KR920009714B1

KR920009714B1 - 반도체 제조장치용 24채널 다기능 드라이브 보드

Info

Publication number: KR920009714B1
Application number: KR1019880017976A
Authority: KR
Inventors: 정기로; 이용일; 유형준
Original assignee: 한국전기통신공사; 이해욱; 재단법인 한국전자통신연구소; 경상현
Priority date: 1988-12-30
Filing date: 1988-12-30
Publication date: 1992-10-22
Also published as: KR900010919A

Abstract

내용 없음.

Description

반도체 제조장치용 24채널 다기능 드라이브 보드

제1도는 본 발명의 반도체제조장치용 24채널 다기능 드라이브 보드의 전체 구성을 개략적으로 도시한 회로도.

제2도는 제1도의 드라이브 보드중의 드라이브 모듈을 상세하게 도시한 회로도.

제3도는 제1도의 드라이브 보드중의 콘텍트(J₁-J₄)에 외부센서나 드라이브되는 릴레이, LED등을 연결시켜 줄수 있는 스크류 터미날보드를 상세하게 도시한 회로도.

제4a도 및 (b)도는 제3도의 스크류 터미널보드를 사용하는 응용예들을 각각 개략적으로 도시한 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

J₁-J₄: 콘넥터 RA₁: 풀업저항기

S₁-S₂₄: 센서 D₁-D₂₄: 다이오드

TB₁-TB₃: 스크류터미날보드 C₁·C₂: 커패시터

본 발명은 반도체 제조장치에서 공통적으로 사용되는 기능들을 1개의 보드(board)에 집약시켜, 용도에 상관없이 동일 형태의 보드로 상이한 기능들을 수행할 수 있게 한 반도체 제조장치용 24채널 다기능 드라이브 보드(drive board)에 관한 것이다.

본 발명에 대한 다기능드라이보드는 디지탈 입력드라이브기능, 디지탈 출력드라이브기능 및 입출력 상태표시기능을 하나의 보드에 구현함으로써 기능에 따라 별도의 보드를 만드는 것을 피할 수 있도록 하기 위한 것으로, 이 다기능 드라이브 보드에 들어갈수 있는 기능들로는 다음과 같은 것들이 있다. 첫째, 반도체장치의 기능검색을 위해 제어기로 부터 디지탈 신호를 수신하여 릴레이나 솔레노이드 밸브(solenoid valve)를 구동시켜 출력되는 신호를 제어기로 제공하여 올바른 데이타가 출력되었는지를 감시하고. 구동된 출력단을 사용자가 눈으로 확인할 수 있도록 LED등으로 표시해 준다.

둘째, 반도체장비에는 마이크로 스위치(micro-switch)나 포토 인터럽터(photo-interrupter)등의 온/오프(on/off)센서들이 많이 사용되는데, 이 센서들의 상태를 읽들이고 첫번째와 같이 LED등으로 표시하도록 한다. 또한 동일한 드라이브회로를 통해 경보(alarm)장치등을 구동하도록 한다. 한편 잡음간섭을 피하기위해 광결합기(opto-coupling)를 사용하고 각각의 용도에 맞게 사용할 수 있는 스크류터미날보드(screw terminal board)도 같이 설계된다.

제1도는 본 발명의 반도체제조장치용 24채널 다기능 다라이브보드의 전체구성을 개략적으로 도시한 회로도이다. 이 도면으로 부터 알수 있는 바와같이, 이 다기능 드라이브보드는 4개의 25핀(pin) 콘넥터(J₁-J₄)를 통해서 외부와 연결되고, 전원은 로직(logic)용 전원+12v와 드라이브용 전원 +24v가 공급되며 각각의 전원의 접지(ground)는 분리되어 있다. 캐패시터(C₁,C₂)는 전원을 안정하게 해 주는 역할을 한다. J₁콘낵터는 입력용으로 25번 핀을 접지로 하여 제어기에 전속되고 이 제어기(제4도 (a) 및 제4도 (b)참조)로 부터의 디지탈데이타를 접속하거나 온/오프센서(도시안됨)와 연결된다. 입력단자는 모두 24개(1번 핀-24번 핀)이고 저항(RA₁) 10K옴Ω에 의해 각각 풀얼(pull up)된다. 이 저항(Ra₁)은 실제 8개 어레이(array)로 구성되어 슈미트 트리거 인버터(MC 14584)2개마다 한개씩 사용하나, 도면에는 간단히 하기 위해 슈미트 트리거인버터 1개마다 4개 어레이구성을 사용하는 것으로 도시하였다. J₁콘넥터의 각각의 입력신호(IN₁~IN₂₄)는 모두 슈미트 트리거 인버터(MC 14584:원래는 드라이브 모듈 수와 마찬가지로 6개이나, 도면에는 간단히 하기 위해 1개만 도시됨)를 거쳐서 드라이브모듈 1 내지 6으로 입력된다. 이때 슈미트 트리거 인버터(MC 14184)의 출력단(λ1-λ24)는 J₄콘넥터에 연결되어 콘넥터 J₁의 입력상태의 반대레벨의 신호를 나타낸다. 이것은 제어기에 의해 읽어들일 수 있다.

제2도는 제1도내의 6개의 드라이브 모듈중 1개의 드라이브 모듈구조를 상세하게 도시한 회로도이다. 이 드라이브모듈의 입력은 일단 반전 혹은 비반전버퍼(buffer)(4049 또는 4050타입)를 거쳐 광결합기(Pc 847 타입)에 연결된다. 광결합기 전단에 반전 혹은 비반전 버퍼를 삽입한 이유는, 입력신호의 상태가 활성 저레벨(active low)일 때 구동되어야 할 경우가 있기 때문이다. 예를들어, 마이크로 스위치(제4도 (b)참조)는 온(on) 되었을때를 검출해야 하고, 포토-인터럽터는 수광트팬지스터가 오프(off)되었을때를 검출해야 하는데, 이때 입력단을 거친 신호의 상태는 반대상태로 된다. 이 드라이브 모듈이 동작하려면 광결합기(PC 847타입)의 입력단(포토다이도드의 캐소드)이 저레벨로 되어야 하므로, 모두 반전 혹은 비반전 버퍼(4049 또는 4050타입)에 의해 이와 같은 레벨을 통일시켜 주어야 한다. 드라이브용 IC회로는 1.5A까지 구동 가능한 ULN2064타입을 사용하였다. 구동되는 릴레이나 솔레노이드 밸브의 한쪽단자는 +24V에 공통으로 연결되고, 다른쪽 단자는 드라이브용 IC의 출력단자에 연결된다. 이 드라이브 모듈의 출력단은 제1도에서와 같이 콘넥터 J₂로 보내지고 25번 핀은 +24단자에 연결된다. 콘넥터 J₃는 콘넥터 H₂의 각각의 출력단자에 2.2KΩ 저항(RN₁-RN₃등이 붙어있으므로 LED를 구동시킬 수 있게 한다.

제3도는 콘넥터[J₁-J₄]에 외부센서나, 구동되는 릴레이, LED등을 연결시킬 수 있는 스크류 터미널보드(TB₁-TB₃)를 간단하게 도시한 회로도이다. 이 스크류 터미널 보드가 콘넥터 J₁으로의 센서 입력용 콘넥터로 사용되는 경우에는 다이오드(D₁-D₂₄:IN40D1타입)는 제거되고 공통단자와 스크류터미날 TB₃의 점퍼를 없애고, 각각의 스크류터미날을 이용해서 센서의 양단을 연결한다. 이 터미널보드가 드라이브 출력용으로 사용될 때에는 콘넥터 J₂에 연결되고 다이오드(D₁-D₂₄)를 삽입하고, 공통단자는 +24V에 점퍼로 연결된다.

제4도 (a) 및 제4도 (b)는 제3도의 스크류 터미널보드를 사용하는 응용예를 개략적으로 도시한 도면이다.

제4도 (a)는 제어기로부터 디지털신호를 공급받아 원하는 릴레이나 솔레노이드를 구송시키는 예로서, 이때 24채널 다기능 드라이브보드의 콘넥터(J₁)은 제어기의 디지털 출력을 공급받고, 콘넥터(J₂)는 스크류 터미날 보드를 통해 릴레이나 솔레노이드등에 연결되며, 콘넥터(J₃)는 스크류터미날보드를 통해 LED디스플레이에 연결되고, 콘넥터(J₄)는 제어기로 디지탈 신호를 궤환 입력시킨다.

제4도 (b)는 온/오프 센서의 상태로 받아들여 제어기가 읽어들이고 이것들의 상태를 콘넥터(J₃)를 통해 LED에 나타내고 콘넥터(J₂)는 센서에 대한 경보장치나 연동되는 릴레이등을 구동시키는 예로서, 이때 24채널 다기능 드라이브보드의 콘네거(J₁)은 스크류 터미날보드를 통해 마이크로스위치나 포토트랜지스터등에 연결되고 콘넥터(J₄)는 제4도 (a)의 경우와 마찬가지로 제어기로 디지탈신호를 궤환입력시킨다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 반도체제조장치에서 공통적으로 사용되는 기능들이 1개의 드라이브 보드에 집약되어 있고 용도에 따라서 같은 형태의 보드로 상이한 기능들을 수행할수 있게 되므로, 반도체 제조장치의 구조가 간단해지고 복잡성이 제거되어 경비도 또한 절감할수 있게 된다.

Claims

전원부와, 외부의 회로에 연결되고 25번핀이 접지된 4개의 25핀 콘넥터와, 입력단에 8개어레이로 된 풀업저항기가 연결되고 콘넥터의 각각의 입력신호를 드라이브모듈로 입력시키는 6개의 슈미트 트리거 인버터 및, 상기 슈미트트리거 인버터로 부터 각각의 입력신호를 입력받는 6개의 드라이브 모듈이 하나의 보드상에 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치용 24채널 다기능 드라이브 보드.
제1항에 있어서, 상기 각각의 드라이브모듈은 입력신호의 상태가 활성 저레벨일때 또는 활성고레벨일때 구동되게 하는 반전 혹은 비반전 버퍼와, 이 버퍼로부터 나온 출력신호를 입력받아 잡음없이 전달하는 광결합기 및, 이 광결합기의 출력을 입력받아 외부회로를 구동하기 위한 드라이브 IC로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치용24채널 다기능 드라이브 보드.
제1항에 있어서, 상기 전원부는 로직용 전원+12v와 드라이브용 전원+12V를 제공하고, 공급전원을 안정화시키기 위한 캐패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치용 24채널 다기능 드라이브 보드.
제1항에 있어서, 상기 4개의 25핀 콘넥터에 외부센서나, 드라이브되는 릴레이, LED등을 연결시켜줄 수 있는 스크류 터미날 보드를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치용 24채널다기능 드라이브 보드.
제4항에 있어서, 상기 스크류 터미날보드가 콘넥터 J₁의 센서입력용으로 사용될때 다이오드 D₁-D₂₄가 제거되고 공동단자와 스크류터미날 TB₃점퍼가 제거되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치용 24채널다기능 드라이브 보드.
제4항에 있어서, 상기 스크류 터미날보드가 드라이브 출력용으로 사용될때 콘넥터 J₂에 연결되고 다이오드 D₁-D₂₄가 삽입되며 공통단자가 +24V에 점퍼로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치용24채널 다기능 드라이브 보드.