KR920012897A - 진공센서의 검교정장치 - Google Patents

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KR920012897A
KR920012897A KR1019900022446A KR900022446A KR920012897A KR 920012897 A KR920012897 A KR 920012897A KR 1019900022446 A KR1019900022446 A KR 1019900022446A KR 900022446 A KR900022446 A KR 900022446A KR 920012897 A KR920012897 A KR 920012897A
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양달승
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문정환
금성일렉트론 주식회사
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means

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Abstract

내용 없음

Description

진공센서의 검교정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 진공센서의 검교정장치 구성도, 제3조는 제2도에 따른 비교판단회로부의 상세회로도.

Claims (2)

  1. 질소가스를 충전하고 있는 질소가스실린더(6)와, 그 질소 가스실린더(6) 충전가스의 배기관(6-2)에 설치되어 배기조절을 하는 압력조절기(5), 가스개폐밸브(4) 및 유량조절밸브(3)와, 상기 배기관(6-2)에 연결되고 일정부위에 표준진공센서(1)을 장착하도록 함과 아울러 그 일측에 검교정하고자 하는 비교진공센서(2)를 장착할 수 있도록 하는 진공배관(14-1)과, 그 진공배관(14-1)과 진공개폐밸브(7)를 통해 연결되어 초기 진공도를 맞추기 위한 확산펌프(10) 및 보조펌프(11)와, 상기 표준진공센서(1) 및 비교진공센서(2)의 진공감지출력(VA), (VB)을 인가받아 비교판단하여 상기 비교진공센서(2)의 영상조절을 위한 표시를 하는 비교판단회로부(8)로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 진공센서 검교정장치.
  2. 제1항에 있어서, 비교판단회로부(8)는 표준진공센서(1) 및 비교진공센서(2)의 진공도감지출력 (VA), (VB)을 각기 단계별 기준값에 따른 차동증폭하는 차동증폭부(81-1-81-3),(32-1-82-3)와, 그 차동증폭부(81-1,82-1), (81-2,82-2), (81-3,82-3)의 출력을 각기 논리조합하여 같은 경우 제어출력하는 판별부(83-1),(83-2),(83-3)와, 그 판별부(83-1-83-2)의 출력에 따라 표시소자(LED1-LED3)를 통해 각기 표시하는 표시부(84-1),(84-2),(84-3)로 구성하여 본 것을 특징으로 하는 진공센서 검교정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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