KR920003817A - 플라즈마 장치 - Google Patents

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KR920003817A
KR920003817A KR1019910012351A KR910012351A KR920003817A KR 920003817 A KR920003817 A KR 920003817A KR 1019910012351 A KR1019910012351 A KR 1019910012351A KR 910012351 A KR910012351 A KR 910012351A KR 920003817 A KR920003817 A KR 920003817A
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다까시 요꼬다
시로 고야마
이사히로 하세가와
하루오 오까노
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이노우에 아끼라
도꾜 일렉트론 리미티드
아오이 죠이찌
가부시끼가이샤 도시바
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    • H05H1/02—Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma
    • H—ELECTRICITY
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Abstract

내용 없음

Description

플라즈마 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예인 플라즈마 처리 종점 검출장치의 블록도
제2도는 제1도의 수광센서로 부터 출력되는 특정파장 성분의 플라즈마 발광강도의 변동 성분을 확대하여 도시한 특성도
제3도는 제1도의 수광센서로부터 출력되는 특정 파장성분의 플라즈마 발광강도의 경시적(經時的)변화를 도시하는 특성도

Claims (11)

  1. 처리용기내에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생수단과, 상기 플라즈마 발생수단에 의해 발생된 플라즈마를 이동시켜 피처리물질에 대한 플라즈마 처리를 실행하는 플라즈마 처리수단과, 상기 플라즈마 처리 수단에 의해 플라즈마 처리가 실행될때 플라즈마중의 예정된 파장을 갖는 플라즈마 광강도에 대응한 전기신호를 출력하는 센서 수단과, 상기 센서 수단에 의해 출력된 전기신호를 평활화 하는 수단과, 상기 평활화 수단에 평활화된 신호에 따라서 플라즈마 처리의 종점을 검출하는 종점 검출수단을 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  2. 제1항에 있어서, 플라즈마 처리 수단은 프라즈마를 회전이동시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  3. 제1항에 있어서, 센서 수단은 미리 설정된 영역에서 플라즈마 광 강도를 검출하기 위한 고정된 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  4. 제1항에 있어서, 평활화 수단은 센서 수단에 의해 출력된 전기신호를 그 전압에 대응하는 주파수를 갖는 펄스 신호를 변환하는 수단과, 변환수단에 의해 변환된 펄스 신호를 카운트하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  5. 제1항에 있어서, 종점 검출 수단은 평활화 수단에 의해 평활화된 신호가 나타내는 정상상태의 값을 비교치로 하여 기억하는 수단과, 평활화 수단에 의해 평활된 신호가 기억수단에 기억된 비교치에 대하여 소정치에 달한때 종점 검출 신호를 출력하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  6. 제4항에 있어서, 평활화 수단은 플라즈마의 회전이동 주기에 동기한 복수개의 신호를 생성하는 엔코더 수단을 포함하며, 상기 카운터 수단은 엠코더 수단의 의해 생성된 복수개의 신호에 따라서 주파수 신호를 카운트함에 의해 실질적으로 자계회전주기의 1주기간에 걸쳐서 센서 수단에 의해 출력된 전기신호를 적분, 평활화한 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  7. 제6항에 있어서, 회전이동 주기에 동기한 복수개의 신호는 실질적으로 특정파장광에 대한 감지 비율에 관하여 결정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  8. 제7항에 있어서, 감지 비율은 3회/분~300회/분, 바람직하기는 60회/분 ~150회/분의 오더로 선정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  9. 제6항에 있어서, 엔코더 수단은 포토 인터럽터를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  10. 제1항에 있어서, 평활화 수단은 센서 수단에 의해 출력된 전기신호를 그의 전압에 대응하는 디지탈 신호로 변환하는 수단과, 변환 수단에 의해 변환된 디지탈 신호를 실질적으로 평활화는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
  11. 처리 용기내에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생수단과, 상기 플라즈마 발생수단에 의해 발생된 플라즈마에 의해 피처리 물질에 대한 플라즈마 처리를 실행하는 플라즈마 처리 수단과, 상기 플라즈마 처리수단에 의해 플라즈마 처리가 실행될때 플라즈마중의 예정된 파장을 갖는 플라즈마 광강도에 대응한 전기신호를 출력하는 센서 수단과, 상기 센서 수단에 의해 출력된 전기신호를 평활화 하는 평활화 수단과, 상기 평활화 수단에 의해 평활화된 신호에 따라서 플라즈마 처리의 종점을 검출하는 종점 검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 플라즈마 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019910012351A 1990-07-20 1991-07-19 플라즈마 장치 KR0155569B1 (ko)

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KR0155569B1 KR0155569B1 (ko) 1998-11-16

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US5236556A (en) 1993-08-17
JPH0478136A (ja) 1992-03-12

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