KR920017192A - 연마장치 - Google Patents

연마장치 Download PDF

Info

Publication number
KR920017192A
KR920017192A KR1019910002570A KR910002570A KR920017192A KR 920017192 A KR920017192 A KR 920017192A KR 1019910002570 A KR1019910002570 A KR 1019910002570A KR 910002570 A KR910002570 A KR 910002570A KR 920017192 A KR920017192 A KR 920017192A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sample
polishing
polishing device
monitor
camera
Prior art date
Application number
KR1019910002570A
Other languages
English (en)
Inventor
이재호
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019910002570A priority Critical patent/KR920017192A/ko
Publication of KR920017192A publication Critical patent/KR920017192A/ko

Links

Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

연마장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명 연마장치의 개략도이다.

Claims (2)

  1. 시료의 표면을 균일하게 연마하는 연마장치에 있어서, 시료(1)를 고정시켜주는 고정대(2)와, 시료와 마탈하는 연마정반(3)과, 연마되는 시료를 측정하는 다이알 게이지(5)를 구비한 종래의 연마장치에 시료의 표면연마상태를 나타내는 카메라(6)와, 모니터(7)를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 연마장치.
  2. 제1항에 있어서, 시료의 표면연마상태는 카메라(6)을 통하여 촬영되어 모니터 (7)에 영상으로 나타나게 함을 특징으로 하는 연마장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910002570A 1991-02-18 1991-02-18 연마장치 KR920017192A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019910002570A KR920017192A (ko) 1991-02-18 1991-02-18 연마장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019910002570A KR920017192A (ko) 1991-02-18 1991-02-18 연마장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR920017192A true KR920017192A (ko) 1992-09-26

Family

ID=67396714

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019910002570A KR920017192A (ko) 1991-02-18 1991-02-18 연마장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR920017192A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100436861B1 (ko) * 2001-08-27 2004-06-30 나노메트릭스코리아 주식회사 화학적 기계적 연마장치에 사용하는 연마 패드의 결함검사 방법 및 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100436861B1 (ko) * 2001-08-27 2004-06-30 나노메트릭스코리아 주식회사 화학적 기계적 연마장치에 사용하는 연마 패드의 결함검사 방법 및 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2012386A1 (en) Magnifying device for hand-held video display apparatus and the like
DE3689840T2 (de) Tragbares gerät zur digitalmessung der pupillengrösse.
FR2314584A1 (fr) Dispositif capteur d'images
KR840008992A (ko) 반전상형 현미경(invited microscope)
KR920020251A (ko) 카메라의 거리측정장치
JPS5210100A (en) Liquid crystal display apparatus
KR860000155A (ko) 정보판독장치
FR2622702B1 (fr) Appareil de mesure du courant de fuite des broches d'entree d'un dispositif sous test
WO1988002877A3 (en) Optical device
KR920017192A (ko) 연마장치
SE8206122L (sv) Spennanordning
CH378549A (fr) Dispositif accessoire d'un appareil servant à mesurer la rugosité de surfaces
AT369603B (de) Zeilenabtastungsumsetzer fuer eine bildwiedergabeeinrichtung
Zeitman Blueprint records of thin-layer chromatograms
JPS524867A (en) Optical measuring method and its device
JPS52120794A (en) Liquid crystal display unit
GB1552502A (en) Apparatus for measuring samples
SE8306309L (sv) Anordning vid teleinstallation
FR2551893B1 (fr) Dispositif d'affichage de sensibilite pour appareil de prise de vues
SU661294A1 (ru) Устройство дл определени содержани газов растворенных в жидкости
JPS5694377A (en) Displaying and printing device
SE9003047D0 (sv) Anordning foer bedoemning av bildkvalitet/-skaerpa
JPS52132884A (en) Apparatus for measuring amount of distortion
JPS57184948A (en) Creep testing device
JPS55122107A (en) System for measuring dimension of photographic object

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E801 Decision on dismissal of amendment
E601 Decision to refuse application