KR920022604A - 펄스 레이저장치 - Google Patents

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KR920022604A
KR920022604A KR1019920009054A KR920009054A KR920022604A KR 920022604 A KR920022604 A KR 920022604A KR 1019920009054 A KR1019920009054 A KR 1019920009054A KR 920009054 A KR920009054 A KR 920009054A KR 920022604 A KR920022604 A KR 920022604A
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diodes
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히지메 나카다니
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시키모리야
미쓰비시덴키 가부시끼가이샤
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
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Abstract

내용 없음.

Description

펄스 레이저장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 제1실시예에 의한 펄스레이저장치를 표시하는 3차원회로도.
제2도는 제1실시예를 표시하는 회로도.
제3도는 제1실시예의 동작을 표시하는 신호파형도.
제4도는 이 발명의 제2실시예를 표시하는 회로도.

Claims (22)

  1. 총전단자와, 서로 대향하는 제1 및 제2주방전전극과, 그 층전단자와 제1주방전 전극 사이에 접속된 펄스발생콘덴서(capacitor)와, 제1주방전전극과 제2 주방전전극 사이에 병렬접속된 다수의 피크출력콘덴서(Peaking Capacitor)와, 다수의 피크출력콘덴서와 병렬접속시켜 제1주방전전극과 제2주방전전극 사이에 흐르는 주방전전류의 역-바이어스성분을 억제하도록 설정한 다수의 다이오드 구성된 것을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1주방전전극과 제2주방전전극은 각각 일방향으로 형성되는 로드형상이고, 상기 다수의 피크출력콘데서는 제1 및 제2주방전전극의 길이방향으로 분산 배치함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 다수의 다이오드는 제l 및 제2주방전전극의 길이방향으로 분산 배치함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 층전단자와 제2주방전전극 사이에 접속한 스위치를 더 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 다수의 다이오드는 그 스위치를 ON 시킨후 다수의 피크출력콘덴서의 충전 전류를 도통하지 않도록 접속함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 다수의 다이오드와 직렬저속한 다수의 저항기를 더 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  7. 층전단자와, 서로 대향하는 제1 및 제2주방전전극과, 제1주방전전극과 제2 주방전전극 사이에 흐르는 주방전전류의 역-바이어스성분을 억제하기 위하여 일단에 제1주방전전극이 접속된 가포화리액터(saturable reactor)와, 상기 가포화리액터의 타단과 제2주방전전극 사이에 병렬접속한 다수의 피크출력콘덴서와, 상기 가포화리액티의 타단과 충전단자 사이에 접속한 펄스발생콘덴서로 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  8. 제7항에 있어서, 싱기 제1 및 제2주방전전극은 각각 일방향으로 형성된 로드형상이고, 상기 다수의 피크출력콘덴서는 상기 제1 및 제2 주방전전극의 길이방향으로 분산 배치함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 다수의 다이오드는 상기 제1 및 제2주방전전극의 길이방향으로 분산 배치함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 충전단자와 제2주방전전극 사이에 접속한 스위치를 더 구성함을 특징으르 하는 펄스레이저장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 가포화리액터를 안정화시키기 위하여 상기 제1 및 제2 주방전전극 사이에 접속한 안정화회로소자를 더 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 안정화회로소자는 저항기임을 특징으로 하는 펄스레어잦치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 안정화회로소자는 콘덴서임을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  14. 제11항에 있어서, 상기 안정화회로소자는 리액티임을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  15. 제7항에 있어서, 상기 가포화리액티에는 상기 제1주방전전극에 접속된 도체판(conductor plate)과, 그 도체판을 포위하는 러닝트랙(running track)형 코어를 구비함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 코어는 링(ring)형상으로 무정형테이프(amorphous tape)를 감아 구성된 다층구조로 된 것을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  17. 제15항에 있어서, 상기 코어는 다수의 분할된 페라이트코어를 조합시켜 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  18. 제7항에 있어서, 상기 가포화리액티에는 제1주방전전극에 각각 접속된 다수의 도체바(conductor bars)와, 그 도체바를 포위하는 다수의 도넛형(링형) 페라이트코어를 구비함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  19. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2주방전전극 사이에 흐르는 주방전전류의 역-바이어스성분을 억제하기 위하여 상기 다수의 피크출력콘덴서와 병렬접속한 다수의 다이오드를 더 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 다수의 다이오드는 상기 제1및 제2주방전전극의 길이방향으로 분산 배치함을 특징으로 하는 상기 펄스레이저장치.
  21. 제19항에 있어서, 상기 방전단자와 제2주방전전극 사이에 접속된 스위치를 더 구성하며, 상기 다수의 다이오드는 그 스위치를 ON으로 그 다수의 피크출력콘덴서의 충전전류를 도통하지 않도록 접속함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
  22. 제19항에 있어서, 상기 다수의 다이오드와 직렬접속된 다수의 저항기를 더 구성함을 특징으로 하는 펄스레이저장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920009054A 1991-05-27 1992-05-27 펄스레이저장치 KR960005579B1 (ko)

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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2701606B1 (fr) * 1993-02-10 1995-04-14 Sat Laser impulsionnel à gaz, à impulsion de durée allongée.
GB9318359D0 (en) * 1993-09-04 1993-10-20 Secr Defence Pulsed gas lasers
US5822343A (en) * 1994-08-26 1998-10-13 Psc Inc. Operating and control system for lasers useful in bar code scanners
US5612529A (en) * 1994-10-31 1997-03-18 Psc Inc. System for bar code reading and scanning with automatic gain control
US5834750A (en) * 1995-02-28 1998-11-10 Psc, Inc. Bar code scanning system for automatically maintaining constant the amplitude of light reflected from a bar code
US5914974A (en) * 1997-02-21 1999-06-22 Cymer, Inc. Method and apparatus for eliminating reflected energy due to stage mismatch in nonlinear magnetic compression modules
DE19845586B4 (de) * 1997-10-03 2008-04-03 Komatsu Ltd. Entladungsschaltung für einen Impulslaser mit einer Impulsleistungsquelle
US6456643B1 (en) 1999-03-31 2002-09-24 Lambda Physik Ag Surface preionization for gas lasers
US6650679B1 (en) 1999-02-10 2003-11-18 Lambda Physik Ag Preionization arrangement for gas laser
US6757315B1 (en) 1999-02-10 2004-06-29 Lambda Physik Ag Corona preionization assembly for a gas laser
JP3775469B2 (ja) * 2000-03-15 2006-05-17 ウシオ電機株式会社 ArFエキシマレーザ装置、KrFエキシマレーザ装置及びフッ素レーザ装置
US6834066B2 (en) * 2000-04-18 2004-12-21 Lambda Physik Ag Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers
US6763049B1 (en) * 2000-06-15 2004-07-13 Lambda Emi Very high repetition rate power supply system and method
US6671302B2 (en) 2000-08-11 2003-12-30 Lambda Physik Ag Device for self-initiated UV pre-ionization of a repetitively pulsed gas laser
DE10042292B4 (de) * 2000-08-29 2004-08-12 Tuilaser Ag Verfahren zum Betreiben eines Excimer-Laser
DE602004027429D1 (de) * 2003-02-12 2010-07-15 Coherent Gmbh Elementensatz zur chirurgischen Ablation von Augengewebe
JP5133837B2 (ja) * 2008-10-03 2013-01-30 ギガフォトン株式会社 パルスレーザ用電源装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS622682A (ja) * 1985-06-28 1987-01-08 Nec Corp パルスガスレ−ザ装置
US4722091A (en) * 1986-02-24 1988-01-26 Rca Corporation Hybrid laser power supply
JPS6313387A (ja) * 1986-07-03 1988-01-20 Nec Corp パルスガスレ−ザ装置
JPS63136679A (ja) * 1986-11-28 1988-06-08 Toshiba Corp ガスレ−ザ発振装置
JPH03504429A (ja) * 1988-04-20 1991-09-26 シーメンス アクチェンゲゼルシヤフト 特にteガスレーザー用の高出力の高電圧パルス発生装置および方法
US4975921A (en) * 1989-03-29 1990-12-04 Lasertechnics, Inc. Integrated prepulse circuits for efficient excitation of gas lasers

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US5267253A (en) 1993-11-30
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TW209324B (ko) 1993-07-11
EP0516397A1 (en) 1992-12-02
JPH04348574A (ja) 1992-12-03
KR960005579B1 (ko) 1996-04-26
CA2069368C (en) 1996-03-05
CA2069368A1 (en) 1992-11-28
JP2738990B2 (ja) 1998-04-08
DE69202301D1 (de) 1995-06-08

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