KR930008297A - 드라이 에칭 공정의 개스라인 펌핑 시스템 - Google Patents

드라이 에칭 공정의 개스라인 펌핑 시스템 Download PDF

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KR930008297A
KR930008297A KR1019910018888A KR910018888A KR930008297A KR 930008297 A KR930008297 A KR 930008297A KR 1019910018888 A KR1019910018888 A KR 1019910018888A KR 910018888 A KR910018888 A KR 910018888A KR 930008297 A KR930008297 A KR 930008297A
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조인수
박성원
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김광호
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B23/00—Pumping installations or systems

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

본 발명은 드라이 에칭공정의 개스공급관로내에 정제되는 개스를 배기시킬 수 있는 드라이 에칭공정의 개스라인 펌핑 시스템을 제공하는 데 목적이 있다. 이를 실현하기 위하여 본 발명은, 개스봄베와 에칭시스템사이에 진공 발생기의 입구를 연결하고, 이 진공발생기의 출구를 진공펌프와 개스세정기 사이에 연결하여 공정완료 후, 정지 시간이 오래되는 경우 개스공급관내의 개스를 배기시킬 수 있도록 구성하고 있다.

Description

드라이 에칭 공정의 개스라인 펌핑 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 드라이 에칭공정의 개스라인을 나타내는 도면.
제3도는 본 발명에 관련하는 진공 발생기의 측단면도이다.

Claims (3)

  1. 개스봄베(1)와 에칭챔버(4) 사이에 연결되어 에칭에 사용되는 개스를 공급하는 개스공급관로(10)상에, 진공발생기(7)의 입구를 연결하고 이 진공발생기(7)의 출구를 진공펌프(5)와 개스세정기(6) 사이에 연결하여 관로(8)로 연결구성함을 특징으로 하는 드라이 에칭공정의 개스라인 펌핑시스템.
  2. 제1항에 있어서, 개스발생기(7)는 개스공급관로(9)와 연결되는 입구(20)를 보유하며, 출구측이 점차적으로 좁아지는 제1통로(22)와 일체로 형성되어 이루어지는 벤츄리관(18)과, 상기한 벤츄리관(18)의 외측에 위치하며, 개스공급관로(10)와 연결되는 입구(23)를 보유함과 아울러 출구측이 점차적으로 좁아지는 제2통로(24)를 구비하고 있는 또다른 벤츄리관(19)과로 구성됨을 특징으로 하는 드라이 에칭공정의 개스라인 펌핑 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 제1통로(22)의 길이는 제2통로(24)의 길이보다 짧게 형성됨을 특징으로 하는 드라이 에칭공정의 개스라인 펌핑 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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