KR930003473B1 - 새도우마스크의 안티도우밍재 증착방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

새도우마스크의 안티도우밍재 증착방법

본 발명은 새도우마스크의 안티도우밍재 증착방법에 관한 것이다.

새도우마스크는 판면에 전자비임이 통과될 수 있는 어퍼쳐가 무수히 뚫려진 것으로서, 프레임에 의해 음극선관의 페이스 내측에 설치된다.

전자총에서 방사되는 전자비임은 새도우마스크를 통과하여 페이스내측면에 도포된 형광체로 랜딩하여 화소를 이루게 되나, 이 과정에서 전자비임의 일부는 새도우마스크와 충돌하게 되고 이로 인해 새도우마스크는 열팽창하여 소위 도우밍이라 불리우는 형태로 변형된다.

상기한 도우밍의 결과로 새도우마스크의 어퍼쳐가 방사되는 전자비임에 대해 어긋나게 되어 삼각한 화질열화를 나타내게 되는데, 종래에는 이러한 도우밍현상에 대비하여 프레임을 페이스 내측에 설치할 때, 새도우마스크의 도우밍변형을 상쇄시키는 후크스프링으로 현수시켜서 도우밍에 의한 화질 열화시간을 단축하는 방법으로 하거나 또는 새도우마스크용 소재로서 낮은 열팽창계수를 갖는 합금을 모색하여 도우밍을 적극 억제하는 방법으로 개선하고 있다.

그런데 상기한 전자의 경우는 도우밍을 해소할 수 있는 근본대책이 되지 못하여 도우밍의 영향이 두드러지게 나타나는 대형 음극선관에서는 채용될 수 없다는 단점이 있고, 또 후자의 경우는 저열팽창계수를 갖는 합금의 성분과 제조법이 베일에 가리워져 있어 제조하기 어려운데다가 값이 비싸다는 문제점을 안고 있다.

최근에, 상기한 도우밍 개선방법과는 전혀 다르게 도우밍을 근본적으로 개선함과 동시에 간단히 제조할 수 있는 새로운 방법이 제안되어 대향 음극선관에 실용화되기에 이르렀다.

이 방법은 새도우마스크가 도우밍을 일으킬 때, 그 팽창방향이 반드시 페이스 내측(새도우마스크에서는 외측)으로 진행한다는 점에 착안하여, 새도우마스크의 내측면에 높거나 낮은 열팽창계수를 갖는 안티도우밍재를 증착시켜서 새도우마스크의 도우밍방향에 반대로 팽창력이 발생되게 또는 새도우마스크 자체가 팽창되지 않게 억제함으로써 새도우마스크의 도우밍이 상쇄 혹은 발생되지 않게 하려는 것이다.

상기한 방법에 적합한 안티도우밍재료는 높은 열팽창계수를 가진 것은 알루미늄이, 그리고 낮은 열팽창계수를 가진 것은 BN 세라믹이 주로 사용되고 있다.

상기한 안티도우밍재로서 알루미늄은 대기에 노출되었을 때 쉽게 산화하는 성질을 가지고 있으므로 대개는 BN세라믹이 활용되고 있다.

그러나 BN 세라믹이 증착되려면 3000℃ 이상의 고열로 가열되어야 하기 때문에 실제에 있어서는 설비면과 공정면에서 많은 난점을 겪어야 하고, 또 이에 관련된 기술자체도 역시 베일에 가리워져 있어 실용화하기 어려운 실정이다.

본 발명자는 상술한 BN세라믹에 대체할 수 있는 안티도우밍재로서 질화붕소(BN)의 존재에 주목하여 본 발명을 완성하게 되었다.

질화붕소는 붕소의 증착과정에서 질소를 부입시켜 반응되게 함으로써 쉽게 얻을 수 있으며, 붕소의 융점은 2300℃, 비등점은 2500℃로 BN세라믹에 비하여 취급하기가 대단히 용이하다.

따라서 본 발명의 목적은 질화붕소가 증착되게 하는 새도우마스크의 안티도우밍재 증착방법을 제공함에 있다.

상기 목적에 따라 본 발명은 외부와 차단된 진공분위기에서 새도우마스크에 안티도우밍재를 증착함에 있어서, 붕소를 2550℃로 15초간 가열하여 새도우마스크에 1μ 두께의 붕소막이 증착되게 하고, 이어서 질소개스를 주입하여 진공도를 0.1torr로 유지시키면서 15초간 증착을 지속하여 막 두께 2μ의 질화붕소막이 증착되게 한 다음, 온도 2500℃에서 30초간 티타늄을 전기한 질화붕소막 위에 증착되게 함을 특징으로 한다.

이하 본 발명을 바람직한 실시예로서 상세히 설명한다.

외부로부터 격리될 수 있는 통상의 중착기 내부에 피증착물로 되는 새도우마스크를 현수시켜 놓고, 보우트에 증착재로서 붕소를 적당량 담아 소정위치에 놓은 다음, 증착기 내부를 0.00001torr로 진공화시킨다.

증착의 분위기가 소정의 진공도로 되었을 때, 붕소를 2550℃로 가열하여 15초간 증착되게 한다.

붕소의 가열은 E비임법으로 하고, 15초 증착에 의해 얻을 수 있는 막두께는 대략 1μ 정도이다.

다음에는 증착기 내부로 질소개스를 주입하여 진공도를 0.1torr 수준으로 조정하고, 15초간 계속 증착을 행한다.

이때 주입된 질소개스는 붕소와 반응하여 새도우마스크에 질화붕소막이 증착되게 하며, 이 과정에서 얻어지는 막두께로 대략 1μ정도에 그쳐 총 두께는 2μ내외가 된다.

상기한 증착공정이 끝나면 진공을 해제하고 증착재를 티타늄으로 바군 다음, 내부 진공을 0.00005torr로 유지시키고 티타늄을 2500℃로 30초간 가열하여 질화붕소층의 위에 티타늄이 1-2μ 두께로 적층되게 하여 소망의 새도우마스크르 얻는다.

본 발명에 의해 얻어지는 새도우마스크는 그 표면에 증착된 질화붕소의 낮은 열팽창계수로 인하여 도우밍이 적극 억제되고, 또 질화붕소층의 위로 적층되는 티타늄층은 질화붕소가 나타내지 못하는 고도전성을 가지고 있어서 새도우마스크에 애노오드전압을 인가할 수 있게 해준다.

이상과 같이 본 발명은 종래에 BN세라믹을 증착재로 사용한 방법보다 현저하게 낮은 온도로 새도우마스크의 표면에 질화붕소를 증착시킴에 따라, BN 세라믹의 증착에 비해 공정과 설비가 한층 간단하면서도 도우밍억제효과는거의 대등하게 나타나는 이점을 가지고 있다.

Claims (1)

1. 외부와 차단된 진공분위기에서 새도우마스크에 안티도우밍재를 증착함에 있어서, 붕소를 증착재로 하여 진공도 0.00005torr, 증착온도 2550℃, 증착하여 새도우마스크에 1μ두께의 붕소막이 증착되게 하고, 이어서 질소개스를 주입하여 진공도를 0.1torr로 조절한 다음, 15초간 증착을 지속하여 총 두께 2μ내외의 질화붕소막이 증착되게 하고, 다시 진공도 0.00005torr, 증착온도 2500℃, 증착시간 30초로 티타늄을 전기한 질화붕소막 위에 증착되게 함을 특징으로 하는 새도우마스크의 안티도우밍재 증착방법.