Claims (6)
콘트롤러 (CON)로 부터의 출력신호 (ø, ø1,ø2) 및 반전출력신호 ()에 따라 기준정전용량을 성정하기 위한 기준정전용량 설정부 (10)와. 콘트롤러 (CON)로부터의 출력신호 (øR) 및 반전출력신호 ()에 따라 상기 기준정전용량 설정부 (10) 로 전하를 방전시키거나 또는 기준정전용량 설정부 (10)로부터 전하를 받아 충전시켜주기 위한 정전용량 설정부(20)와, 상기 콘트롤러 (CON)로부터의 출력신호(øR) 및 반전출력신호 ()에 따라 상기 정전용량 연산부 (20)의 정전용량에 따른 전압과 상기 기준정전용량 설정부 (10)의 기준 정전용량에 따른 전압을 비교하기 위한 비교부 (30)와, 상기 기준정전용량 설정부 (10), 정전용량 연산부 (20) 및 비교부 (30)에 구동신호(ø, ø1,ø2,øR)를 각각 출력하고, 상기 비교부 (30) 의 출력신호 (Q)를 입력하여 출력데이타를 출력하기 위한 콘트롤러 (CON)를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 집적화 습도센서의 신호처리 회로.Output signal from controller (CON) (ø, ø 1, ø 2 ) and inverted output signal ( A reference capacitance setting unit (10) for establishing the reference capacitance according to Output signal (ø R ) and inverted output signal from the controller (CON) The capacitance setting unit 20 for discharging the charge to the reference capacitance setting unit 10 or receiving and charging the charge from the reference capacitance setting unit 10, and from the controller CON. Output signal (ø R ) and inverted output signal ( A comparison unit 30 for comparing the voltage according to the capacitance of the capacitance calculating unit 20 with the voltage according to the reference capacitance of the reference capacitance setting unit 10, and the reference capacitance setting unit 10, the driving signals ø, ø 1, ø 2, and ø R are respectively output to the capacitance calculating section 20 and the comparing section 30, and the output signal Q of the comparing section 30 is input. And a controller (CON) for outputting the output data.
제1항에 있어서, 상기 기준정전용량 설정부 (10) 는 콘트롤러 (CON)로부터의 출력신호(ø)에 의해 구동되는 아나로그 스위치 (SA21-SA22)와, 콘트롤러 (CON)로부터의 반전출력신호()에 의해 구동되는 아나로그 스위치(SA25,SA26)와, 콘트롤러 (CON)로부터의 출력신호(ø1)에 의해 구동되는 아나로그 스위치 (SA30)와, 콘트롤러(CON)로부터의 출력신호(ø2)에 의해 구동되는 아나로그 스위치(SA30)와, 상기 아나로그 스위치(SA21,SA23,SA25)의 구동에 따라 기준전압 (VS)에 따른 전하를 충전하여 기준정전용량을 설정하기 위한 콘텐서 (CS)와, 상기 아나로그 스위치(SA22,SA23,SA26)의 구동에 따라 기준전압 (Vχ)에 따른 전하를 충전시켜주기 위한 콘덴서(CCχ) 와, 상기 아나로그 스위치(SA23,SA29,SA30)의 구동에 따라 기준전압 (VR)에 따른 전하를 충전시켜 주기 위한 콘덴서 (CR)를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 집적화 습도센서의 신호처리 회로.2. The reference capacitance setting unit (10) according to claim 1, wherein the reference capacitance setting unit (10) is an analog switch (SA 21- SA 22 ) driven by an output signal (?) From the controller (CON), and inverted from the controller (CON). Output signal The analog switches SA 25 and SA 26 driven by the "), the analog switches SA 30 driven by the output signal ø 1 from the controller CON, and the output signals from the controller CON. The reference capacitance is charged by charging an electric charge according to the reference voltage V S according to the driving of the analog switch SA 30 driven by ø 2 and the analog switches SA 21, SA 23, SA 25 . A capacitor (C S ) for setting a voltage and a capacitor (CC χ ) for charging a charge according to a reference voltage (V χ ) according to the driving of the analog switches (SA 22, SA 23, SA 26 ) and And a capacitor (C R ) for charging electric charges according to a reference voltage (V R ) according to the driving of the analog switches (SA 23, SA 29, SA 30 ). Signal processing circuit.
제1항에 있어서, 상기 정전용량 연산부 (20)는 콘트롤러 (CON)로부터의 반전출력신호()에 의해 구동되는 아나로그 스위치(SA27)와, 콘트롤러(CON)로부터의 출력신호(øR)에 의해 구동되는 아나로그 스위치(SA31)와, 상기 아나로그(SA27,SA31)의 구동시 상기 콘덴서 (CS,CX,CR)로부터의 전하(Qacc)를 충전하거나 또는 상기 콘덴서(CS,CX)로 전하 (Qext)를 방전시켜주기 위한 콘덴서 (CF)를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 집적화 습도센서의 신호 처리회로.The method of claim 1, wherein the capacitance calculating section 20 is the inverted output signal from the controller (CON) ( Of the analog switches SA 27 driven by the < RTI ID = 0.0 > ), < / RTI > the analog switches SA 31 driven by the output signal ø R from the controller CON, and the analog SAs 27 and SA 31 . capacitors for cycle by discharging the driving when the capacitor charge to (C S, C X, C R) to charge the charge (Q acc) or the capacitor (C S, C X) from the (Q ext) (C F) Signal processing circuit of the ultra-small integrated humidity sensor comprising a.
제1항에 있어서, 상기 비교부 (30)는 콘트롤러 (CON)로부터의 출력신호(ø에 의해 구동되는 아나로그 스위치 (SA24)와, 콘트롤러(CON)로부터의 반전출력신호()에 의해 구동되는 아나로그 스위치(SA28)와, 콘트롤러 (CON)로부터의 출력신호(QR)에 의해 구동되는 아나로그 스위치(SA32)와, 오프셋 전압보상용 콘덴서 (CC)와, 기준전압 (VR)을 비반전(+)단자의 입력신호로 하고, 반전(-)단자에는 상기 콘덴서 (CC)가 연결되며, 그의 출력(VO)을 홀딩용 콘덴서 (CH)와 아날그 스위치(SA24) 및 아나로그 스위치 (SA32)를 통해 각각 피이드백시켜 주기 위한 연산증폭 (OP21)와, 상기 연산증폭기(OP21)의 출력신호 (VO)를 반전(-)단자의 입력신호로 하고 기준전압 (VR)을 비반전 (+)단자의 입력신호로 하여 신호 (Q)를 출력하기 위한 연산증폭기 (OP22)를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 집적화 습도센서의 신호처리 회로.2. The comparison unit 30 according to claim 1, wherein the comparing unit 30 comprises: an analog switch SA 24 driven by an output signal ø from the controller CON, and an inverted output signal from the controller CON. Analog switch (SA 28 ) driven by the drive, analog switch (SA 32 ) driven by the output signal (Q R ) from the controller (CON), offset voltage compensation capacitor (C C ), The reference voltage (V R ) is the input signal of the non-inverting (+) terminal, and the capacitor (C C ) is connected to the inverting (-) terminal, and its output (V O ) is connected to the holding capacitor (C H ). Anal the switch (SA 24) and analog switch (SA 32) the output signal (V O) of the operational amplifier (OP 21) and the operational amplifier (OP 21) for to give each feedback inverted over (-) And an operational amplifier (OP 22 ) for outputting the signal (Q) using the input signal of the terminal and the reference voltage (V R ) as the input signal of the non-inverting (+) terminal. Signal processing circuit.
제3항에 있어서, 콘덴서 (CS)에 충전되는 전하량을 QS라 하고, 콘덴서 (CX)에 충전되는 전하량을 QX1및 콘덴서 (CR)에 충전되는 전하량을 각각 QR이라고 할때, 콘덴서 (CF)에 충전되는 전하량 (Qacc) 이 하기의 식을 만족하도록 전압 (VS,VX,VR)의 값을 설정하는 것을 특징으로 하는 초소형 집적회 습도 센서의 신호처리회로.The charge amount charged in the capacitor C S is Q S , and the charge amount charged in the capacitor C X is Q X 1 and the charge amount charged in the capacitor C R is Q R , respectively. And setting the value of voltage (V S, V X, V R ) such that the charge amount (Qacc) charged in the capacitor (C F ) satisfies the following equation.
제3항에 있어서, 콘덴서 (CS)에 충전되는 전하량을 CS라 하고, 콘덴서 (CX)에 충전되는 전하량을 각각 QX라 할때, 콘덴서 (CF)로부터 방전되는 전하량 (Qext) 이 하기의 식을 만족하도록 콘덴서 (CS,Cx)의 값을 설정하는 것을 특징으로 하는 초소형 집적화 습도센서의 신호처리회로.The method of claim 3, wherein the capacitor (C S) to the charge amount to be charged C S La and capacitor an amount of electric charges charged in the (C X), respectively, when considered Q X, the capacitor (C F) which is the amount of charge (Q ext discharged from the ) A signal processing circuit for a micro integrated humidity sensor, characterized in that the value of the capacitors (C S, C x ) is set to satisfy the following equation.
Qext= Qx- QS> 0Q ext = Q x -Q S > 0
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.