KR920702048A - 방전여기 엑시머 레이저장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

방전여기 엑시머 레이저장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도~제4도는 본 발명의 실시예를 각각 나타내고 제1도는 방전여기 엑시어 레이저장치의 전극부분을 나타내는 정면단면도, 제2도는 그 측면단면도, 제3도는 유전체 부분의 정면 단면도.

Claims (10)

1. 레이저 광축을 긴 쪽 방향으로하여 이 레이저 광축을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 한쌍의 주방전전극과 이 한쌍의 주방전전극의 외측에서 또 한쪽의 주방전 전극에 대향하여 배치된 유전체와, 이 유전체를 거쳐서 상기 한쪽의 주방전 전극에 대향한 보조전극을 구비하고 상기 유전체는 통상으로 형성되어 있는 동시에 주방전전극에 대향한 쪽이 평판 상부로 되어 있고 상기 보조전극은 유전체내에 공간을 남긴 형태로 에워싸이고 또 상기 평판상부를 사이에 끼워서 상기 한쪽의 주방전전극에 대향하고 있는 것을 특징으로 하는 방전 여기 엑시머 레이저 장치.
2. 레이저 광축을 긴쪽 방향으로 하고 이 레이저 광축을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 한쌍의 주방전전극과, 이 한쌍의 주방전전극의 외측에서 또 한쪽의 주방전 전극에 대향하여 배치된 유전체와, 이 유전체를 거쳐서 상기 한쪽의 주방전 전극에 대향한 보조전극을 구비하고, 상기 유전체는 통상으로 형성되어 있는 동시에 주방전전극에 대향한 쪽이 평판 상부로 되어 있고 상기 보조전극은 유전체내에 공간을 남긴 형태로 에워싸이고 또 상기 평판상부를 끼워서 상기 한쪽의 주방전전극에 대향하고 있고 상기 유전체는 평판상부의 양족에서 각각 벽부가 평판상부의 한쪽을 향해서 연장된 단면이 ㄷ자상의 봉상부재와, 이 ㄷ자상의 봉상부재의 개방측을 덮어 각형 파이프상으로 하는 평판상의 덮개체부재로 된 것을 특징으로 하는 방전여기 엑시머 레이저 장치.
3. 레이저 광축을 긴쪽 방향으로 하고 이 레이저 광축을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 한쌍의 주방전전극과 이 한쌍의 주방전전극의 외측에서 또 한쪽의 주방전 전극의 외측에서 또 한쪽의 주방전전극에에 대향하여 배치된 유전체와 이 유전체를 거쳐서 상기 한쪽의 주방전 전극에 대향한 보조전극을 구비하고, 상기 유전체는 통상으로 형성되어 있는 동시에 주방전전극에 대향한 쪽이 평판 상부로 되어 있고, 상기 보조전극은 유전체내에 공간을 남긴 형태로 에워싸이고 또 상기 평판상부를 사이에 끼워서 상기 한쪽의 주방전전극에 대향하고 있고, 상기 평판상부의 적어도 한쪽 표면이 경면연마되고 이 표면에 주방전전극 또는 상기 보조전극이 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 방전 여기 엑시머 레이저 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 유전체는 평판상부의 양족에서 각각 겹구를 평판상부의 한쪽을 향하여 연장된 단면이 ㄷ자상의 봉상부재와 이 ㄷ자상의 봉상부재의 개방측을 덮어 각형 파이프상으로 하는 평판상의 덮개체 부재로 된 것을 특징으로 하는 방전여기 엑시머 레이저 장치.
5. 제3항에 있어서, 표면의 凹凸의 고저차가 100㎛이하가 되도록 표면연마된 것을 특징으로 하는 방전여기 엑시머 레이저 장치.
6. 제3항에 있어서, 표면의 凹凸의 고저차가 10㎛이하가 되도록 표면 연마된 것을 특징으로 하는 방전여기 엑시머 레이저 장치.
7. 제4항에 있어서, 표면의 凹凸의 고저차가 100㎛이하가 되도록 표면 연마된 것을 특징으로 하는 방전여기 엑시머 레이저 장치.
8. 제4항에 있어서, 표면의 凹凸의 고저차가 10㎛이하가 되도록 표면 연마된 것을 특징으로 하는 방전여기 엑시머 레이저 장치.
9. 제 1~8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유전체가 세라믹스인 방전여기 엑시머 레이저 장치.
10. 제4항에 있어서, 상기 봉상부재와 덮개체 부재의 접합면에 경면가공을 실시한 방전여기 엑시머 레이저 장치.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.