Claims (7)
피검사체 유지대상에 유지된 피검사체의 전극패드에 접촉수단을 접촉시키고, 이 접촉수단을 통하여 테스터에 의하여 피검사체의 전기적 측정을 하는 프로우프 장치에 있어서, 피검사체 유지대 및 접촉수단의 사이에 피검사체의 상면에 평행한 방향으로 진퇴가 자유롭게 설치되고, 상기 피검사체의 전극패드의 화상과 상기 접촉수단의 화상을 전송하기 위한 광학계 부재와, 이 광학계 부재에 의하여 전송된 화상을 표시한는 화상표시 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.A probe device in which a contact means is brought into contact with an electrode pad of a subject held on a subject to be held, and an electrical measurement of the subject is performed by a tester through the contact means, wherein the probe is placed between the subject holder and the contact means. An image display in which an advancing and retreat is provided freely in a direction parallel to the upper surface of the inspected object, and an optical system member for transmitting an image of the electrode pad of the inspected object and the image of the contact means, and an image transmitted by the optical system member. A probe device comprising means.
피검사체 유지대상에 유지된 피검사체의 전극패드에 접촉수단을 접촉시키고, 이 접촉수단을 통하여 테스터에 의하여 피검사체의 전기적 측정을 하는 프로우브 장치에 있어서, 상기 피검사체 유지대와 접촉수단의 사이에 피검사체의 상면으로 평행한 방향으로 진퇴가 자유롭게 설치되어 상기 피검사체의 전극패드의 화상과 접촉수단의 화상을 전송하기 위한 광학계 부재와, 이 광학계 부재에 의하여 전송된 화상을 표시하는 화상표시 수단과, 상면측에 접촉용의 면을 가지는 투명한 접촉면 형성체와, 이 접촉면 형성체를 접촉수단에 대하여 상대적으로 상승시키는 승강기구를 설치하며, 상기 접촉수단을 접촉면 형성체의 접촉용의 면에 접촉시킨 상태에서 상기 광학계 부재에 의하여 상기 접촉수단의 화상을 전송하는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.A probe device for contacting a contact means with an electrode pad of a test subject held on a test subject holding object, and performing electrical measurement of the test subject by a tester through the contact means, wherein the probe holder is placed between the test target holder and the contact means. An optical system member for freely moving forward and backward in a direction parallel to the upper surface of the inspected object, for transmitting an image of the electrode pad of the inspected object and the image of the contact means, and an image display means for displaying the image transmitted by the optical system member And a transparent contact surface forming body having a contact surface on the upper surface side, and a lifting mechanism for raising the contact surface forming body relative to the contact means, wherein the contact means contacts with the contact surface of the contact surface forming body. A probe field, characterized in that for transmitting the image of the contact means by the optical system member. .
제1항에 있어서, 상기 피검사체 유지대에 유지된 피검사체의 피검사면에 대여 상기 광학계 부재를 피검사면에 평행 및 직교하는 방향으로 구동시키는 구동수단을 설치한 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.The probe apparatus according to claim 1, wherein driving means for driving the optical member in the direction parallel and orthogonal to the inspection surface is provided on the inspection surface of the inspection object held by the object holding table.
제1항에 있어서, 광학계 부재는 고해상도용 광학계 부재와 저행도용 광학계 부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.The probe device according to claim 1, wherein the optical system member comprises a high resolution optical system member and a low-performance optical system member.
제1항에 있어서, 상기 광학계 부재에 의하여 검출된 상기 피검사체의 전극패드 및 상기 접촉수단의 앞끈단의 위치 데이터를 기억하기 위한 메모리 수단과, 이 메모리 수단에 기억된 데이터에 따라서 상기 피검사체의 전극패드와 상기 접촉수단과의 상호 위치맞춤을 하기 위하여, 상기 피검사체의 위치 및 평면상의 각도를 제어하는 제어부를 설치한 것을 특징으로 하는 프로우브 장치.2. The apparatus according to claim 1, further comprising: memory means for storing the position data of the electrode pad of the subject under test and the front end of the contact means detected by the optical system member, and the data of the subject under test according to the data stored in the memory means; And a control unit for controlling the position of the object under test and the angle on the plane in order to mutually align the electrode pad with the contact means.
제5항에 있어서, 메모리부에 기억된 상기 접촉수단 앞끝단의 위치를 나타내는 상과, 상기 광학계 부재에 의하여 검출된 피검사체의 전극패드의 상을 상기 화상 표시수단상에 중첩하여 표시하도록 구성한 것을 특징으로 하는 프로우브장치.6. The apparatus according to claim 5, wherein the image indicating the position of the front end of the contact means stored in the memory unit and the image of the electrode pad of the inspected object detected by the optical system member are superimposed on the image display means. Probe device characterized in that.
제1항에 있어서, 상기 피검사체 유지대를 X,Y,Z 및방향으로 이동이 자유롭게한 미 조정수단을 설치한것을 특징으로 하는 프로우브 장치.The method of claim 1, wherein the object holder is X, Y, Z and Probe device characterized in that the non-adjustment means provided to move freely in the direction.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.