KR950006966A - 플라즈마 가공 처리 특성의 비파괴 측정 - Google Patents

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Abstract

물체(32)의 플라즈마 가공 처리 특성은 물체(32)를 플라즈마 가공하기 전에, 플라즈마 가공면(36)의 형태와 대략적으로 일치하도록 플라즈마 가공면(36)의 최소한 일부분 상에 지시계 층(44)를 제공함으로써, 비파괴적으로 결정된다. 전기도전성인 그리드(46)이 지시계 층(44)상에 배치되고, 물체(32)와 전기적으로 공통으로 만든다. 지시계 층(44)는 전도성 그리드(46)을 통해 주입되고, 플라즈마 가공처리에 응답하여 성질을 변화시킨다. 그 후에 주입된 지시계 층(44)가 분석되어 지시계 층(44)의 처리 특성을 결정한다. 플라즈마 가공의 공간 분포 및 총도즈는 이러한 정보로부터 비파괴적으로 결정되고 물체(32)에 대한 플라즈마 가공 프로그램을 설정하는데 사용되며, 필요에 따라 플라즈마 가공 시스템(20)을 조절한다.

Description

플라즈마 가공 처리 특성의 비파괴 측정
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 플라즈마 가공될 물질이 놓여 있는 플라즈마 가공 시스템의 개략도.
제2도는 플라즈마 가공될 물질 및 이에 인접한 구조물을 더 상세히 도시하는 제1도의 플라즈마 가공 시스템의 한 부분의 상세도.
제3도는 본 발명의 양호한 실시예의 흐름도.

Claims (11)

  1. 플라즈마 가공 시스템으로 가공되는 물체(32)의 처리 특성을 결정하기 위한 방법에 있어서, 플라즈마 가공에 의해 처리될 플라즈마 가공면(36)을 갖는 물체(32)를 제공하는 단계, 플라즈마 가공 처리에 응답적으로 특성을 변화시키는 전기적으로 비도전성인 재료의 지시계 층(44)를 플라즈마 가공면(36)의 형태와 대략적으로 일치하도록 플라즈마 가공면(36)의 최소한 일부분 상에 제공하는 단계, 전기적으로 도전성인 그리드(46)을 지시계 층(44)상에 배치하는 단계, 플라즈마 가공시스템(20)을 사용하여 도전성 그리드(46)을 통해 지시계층(44)를 플라즈마 가공하는 단계 및 동일한 플라즈마 가공 조건하에서의 물체(32)의 플라즈마 가공면(36)의 처리 특성에 대한 대용품으로서 지시계 층(44)의 처리 특성을 결정하기 위하여 지시계 층(44)를 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지시계의 두께가 약 0.0005인치(0.0127㎜) 내지 0.001인치(0.0254㎜)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  3. 제1항에 있어서, 그리드(46) 및 물체를 동일 전위로 설정하는 단계를 더 포함하고, 상기 설정 단계가 플라즈마 가공단계 전에 행해지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공물체 처리특성 결정 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 분석 단계 후에, 물체(32)의 플라즈마 가공면(36)을 플라즈마 가공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 분석 후에 이에 응답하여 행해지는 플라즈마 가공 시스템(20)을 조절하는 단계 및 상기 조절단계 후에 행해지는 물체(32)의 플라즈마 가공면(36)을 플라즈마 가공하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 지시계 층(44)를 제공하는 단계가 플라즈마 가공면(36)의 형태와 대략적으로 일치하도록 폴리이미드 및 폴리카보네이트로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질층을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 분석 단계가 지시계 층(44)의 전기 저항율을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 분석 단계가 지시계 층(44)의 광학성질을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  9. 제1항에 있어서, 플라즈마 가공 단계전에 물체(32)의 플라즈마 가공면(36)에 최소한 1개의 플라즈마 가공검사 쿠폰(48)을 배치하는 단계를 더 포함하고, 플라즈마 가공 단계 후에 플라즈마 가공 검사 쿠폰(48)을 분석하는 단계 및 지시계 층(44)와 플라즈마 가공 검사 쿠폰(48)의 분속 결과를 상관시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 배치하는 단계가 지시계 층(44)로부터 최소한 약 0.5인치(12.7㎜)의 거리로 전기적으로 도전성인 그리드(46)을 변위시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 물체(32)가 불규칙한 3차원 형태인 것을 특징으로 하는 플라즈마 가공 물체 처리 특성 결정 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940021154A 1993-08-27 1994-08-26 플라즈마 가공 처리 특성의 비파괴 측정 KR950006966A (ko)

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