KR940703791A - 고밀도 세라믹 제품 - Google Patents

고밀도 세라믹 제품

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KR940703791A
KR940703791A KR1019940702205A KR19940702205A KR940703791A KR 940703791 A KR940703791 A KR 940703791A KR 1019940702205 A KR1019940702205 A KR 1019940702205A KR 19940702205 A KR19940702205 A KR 19940702205A KR 940703791 A KR940703791 A KR 940703791A
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KR
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silicon carbide
temperature
high density
polycrystalline silicon
secondary sintering
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KR1019940702205A
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Inventor
마크 브라이언 트리그
철 히 오
닉 리고포울로스
Original Assignee
존 허버트 왈커
코몬웰쓰 사이언티픽 앤드 인더스트리얼 리서치 오가니제이션
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Publication date
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    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
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Abstract

(a) 실리콘 카바이드 및 알루미나 또는 그것의 전구체를 함유하는 파우더 콤팩트를 상기에서 규정한 2차 소결보조에와 함께 중간온도로 가열하고, 휴지시간 동안 상기 중간온도를 유지하는 단계와, (b) 상기 단계 (a)의 제품을 충분한 시간 동안 높은 온도로 가열하여 고밀도 다결정 탄화규소제품을 제조하는 단계를 포함하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품의 제조방법. 상기 2차 소결보조제는 예를 들어 스칸디아(scandia) 이트리아(yttria) 또는 디스프로시아(요네개냠)등의 하나 또는 그 이상의 희토류원소 또는 그것의 전구체를 함유한다.

Description

고밀도 세라믹 제품
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (16)

  1. (a) 실리콘 카바이드 및 알루미나 또는 그것의 전구체를 함유하는 파우더 콤팩트를 상기에서 규정한 2차소결보조에와 함께 중간온도로 가열하고, 휴지시간동안 상기 중간온도를 유지하는 단계(a)와, (b) 상기단계(a)의 제품을 충분한 시간동안 높은 온도로 가열하여 고밀도 다결정 탄화규소 제품을 제조하는 단계(b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단계(b)는 고밀화 공정 개시전에 중간온도이상의 높은 온도의 상한 온도에서 휴지시키는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 휴지시키는 상한 온도는 1800℃-1900℃인 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 2차 소결보조제는 적더도 하나이상의 희토류원소를 함유하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 2차 소결보조제는 이트리아(yttria)를 함유하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  6. 제4항에 있어서, 상기2차 소결보조제는 디스프로시아(dysprosia)를 함유하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 단계(a)는 단계(b)의 개시이전에 비활성기체를 일산화탄소로 대치시킨 비활성분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 비활성분위기는 아르곤을 함유하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  9. 제1항에 있어서, 단계(a)의 중간온도는 콤팩트이 강화된 고밀화가 진행되는 온도이하인 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 중간온도는 1650℃이하인 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  11. 제1항에 있어서, 실리카 또는 실리케이트는 단계(b)내의 고밀화의 개시이전에 제거되는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 실리카 또는 실리케이트는 탄소와의 반응에 의거 제거되는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  13. 제2항에 있어서, 상기 단계(b)의 고온은 상한 휴지온도와 2200℃사이의 온도인 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  14. 대기압력에서 상기 1항의 방법을 수행하는 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소 형태 제품 제조방법.
  15. 제1항 내지 제 14항중 어느 한항의 방법에 의해 제조된 고밀도 다결정 탄화규소.
  16. 적어도 탄화규소를 65중량% 함유하며, 대체적으로 잔유물로써 알루미네이트를 함유하는 제15항에 의해 제조한 것을 특징으로 하는 고밀도 다결정 탄화규소.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940702205A 1991-12-23 1992-12-23 고밀도 세라믹 제품 KR940703791A (ko)

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AUPL017291 1991-12-23
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