KR930006561Y1 - 화학용액 중앙공급장치 - Google Patents

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KR930006561Y1
KR930006561Y1 KR2019910002298U KR910002298U KR930006561Y1 KR 930006561 Y1 KR930006561 Y1 KR 930006561Y1 KR 2019910002298 U KR2019910002298 U KR 2019910002298U KR 910002298 U KR910002298 U KR 910002298U KR 930006561 Y1 KR930006561 Y1 KR 930006561Y1
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박용수
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금성일렉트론주식회사
문정환
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    • B67DDISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

내용 없음.

Description

화학용액 중앙공급장치
제1도는 종래 공급장치의 구성도.
제2도는 본 고안 공급장치의 구성도.
제3도는 본 고안의 PLC를 사용한 하드웨어 구성도.
제4도와 제5도는 본 고안에 따른 플로우챠트.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 1 : 공급탱크부 2 : 저장탱크부
3 : 앤드스테이션부 4, 5 : 공급탱크부
6 : 저장탱크 7-9 : 앤드스테이션
10 : 리키지 검출박스 S1-S11: 센서
V1-V8 :에어밸브
본 고안은 소규모로 간단하게 제조할 수 있는 화학용액 중앙 공급장치에 관한 것이다.
종래의 화학용액 중앙 공급장치는 제1도와 같은 N2가압 방식으로 공급탱크 (11)(12), 벨루우(Bellow)펌프(P1), 저장탱크(13) (14)앤드스테이션(End Station) (15-17), 에어벨브(V11-V22) 및 센서(S11-S22)로 구성되어 스타트 스위치를 누르면 에어밸브(V11) (V13)가 열려 공급탱크(11)로부터 저장탱크(13)로 용액이 저장된다.
이어서, 공급탱크(11)가 비게 되면 앰프티(Empty)신호를 발생하고 자동적으로 저장탱크(14)로 옮겨지게 되고 엠프티 신호가 제어될때까지 기다린 루 앰프티 신호가 제거되면 공급탱크(11)는 다시 충전을 계속하게 된다.
다음에 에어밸브(V17)가 열려 저장탱크(14)에 충전을 시작하고 충전이 끝나면 이 에어밸브(V17)가 닫혀 앤드스테이션(15-17)으로 공급할 수 있는 상태가 된다.
이때 N2가 가압되고 앤드스테이션(15-17)의 요구에 의해 공급이 이루어지다가 센서(S17) (혹은 S19나S21)에 의해 공급이 차단된 후 공급 요구신호를 기다린다.
한편, 저장탱크(13) (14)가 비게 되면N2가 차단되어 압력이 원상태로 돌아오고 공급탱크(11) (12)에서 저장탱크(13) (14)로 충전이 시작되면 이때 저장탱크(13) (14)에서 앤드스테이션(15-17)으로 용액이 공급되지 않는다.
그러나, 상기와 같은 종래의 장치에 있어서는 시스템의 견고성이 보장되어야 하기 때문에 제조원가가 상승되고 N2가압 방식이므로 리키지 디텍터(Leakage Detector )방법이 보안되어야 하는 결점이 있다.
본 고안은 이와 같은 종래의 결점을 감안하여 안출한 것으로 이를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 제2도는 본 고안의 구성도로 크게 용액을 공급하는 공급탱크부(1)와 이 공급탱크부(1)로부터 용액을 공급받아 앤드스테이션으로 보내는 저장탱크부(2), 그리고 상기 저장탱크부(2)로부터 용액을 받아들이는 앤드스테이션부(3)로 이루어진다.
여기서, 상기 공급탱크부(1)는 공급할 용액이 담겨져 있는 공급탱크(4) (5), 공급탱크(4, 5)로부터 용액의 공급됨을 수위칭하기 위한 에어벨브(V1-V9),공급탱크(4, 5)로부터 용액을 저장탱크부(2)로 펌핑하기 위한 벨로우펌프(P1), 공급탱크(4, 5)의 요액 유무를 감지하기 위한 센서(S1) (S2)로 이루어지고 저장탱크부(2)는 공급탱크(4, 5)로부터 공급된 용액을 저장하기 위한 저장탱크(6), 저장요액의 상한치하한치를 감지하기 위한 액체레벨 감지용 센서(S9) (S4), 저장탱크부(2)에서 앤드스테이션부(3)로 용액을 펌핑하기 위한 마그네틱 펌프(P2)로 이루어지며, 앤드스테이셔부(3)는 복수개의 앤드스테이션(7-9), 용액 공급스위칭용 에어밸브(V5-V8), 레벨 감지용센서(S5-S10), 배관이 분리되는 부분에서 용액이 새는 것을 감지하는 리키지 검출박스(10)와, 각 센서(S1-S10)의 검출신호에 따라 밸브(V1-V8)를 구동하여 용액공급을 제어하는 PLC부(제3도)로 이루어진다.
도면 중 미설명 부호 S11은 리키지 검출박스(10)에 설치된 센서이며 단, 리키지 검출박스(10)는 화학용액 배관의 제일 낮은 곳에 설치한다.
여기서, 앤드스테이션(3)은 공급될 용액을 사용할 말단부로써 레밸감지용센서 (S6,S8,S10)은 용액 보충을 요구하기 위한 것이고 레벨감지용 센서(S5,S7,S9)는 용액공급을 중단하기 위한 것이다.
이와 같이 구성된 본 고안은 스타트 스위치를 누르면 공급탱크부(1)중에서 먼저, 공급탱크(4)의 용액이 저장탱크부(2)의 저장탱크(6)에 충전되기 시작한다.
그리고 레벨센서(S1)에 의해 공급탱크(4)내의 용액이 비어 있다고 감지될 때 에어밸브(V2)가 열려 자동으로 공급탱크(5)의 용액이 자장탱크(6)로 충전되고 액체레벨 감지용 센서(S9)의 위치까지 용액이 차게 되면 충전이 중단된다.
이때, 시스템은 앤드스테이션부(3)의 요구조건을 받아들일 준비가 되고, 이때부터 앤스스테이션부(3)로 용액의 공급이 시작되는데 만일 동시에 요구신호가 들어오면 스테이션(7)→스테이션(8)→스테이션(9)순서로 공급된다.
한편 저장탱크(6)의 센서(S4)까지 용액이 소진되면 앤드스테이션부(3)로의 공급이 중단됨과 동시에 에어밸브(V4) (V6) (혹은 V7,V8)가 닫히고 공급탱크부(1)의 에어밸브(V1) (혹은 V2) (V9)을 열어 충전을 하게 된다.
그리고 충전이 끝나 센서(S9)위치가지 충전되면 에어밸브(V9) (V1)(혹은 V2)가 닫히고 앤드스테이션부(3)의 요구신호를 처리하게 된다.
따라서, 이와 같은 과정을 반복함으로 용액의 중앙 공급이 가능하며 이때 공급탱크는 사용자가 교체하여 준다.
제3도는 본 고안의 PLC를 사용한 하드웨어 구성의 일실시예를 나타낸 것이고 제4도와 제5도는 공급탱크(4) (5)의 앰프의 감자방법과 전체 동작 흐름을 나타낸 것이다.
이상과 같은 본 고안은 N2가스를 사용하지 않고 저장탱크(4) (5)앤드스테이션부(3) 및 마그네틱 펌프(P2)를 사용함으로 제조공정이 단순해짐은 물론 원가가 절감되고 화학배관의 제일 낮은 곳에 리키지 박스(10)를 설치하고 이에 센서를 부착하여 리키지를 검출할 수 있는 장점이 있다.

Claims (2)

  1. 공급탱크부(1), 저장탱크부(2), 앤드스테이션부(3)로 이루어진 것에 있어서, 각 공급탱크의 레벨을 검출하는 레벨센서(S1) (S2)를 가진 공급탱크부(1)와 센서(S2) (S4)를 가진 저장탱크부(2)사이에 벨로우 펌푸(P1)를 설치하고 저장탱크부(2)와 센서 (S5―S10)를 가진 앤드스테이션부(3) 사이에는 마그네틱 펌프(P2)와 용액의 누설을 감지하기 위한 리키지 박스(10)을 설치하여서 구성됨을 특징으로 하는 화학용액 중앙 공급 장치.
  2. 제1항에 있어서, 리키지 박스(10)는 화학용액 배관의 제일 낮은 곳에 설치함을 특징으로 하는 화학용액 중앙공급장치.
KR2019910002298U 1991-02-18 1991-02-18 화학용액 중앙공급장치 KR930006561Y1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101384604B1 (ko) * 2012-11-30 2014-04-11 포이스주식회사 반도체 제조용 화학약품 공급라인의 정화시스템 및 정화방법

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