KR940022621A - 형광표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

형광표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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김형동
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박경팔
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Abstract

본 발명은 형과표시(VFD : vacuum fluorescent display)장치용 가속 그리드 패턴 및 그 제조방법에 관한 것으로 가속 그리드(grid)의 홀 사이즈(hole size)를 상대적으로 중심부는 크게하고 가장자리로 갈수록 작게하여 가속 그리드와 캐소드(cathod)간의 전기장을 중심부보다 가장자리부가 더 크도록 설계하므로써, 종래 캐소드의 온도차에 의해 야기되던 불균일한 전자방출을 전기장 차를 이용하여 균일하게 할 수 있어 상기 장치의 중심부와 가장자리간의 휘도차를 줄일 수 있는 고신뢰성의 가속 그리드를 실현할 수 있게 된다.

Description

형광표시장치 및 그 제조방법.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1(a)도 및 제1(b)도는 종래 기술에 따른 형광표시장치의 가속 그리드 패턴을 도시한 단면도 및 평면도,
제2(a)도 및 제2(b)도는 본 발명에 따른 형광표시장치의 가속 그리드 패턴을 도시한 단면도 및 평면도,
제3도는 종래 기술에 따른 형과표시용 가속 그리드의 포텐셜 분포 및 전기장을 도시한 도면.

Claims (2)

  1. 진공유지를 위하여 서로 대향되게 형성된 페이스 플레이트 글라스 및 백 플레이트 글라스와, 상기 페이스 플레이트 글라스의 내측 상면에 전자를 차단하기 위하여 형성된 백 일렉트로드와, 상기 백 플레이트 글라스 내측 상면에 방출된 전자에 일정한 전압을 인가하기 위하여 형성된 애노드 일렉트로드와, 전자충돌 발광부로 사용하기 위하여 상기 애노드 일렉트로드 상면에 형성된 형광체층과, 상기 형광체층 상부에 전자를 가속시키기 위하여 홀 사이즈가 상대적으로 중심부는 크게하고 가장자리로 갈수록 작게 패터닝한 가속 그리드와, 상기 백 일렉트로드와 가속 그리드 사이에 전자를 방출시키기 위하여 형성된 라인 캐소드로 이루어짐을 특징으로 하는 형광표시장치.
  2. 캐드를 이용하여 소정의 패턴을 설계하는 공정과, 상기 패턴에 적합한 노광용 마스크 필름 및 글라스를 제작하는 공정과, 가속 그리드 재질 표면에 포토레지스트를 코팅하는 공정과, 상기 공정을 거친 패턴을 노광현상 및 식각시키는 공정과, 상기 노광현상 및 식각을 거친 패턴상에 형성된 포토레지스트 패턴 제거 하는 공정으로 아루어짐을 특징으로 하는 형광표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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