KR930006824A - 이온 비임 프로파일링 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이온비임세기와 방출측정장치(10)에 관한 것이다. 기판(130),(450)은 이온비임(20)이 충덜하는 전도영역 또는 영역(R),(452)를 지지한다.
전도영역(R),(452)은 전도영역위에 축적된 전하에 상응하는 출력을 발생시키는 적분회로(260)를 통해 주기적으로 방전된다.
이온비임이 충돌하는 이러한 다중 영역에 대한 전하를 결정하므로서 비임세기때 위치의 이차원 맵핑이 실시간을 토대로 얻어진다.
방출마스크(400)는 기판(130),(450)위에 위치되어 있고 방출의 측정 또는 이온비임의 넓이가 얻어진다.

Description

이온 비임 프로파일링 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이온이 공작물에 충돌하므로서 공작물을 처리하는 이온주입장치의 개략도,
제2도는 이온 비임의 세기가 방출을 감지하는 이온비임 프로파일을 도시한 단면도,
제3도는 절연기판이 지지한 다수의 이러한 영역의 단일전하 수집영역을 도시한 확대 단면도.

Claims (10)

  1. (가) 절연기판에 결합된 전도체가 각각의 전하수집영역(R),(452)를 형성하는 다수의 전하수집영역(R),(452)를 지지하는 절연기판(130),(450)과 (나)전하 수집영역을 충돌시키기 위해 이온주입 영역을 시간적으로 차단하는 주사수단과 (다) 전하수집영역을 방출하므로서 전하수집영역에 이온비임이 충돌로 인하여 전하 수집영역에 축적된 전하를 주기적으로 결정하는 회로수단(200), 다수의 전하수집영역을 공통회로출력에 결합시키는 상호 연결수단(210)과 상호 연결수단의 공통회로출력에 결합된 충전결정수단(260),(262)과 이온비임의 차단영역의 세기 맵핑을 형성하기 위해 다수의 충전 수집영역으로부터 신호를 축적하는 축적회로(392)를 포함하는 상기 회로수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온비임(20)을 따라 이온 비임세기 분배를 감지하는 이온주입장치(100).
  2. 제1항에 있어서, 충전수집영역은 다수의 공간을 둔 동심대전링R을 포함하고 주사수단은 대전링의 중심위치 주위에서 회전하도록 설치된 관통된 상사상 슬롯(144)을 가진 차폐수단(142)을 포함하여 이온비임의 부분은 원주로 바꾸어 이온비임을 방사상 슬롯을 통하게 하고 공간을 둔 동심링에 충돌하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  3. 제1항에 있어서, 절연기판은 수집영역(452)의 정렬된 구조를 지지하는 신장부재(450)를 포함하고 상기 주사 수단은 이온비임을 통해 신장부재와 수집영역의 정렬된 구조를 이동시키기 위해 액츄레이터 수단(420)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  4. 제3항에 있어서, 액츄레이터 수단은 선형이동통로를 따라 신장부재를 이동시키는 수단(440)을 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  5. 제1항에 있어서 세기맵핑의 시각 묘사를 제공하는 디스플레이 수단(392)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  6. 제1항에 있어서, 이온비임을 전하수집 영역에 충돌시키는 구멍(410) 구조를 가진 이온비임 차단마스크(400)를 더 포함하고 회로수단은 차단마스크의 구멍 구조를 토대로 한 이온비임 프로파일과 이온비임 세기 데이타를 비교하는 테이블 록업수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치.
  7. 제1항에 있어서, 충전결정회로는 공통회로 출력에 접속된 입력과 전하수집 영역상의 전하에 관한 전압신호를 제공하는 적분회로 출력을 가진 작분회로(260)를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온비임 주입장치.
  8. (가)절연기판(130),(450)상의 공간을 둔 전하 수집 전도영역(R),(452)의 이차원 구조를 정렬하는 단계와 (나)이온비임을 공간을 둥 전하 수집 전도 영역의 이차원 구조에 충돌시키기 위해 이온비임(20) 내에 기판(130),(450)을 위치시키는 단계와 (다) 각각의 공간을 둔 전하 수집전도영역을 방출시키고 메모리의 각각의 영역의 충전에 관한 충전신호를 축적하는 단계와 (라) 공간을 둔 충전 수집전도영역의 구조에 대한 충전신호를 기초로한 이온비임내의 위치의 함수로서 이온비임세기의 시각 맵핑을 디스플레이하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온비임 주입기내에 위치한 함수로 이온비임 세기를 감지하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 전도영역위의 전하를 결정하는 단계는 방전회로를 통해 각각으 방전영역을 방전시키는 방전회로로부터의 전압출력과 영역상의 전하를 상호 관련시키므로서 성취되는 것을 특징으로 하는 이온비임세기를 감지하는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 결정단계는 이온비임의 시간적 변화영역을 차단하기 위해 선형 이동통로를 따라 전도영역(452)의 선형구조를 이동시키크로서 실행되는 것을 특징으로 하는 이온비임 세기를 감지하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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