 2 and a second gun power supply connection part 3 in the sputter body 1, GUN) power supply connection (2) and the second gun (GUN) power supply connection (3) is to manually connect the power.

도면에서 4는 튜너(tunner)를 보인 것으로, 이 튜너(4)에는 동축 케이블(5)의 일단이 연결되어 있으며, 스퍼터링 상황에 따라 제1건(gun)에 RF 전원을 인가하고자 하는 경우에는 제4도에 도시한 바와 같이, 동축 케이블(5)의 타단부를 상기 스퍼터 본체(1)의 제1건(GUN) 전원 연결부(2)에 연결되어 있는 동축 케이블(5)의 타단부를 분리하여 2건(GUN) 전원 연결부(3)에 연결하게 된다.Figure 4 shows a tuner (tunner), one end of the coaxial cable (5) is connected to the tuner (4), if you want to apply RF power to the first gun (gun) according to the sputtering situation As shown in FIG. 4, the other end of the coaxial cable 5 is disconnected from the other end of the coaxial cable 5 connected to the first gun GUN power connection 2 of the sputter body 1. It is connected to the two gun (GUN) power connection (3).

상기한 바와 같이, 종래에는 제1건(gun) 또는 제2건(gun)에 RF 전원을 선택적으로 연결하고자 하는 경우에 장비의 외곽 케이스 내부에 설치된 제1건(gun) 전원 연결부(2) 또는 제2건(gun) 전원 연결부(3)에 동축케이블(5)의 타단부를 사람이 직접 수동적으로 연결하여야 하므로 시간이 오래 걸리고, 위험할 뿐아니라, RF전원을 끄고 연결하여야 하므로 작업 중간이 발생하여 생산성이 저하되는 결함이 있었다.As described above, in the related art, in the case of selectively connecting the RF power to the first gun or the second gun, the first gun power connector 2 installed inside the outer case of the equipment or Since the other end of the coaxial cable 5 must be directly and manually connected to the second gun power connector 3, it takes a long time and is dangerous. There was a defect that the productivity is lowered.

본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 결함을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 고출력 레이저 다이오드의 반사면에 유전체를 코팅하는 스퍼터 장비의 자동화에 적합한 RF 전원 공급 제어장치를 제공하기 위한 것인 바, 이를 첨부한 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The present invention has been made to solve the conventional defects as described above, to provide an RF power supply control device suitable for the automation of the sputter equipment coating a dielectric on the reflective surface of the high-power laser diode, attached to this When described in detail with reference to the drawings as follows.

제1도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 구성도이고, 제2도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 요부 정면도이며, 제3도는 본 고안에 의한 전원 공급장치의 요부 분해 사시도를 보인 것으로, 이에 도시한 바와 같이, 스퍼터 장비의 RF 전원 공급을 일정한 방향으로 선택하기 위하여 튜너(4)에 부착되며 RF전원이 입력되는 입력단(11)과 두개의 제1출력단(12)과 제2출력단(13)을 가지는 3방향 RF 스위치(10)와, 상기 스퍼터 본체(1)의 제1건(gun) 전원 연결부(2)와 3방향 RF 스위치(10)의 제1출력단(12)을 연결하는 제1동축 케이블(5')과, 상기 스터퍼 본체(1) 제2건(GUN) 전원 연결부(3)를 연결하는 제2동축 케이블(5")과, 상기 3방향 RF 스위치(10)의 원하는 방향을 선택하기 위한 선택 스위치(20)와, 상기 선택 스위치(20)의 선택 위치에 따라 전류의 흐름을 바꾸어 모터(30)를 일정한 방향으로 구동시키는 릴레이부(40)와, 상기 릴레이(40)에 의해 구동되는 모터(30)와, 상기 모터(30)의 회전축과 상기 3방향 RF 스위치(10)사이에 개재되어 3방향 RF 스위치(10)를 회전시키는 3방향 RF 스위치 회동 수단(60)과, 상기 3방향 RF 스위치(10)를 일정 각도 만큼 회전시킨후 정지시키기 위한 위치 검출수단(50)으로 구성되어 있다.1 is a configuration diagram of a power supply according to the present invention, Figure 2 is a front view of the main portion of the power supply according to the present invention, Figure 3 shows an exploded perspective view of the main portion of the power supply according to the present invention, As described above, in order to select the RF power supply of the sputtering equipment in a predetermined direction, the input terminal 11 to which the RF power is input and the two first output terminals 12 and the second output terminal 13 are attached to the tuner 4. A first coaxial cable connecting the three-way RF switch 10 and the first gun power connection 2 of the sputter body 1 and the first output terminal 12 of the three-way RF switch 10. (5 '), a second coaxial cable (5 ") connecting the stuffer body (1) second gun (GUN) power connection (3) and the desired direction of the three-way RF switch 10 is selected The selector 20 for changing the current flow in accordance with the selected position of the selector switch 20, A three-way RF switch interposed between the relay unit 40 for driving in the direction, the motor 30 driven by the relay 40, the rotating shaft of the motor 30, and the three-way RF switch 10. It consists of a three-way RF switch rotation means 60 for rotating (10), and a position detection means 50 for rotating the three-way RF switch 10 by a predetermined angle and then stopping it.

제4a도는 본 고안에 의한 동축 케이블(5')(5")과 제1건(gun)전원 연결부(2)의 제2건(gun) 전원 연결부(3)의 코넥터(6)를 연결하는 구성을 보인 것으로, 이에 도시한 바와 같이, 동축 케이블(5')(5")에 핀(7)을 고정하여 핀(7)을 코넥터(6)에 삽입하여 연결하는 방식을 사용한다. 제4도에서 8은 콘, 8a는 와셔, 8b는 너트를 각각 보인 것이다.Figure 4a is a configuration for connecting the connector 6 of the coaxial cable (5 ') (5 ") and the second gun power connection portion 3 of the first gun power connection portion 2 according to the present invention As shown in the drawing, the pin 7 is fixed to the coaxial cable 5 'and 5 " to insert the pin 7 into the connector 6 and connect it. In FIG. 4, 8 is a cone, 8a is a washer, and 8b is a nut.

상기 3방향 RF 스위치 회동수단(60)은 모터(30)에 지지판(33)을 고정하고, 상기 지지판(33)에 3개의 로드(31)를 부착하며, 그 로드(31)에 연결판(34)를 결합하여 연결판(34)과 상기 3방향 RF 스위치(10)의 조정노브(10a)를 연결한 구성으로 되어 있다.The three-way RF switch rotation means (60) fixes the support plate (33) to the motor (30), attaches three rods (31) to the support plate (33), and a connecting plate (34) to the rod (31). The coupling plate 34 and the adjustment knob 10a of the three-way RF switch 10 are connected to each other.

상기 연결판(34)에는 중간부에 상기 3방향 RF 스위치(10)의 조정노브(10a)가 삽입 연결되는 연결공(34a)이 형성되어 있으며, 상기 연결판(34)의 연결공(34a) 주위로 3개의 삽입공(34b)이 형성되어 상기 로드(31)가 삽입공(34b)에 삽입 연결되도록 되어 있다.The connecting plate 34 has a connection hole 34a through which the adjustment knob 10a of the three-way RF switch 10 is inserted and connected to an intermediate portion thereof, and the connection hole 34a of the connection plate 34 is formed. Three insertion holes 34b are formed around the rod 31 so as to be connected to the insertion hole 34b.

상기 위치 검출수단(50)은 상기 모터(30)의 하우징에 부착된 2개의 위치 검출 스위치(51)(52)와 상기 지지판(33)에 고정되어 상기 위치 검출 스위치(51)(52)를 작동시키는 돌출편(53)으로 구성된다.The position detecting means 50 is fixed to two position detecting switches 51 and 52 attached to the housing of the motor 30 and the support plate 33 to operate the position detecting switches 51 and 52. It consists of a protrusion 53.

상기 선택 스위치(20)의 접점은 NC(normally close)의 타입이 쓰인다. 이때 중립의 위치에서는 2개의 접점이 모두 닫힌 상태가 되고, 제1도에서 ← 또는 → 선택시에는 반대 동작을 한다. 제1도에서 ← 선택의 경우 ← 접점은 온되고, → 접점은 열린 상태가 된다.The contact of the selection switch 20 is used as a type of normally close (NC). At this time, in the neutral position, both contact points are closed, and when ← or → is selected in FIG. 1, the opposite operation is performed. In Figure 1, the contact ← is turned on, and the contact is open.

상기 튜너(4)에 부착된 3방향 RF 스위치(10)는 RF 전원 공급부와 정합회로(matching network)를 거친 하나의 RF 전원을 사용하여 RF 전원이 소모되는 동일 형태의 두개의 마그네트론 스퍼터링건(magnetron suputtering gun)중 하나를 선택하여 구동시키기 위하여 상기 로버틱 암(32)에 의하여 회전되는 조정노브(10a)가 구비되어 있으며, 조정노브(10a)가 ← 방향 또는 → 방향으로의 회전함에 따라 선로 선택이 이루어져서 한쪽방향으로만 RF 전원이 전달되게 된다. 제1도에서는 ← 방향으로만 선로 선택이 이루어져 ← 방향으로만 RF 전원이 전달된다.The three-way RF switch 10 attached to the tuner 4 includes two magnetron sputtering guns of the same type in which RF power is consumed by using a single RF power source through an RF power supply unit and a matching network. An adjustment knob 10a rotated by the robotic arm 32 is provided to select and drive one of the suputtering guns, and the line is selected as the adjustment knob 10a rotates in the ← direction or the → direction. As a result, RF power is transmitted in only one direction. In FIG. 1, the line selection is made only in the direction of ←, so that RF power is delivered only in the direction of ←.

상기 릴레이(40)부에는 일렉트로 마그네트 릴레이(electro magnet relays)가 사용되며, 제1도에서 ← 선택으로 좌측의 전자석이 구동되어 좌측의 선로가 열리고 좌측으로만 전류가 흐른다. 반대의 경우에는 제1도의 우측으로만 전류가 흐른다.Electro-magnet relays are used for the relay 40, and the electromagnet on the left side is driven by selecting ← in FIG. 1, the line on the left side is opened, and the current flows only to the left side. In the opposite case, current flows only to the right side of FIG.

상기 로버틱 암(32)은 릴레이(40)의 전류 흐름 제어에 따라 + 방향 또는 - 방향의 회전이 시작되며, 돌출편(53)이 위치 검출 스위치(51)(52)에 이르게 되면 전류가 끊어져 모터(30)의 회전이 멈추어진다.The robotic arm 32 starts to rotate in the + direction or the − direction according to the current flow control of the relay 40, and when the protruding piece 53 reaches the position detecting switches 51 and 52, the current is cut off. Rotation of the motor 30 is stopped.

제1도에서는 ←선택으로 +방향의 회전이 이루어진다. 상기 위치 검출 스위치(51)(52)는 눌리워지면 접점이 열리게 된다.In Figure 1, the rotation in the + direction is made by ← selection. When the position detection switches 51 and 52 are pressed, the contact is opened.

이상에서 설명한 바와 같은 본 고안은 3방향 RF 스위치(10)를 사용하여 커플링 조작시 RF 전원을 끄지 않아도 되므로 작업 지연시간이 없으며 장비 외부에서 선택 스위치(20)를 사용하여 커플링 조작이 간접적으로 간편하게 이루어지므로 시간적 소모가 적고 안전한 이점이 있다. 또한, 선택 스위치(20)에 의한 제어 방식이므로 기타 제어장치(timer, counter)와 전기적으로 결합이 가능하여 장비의 자동화에 특히 유용하며 필수적이다.As described above, the present invention does not have to turn off the RF power when the coupling operation is performed using the 3-way RF switch 10, and there is no work delay time, and the coupling operation is indirectly performed using the selection switch 20 outside the equipment. Since it is made simple, it has less time consuming and has a safer advantage. In addition, since the control method by the selector switch 20 can be electrically coupled with other control devices (timer, counter), it is particularly useful and essential for the automation of equipment.

Claims (4)

스퍼터 장비의 RF 전원 공급을 일정한 방향으로 선택하기 위하여 튜너(4)에 부착되며 RF 전원이 입력되는 입력단(11)과 두개의 제1출력단(12)과 제2출력단(13)을 가지는 3방향 RF 스위치(10)와, 상기 스퍼터 본체(1)의 제1건 전원 연결부(2)와 3방향 RF 스위치(10)의 제1출력단(12)을 연결하는 제1동축 케이블(5')과, 상기 스터퍼 본체(1) 제2건 전원 연결부(3)를 연결하는 제2동축 케이블(5")과, 상기 3방향 RF 스위치(10)의 원하는 방향을 선택하기 위한 선택 스위치(20)와, 상기 선택 스위치(20)의 선택 위치에 따라 전류의 흐름을 바꾸어 모터(30)를 일정한 방향으로 구동시키는 릴레이부(40)와, 상기 릴레이(40)에 의해 구동되는 모터(30)와, 상기 모터(30)의 회전축과 상기 3방향 RF 스위치(10)사이에 게재되어 3방향 RF 스위치(10)를 회전시키는 3방향 RF 스위치(10) 회동수단(60)과, 상기 3방향 RF 스위치(10)를 일정 각도 만큼 회전시킨후 정지시키기 위한 위치 검출수단(50)으로 구성됨을 특징으로 하는 스퍼터의 전원 공급장치.3-way RF attached to the tuner 4 to select the RF power supply of the sputtering equipment in a predetermined direction and having an input terminal 11 to which RF power is input, and two first output terminals 12 and a second output terminal 13. A first coaxial cable 5 'connecting the switch 10, the first gun power connection 2 of the sputter body 1, and the first output terminal 12 of the three-way RF switch 10, and A second coaxial cable 5 "connecting the second gun power supply connection 3 to the stuffer body 1, a selection switch 20 for selecting a desired direction of the three-way RF switch 10, and The relay unit 40 for driving the motor 30 in a predetermined direction by changing the flow of current according to the selected position of the selection switch 20, the motor 30 driven by the relay 40, and the motor ( A three-way RF switch 10 rotating means 60 disposed between the rotary shaft of 30 and the three-way RF switch 10 to rotate the three-way RF switch 10; The power supply of the sputter, characterized in that consisting of a position detecting means for stopping after rotating the three-way RF switch by a predetermined angle (50). 제1항에 있어서, 상기 3방향 RF 스위치 회동수단(60)은 모터(30)에 지지판(33)을 고정하고, 상기 지지판(33)에 3개의 로드(31)를 부착하며, 그 로드(31)에 연결판(34)를 결합하여 연결판(34)과 상기 3방향 RF 스위치(10)의 조정노브(10a)를 연결하여 구성한 것임을 특징으로 하는 스퍼터의 전원 공급장치.According to claim 1, wherein the three-way RF switch rotation means 60 is fixed to the support plate 33 to the motor 30, attaches three rods 31 to the support plate 33, the rod 31 Sputter power supply device, characterized in that the coupling plate 34 and the adjustment knob (10a) of the three-way RF switch (10) by coupling to the connecting plate (34). 제1항에 있어서, 상기 연결판(34)에는 중간부에 상기 3방향 RF 스위치(10)의 조정노브(10a)가 삽입 연결되는 연결공(34a)이 형성되고, 상기 연결판(34)의 연결공(34a) 주위로 3개의 삽입공(34b)이 형성되어 상기 로드(31)가 삽입공(34b)에 삽입 연결되는 것임을 특징으로 하는 스퍼터의 전원 공급장치.According to claim 1, The connecting plate 34 is formed in the middle portion of the connecting hole 34a is inserted into the adjustment knob (10a) of the three-way RF switch 10, the connection plate 34 of the Three insertion holes (34b) is formed around the connection hole (34a) is the power supply of the sputter, characterized in that the rod 31 is inserted into the insertion hole (34b). 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 위치 검출수단(50)은 상기 모터(30)의 하우징에 부착된 2개의 위치 검출 스위치(51)(52)와 상기 지지판(33)에 고정되어 상기 위치 검출 스위치(51)(52)를 작동시키는 돌출편(53)으로 구성된 것임을 특징으로 하는 스퍼터의 전원 공급장치.4. The position detecting means (50) according to claim 2 or 3, wherein the position detecting means (50) is fixed to two position detecting switches (51) (52) and the supporting plate (33) attached to the housing of the motor (30). The power supply of the sputter, characterized in that consisting of a protrusion 53 for operating the detection switch (51) (52).
KR2019930009723U 1993-06-05 1993-06-05 Power source device of a sputter KR950007230Y1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019930009723U KR950007230Y1 (en) 1993-06-05 1993-06-05 Power source device of a sputter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019930009723U KR950007230Y1 (en) 1993-06-05 1993-06-05 Power source device of a sputter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR950001269U KR950001269U (en) 1995-01-04
KR950007230Y1 true KR950007230Y1 (en) 1995-09-04

Family

ID=19356527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019930009723U KR950007230Y1 (en) 1993-06-05 1993-06-05 Power source device of a sputter

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR950007230Y1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
KR950001269U (en) 1995-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4804809A (en) Motor operator for padmount switchgear
KR950007230Y1 (en) Power source device of a sputter
US5511943A (en) Single-throw switch circuit controlling a ceiling fan and light assembly
US4528456A (en) Dual load control circuit
FR2631717A1 (en) CONTROL SYSTEM AND DEVICE FOR CONTACTOR APPARATUS
KR100360597B1 (en) Transfer device for automatic transfer switches
KR100271360B1 (en) Power control appratus and method of microwave oven
CN217544384U (en) A change over switch for medium wave network
KR102430446B1 (en) Operating device for circuit switchgear
JPH074550A (en) Opening/closing display device for valve
KR950002264Y1 (en) Testing device for vacuum cleaner
JPH11166654A (en) Electric motor driving device and control method therefor
JPH0666261A (en) Controller for automatic feed water system
KR100350420B1 (en) Microwave oven having power saveing mode
KR200157360Y1 (en) Air circuit breaker
JPS6055888A (en) Drive circuit for motor
KR200154762Y1 (en) Air circuit breaker
KR890001596Y1 (en) Automatic controlling device for gas valve
US5828041A (en) Power supply cut-off apparatus of a microwave oven
KR200160454Y1 (en) Driving unit for timer
KR100217933B1 (en) Manual tool exchanging step moving device and method
KR19980035490U (en) Motor brake control using counter voltage
JPH0337817Y2 (en)
JPH05207787A (en) Indicator
JPH0427218A (en) Transmitter switching device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19990629

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee