KR920012895A - 압력센서 - Google Patents

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KR920012895A
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pressure
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pressure transfer
transfer liquid
absorbing
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KR1019900020249A
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세이키 고마다
도시오 이와다
야스오 다다
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시키모리야
미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/02—Measuring force or stress, in general by hydraulic or pneumatic means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
    • G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
    • G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type

Abstract

내용 없음

Description

압력센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 내지 제3도는 이 발명의 각 실시예를 표시하는 종단면도.

Claims (5)

  1. 케이스에 설치된 다이어프램과, 상기 케이스내에 설치된 압력을 검지하는 압력감지부와, 이 압력감지부와 상기 다이어프램간에 형성되고 압력전달액이 밀봉된 압력전달실과, 주위온도의 변화에 수반한 상기 압력전달액의 체적변동을 흡수하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 압력센서.
  2. 제1항에 있어서, 압력전달액의 체적변동을 흡수하는 수단이 케이스내에 설치된 외기와 도통한 압력조정실과, 이 압력조정실과 압력전달실을 구획하여 형성된 서브다이어프램과 그리고 상기 압력전달시에 형성되고 상기 다이어프램측과 상기 서브다이어프램축을 연통하는 미소한 공극부로 된 것을 특징으로 하는 압력센서.
  3. 제1항에 있어서, 압력전달액의 체적변동을 흡수하는 수단이 압력전달실을 구획하여 압력조정실을 형성하는 간막이부와, 압력전달액의 온도변화에 따라 변형하여 상기 간막이부를 이동시켜 상기 압력조정실의 체적을 변동시키는 열감응부로 구성되고 상기 압력전달액의 온도변화에 의한 체적변동은 상기 열감응부의 열변형에 수반하여 이동하는 간막이부에 의하여 체적이 변동하는 상기 압력조정실에 흡수되는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  4. 제1항에 있어서, 압력전달액의 체적변동을 흡수하는 수단이 케이스내에 설치된 압력전달실을 구획하여 압력 조정실을 형성하는 열감응부이며 이 열감응부는 압력전달액의 온도변화에 의한 체적변동을 흡수하기 위하여 온도 변화에 따라 변형하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 압력센서.
  5. 제1항에 있어서, 압력전달액의 체적변동을 흡수하는 수단이 압력전달실에 슬라이딩자재하게 설치된 열팽창계수가 작은 슬라이딩부와, 압력검지부와 상기 슬라이딩부 사이 또는 다이어프램과 상기 슬라이딩부 사이중 어느 한쪽에 밀봉된 압력전달액으로 된 것을 특징으로 하는 압력센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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