KR920017192A - 연마장치 - Google Patents
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명 연마장치의 개략도이다.
Claims (2)
- 시료의 표면을 균일하게 연마하는 연마장치에 있어서, 시료(1)를 고정시켜주는 고정대(2)와, 시료와 마탈하는 연마정반(3)과, 연마되는 시료를 측정하는 다이알 게이지(5)를 구비한 종래의 연마장치에 시료의 표면연마상태를 나타내는 카메라(6)와, 모니터(7)를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 연마장치.
- 제1항에 있어서, 시료의 표면연마상태는 카메라(6)을 통하여 촬영되어 모니터 (7)에 영상으로 나타나게 함을 특징으로 하는 연마장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910002570A KR920017192A (ko) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 연마장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019910002570A KR920017192A (ko) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 연마장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR920017192A true KR920017192A (ko) | 1992-09-26 |
Family
ID=67396714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019910002570A KR920017192A (ko) | 1991-02-18 | 1991-02-18 | 연마장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR920017192A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100436861B1 (ko) * | 2001-08-27 | 2004-06-30 | 나노메트릭스코리아 주식회사 | 화학적 기계적 연마장치에 사용하는 연마 패드의 결함검사 방법 및 장치 |
-
1991
- 1991-02-18 KR KR1019910002570A patent/KR920017192A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100436861B1 (ko) * | 2001-08-27 | 2004-06-30 | 나노메트릭스코리아 주식회사 | 화학적 기계적 연마장치에 사용하는 연마 패드의 결함검사 방법 및 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
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