KR920002164Y1 - 웨이퍼 홀딩장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 홀딩장치
제 1 도는 본 고안의 웨이퍼 홀딩장치의 반단면 사시도.
제 2 도는 본 고안의 웨이퍼 홀딩장치의 한쪽면 측단면도.
제 3 도는 본 고안의 웨이퍼 홀딩장치의 작용상태를 설명하기 위한 도면.
제 4 도는 종래의 웨이퍼 한쪽면 측단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 고정체 2 : 가이드
3 : 회전체 4 : 수직벽
5 : 내향플랜지 6 : 픽업용구멍
7 : 외향플랜지 8 : 가이드로울러
10 : 풀리 11 : 걸림홈
12 : 트레이 14 : 걸림돌기
본 고안은 웨이퍼 홀딩장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구조적으로 간단하고, 본딩헤드가 트랜스퍼헤드의 동작에 제한을 주지 않으며, 확실하게 웨이퍼를 홀딩할 수 있는 웨이퍼 홀딩장치에 관한 것이다.
반도체 칩 조립공정에는 본딩헤드가 칩을 흡착해 갈 수 있도록 웨이퍼를 수평상태로 유지시켜주는 웨이퍼 홀딩장치가 필요하다.
이러한 웨이퍼 홀딩장치는 웨이퍼를 홀딩하는 수단과 함께 웨이퍼 익스팬딩수단이 마련되어 있다.
이 익스팬딩수단은 본딩헤드가 칩을 흡착하기 전에 마일러를 익스팬딩시켜서 플런지업 유니트가 작동하여 이젝터핀의 칩을 밀어 올릴때 주위의 칩들과 간섭이 일어나지 않도록하고 있다.
제 4 도는 종래의 웨이퍼 홀딩장치의 한쪽면 측단면도로서, 고정벽체(A)의 수직연장부(B)에는 로울러(C)가 고정 설치되어 있으며, 이 로울러(C)의 안쪽에는, 아랫단 외주부에 회전수단(도시생략)에 의해 전동되는 벨트(D)가 감겨진 풀리(E)가 고정설치됨과 아울러 윗단외주부에 상기한 로울러(C)와 구름 접촉되는 가이드(F)가 형성된 회전체(G)가 회전 가능하게 설치되어 있다.
그리고, 이 회전체(G)에 형성된 홈(H)에는, 한쪽끝단부에 접촉판(I)가 측방향으로 연장 형성되어 있고, 다른 쪽 끝단부에 고정판(j)가 상기한 접촉판(i)와 반대방향으로 연장 형성되어 있으며, 아래쪽으로 걸림턱(K)가 형성된 척(L)이 회동가능케 설치됨과 아울러 고정판(j)에 스프링(M)이 탄력 설치되어 있는 구조로 되어 있으며, 상기한 접촉판(i)의 아래측에는 별도의 승강수단(도시생략)에 의해 승강되는 핀(N)이 설치되어 있다.
이러한 구성의 웨이퍼 홀딩장치는 승강수단 핀(N)이 상승되면, 이 핀(N)이 접촉판(I)를 밀게 되어 척(L)이 회전을 하게 된다.
이와같이 핀(N)이 상승함에 따라 척(L)이 회전을 하게 되면 걸림턱(K)도 회전을 하게 되어 척(L)이 오픈상태로 되고, 이어서, 웨이퍼 무빙(도시생략)에 의해 웨이퍼(W)가 상단에 실려진 트레이(T)가 상승되어 척(L)의 안쪽으로 진입된다.
트레이(T)가 척(L)의 안쪽으로 진입되어지면 승강수단이 하강작동하여 상승되어 있는 핀(N)을 하강시키게 되는데, 핀(N)이 하강하면 척(L)의 회전으로 팽창되어 있던 스프링(M)의 압축작용에 의해 척(L)이 원위치로 회전된다.
그러면, 웨이퍼 무빙에 의해 상승되어 있던 트레인(T)의 외주면이 척(L)의 걸림턱(K)에 걸려 홀딩된 상태로 됨과 동시에 제 4 도에 도시한 바와같이 웨이퍼링(R)이 늘리어지면서 익스팬딩이 된다.
그러나, 상기한 바와같은 종래의 웨이퍼 홀딩장치는 익스팬딩된 상태를 유지시키기 위하여서 스프링 계수가 매우 큰 스프링을 사용하여야 하는데, 이와같이 스프링 계수가 큰 스플을 설치하는 필요한 공간을 확보하는 것이 구조적으로 불가능하여 스프링교환시 어려움이 많은 문제점이 있으며, 게다가, 트레이를 잡아주는 척과 이 척을 개폐시키는 수단이 필요하게 되어 구조적으로 복잡하고, 스프링력으로 트레이를 홀딩하기 때문에 확실한 홀딩을 기대할 수 없다는 문제점이 있다.
또한, 트레이를 홀딩하는 척이 장치의 아래쪽에 설치됨에 따라 이 척에 홀딩되는 트레이상의 웨이퍼가 회전체(G)의 윗쪽에서 아래쪽으로 소정거리 이격되어 위치 되어지기 때문에, 본딩헤드가 트랜스퍼헤드의 작동범위가 좁게되어 결국 본딩헤드가 트랜스퍼헤드가 제기능을 다하지 못하게 되는 문제점이 있다.
본 고안은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 구조적으로 간단하고, 본딩헤드가 트랜스퍼 헤드의 동작에 제한을 주지 않으며, 확실하게 웨이퍼를 홀딩할 수 있는 웨이퍼 홀딩장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 안쪽면에 가이드면이 돌출형성되는 고정체와, 수직면 안쪽에 걸림홈이 형성되고, 아래쪽 끝단부에 수직으로 연당 형성된 외향플랜지상에 상기한 가이드면에 구름접촉되는 가이드로울러가 회동 가능케 설치되과 아울러 외주면에 회전수단에 의해 전동되는 벨트가 감겨지는 풀리가 형성되고, 윗쪽 끝단부에 픽업용 구멍이 뚫려진 내향플랜지가 수직으로 연장 형성되는 회전체와, 상기한 걸림홈에 걸려지는 걸림돌기가 외주면에 대향 설치되는 트레이로 구성되는 웨이퍼 홀더를 제공한다.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.
제 1 도는 본 고안의 웨이퍼 홀더의 반단면 사디도이도, 제 2 도는 본 고안의 웨이퍼 홀더의 일측면 단면도로서, 보호(1)은 고정체를 나타낸다.
고정체(1)은 소정의 높이를 갖는 원통체로 이루어지며, 안쪽면에는 가이드(2)가 돌출 형성되어 있고, 상기한 고정체(1)의 중아부에는 회전체(3)이 회전 가능케 설치되어 있다.
회전체(3)은 수직벽(4)의 윗쪽 끝단부에 내향플랜지(5)가 수직방향으로 연장형성되어 있으며, 이 내향플랜지(5)의 중앙부에는 픽업용 구멍(6)이 뚫어져 있다.
상기한 수직벽(4)의 아래쪽 끝단부에는 외향플랜지(7)이 수직으로 연장 형성되어 있고, 이 외향플랜지(7)상에는 가이드로울러(8)이 설치되어 상기한 가이드(2)와 구름접촉되어 있으며, 이 외향플랜지(7)의 외주면에는 회전수단(도시생략)에 의해 전동되는 벨트(9)가 감겨지는 풀리(10)이 일체로 형성되어 있다.
그리고 상기한 회전체(3)의 수직벽(4)의 안쪽면에는 걸림홈(11)이 형성되어 있다.
이 걸림홈(11)은 홈 "" 자상으로 형성되어 한쪽면이 열려진 형상을 이루고 있다.
부호(12)는 웨이퍼(W)가 실려지는 트레이로써, 아래끝단부에는 웨이퍼링(R)이 받쳐지는 외향플랜지(13)이 수직으로 연장 형성되어 있으며, 이 외향플렌지(13)에는 걸림돌기(14)가 돌출 형성되어 있다.
이와같이 구성되는 본 고안은, 웨이퍼 무빙(도시생략)이 상승되면 트레이(12)가 상승되어 회전체(3)의 안쪽으로 진입하게 된다. 이때 제 3 도에 도시한 바와같이 회전체(3)의 걸림홈(11)과 트레이(12)의 걸림돌기(14)가 평면에서 보아 상호 어긋난 상태로 되도록하여야 한다.
이와같이 회전체(3)의 걸림홈(11)과 트레이(12)의 걸림돌기(14)가 어긋난 상태로 되어 트레이(12)가 웨이퍼 무빙에 의해 상승되어 회전체(3)의 안쪽으로 진입하면 처음에는 웨이퍼링(R)이 회전체(3)의 내향플랜지(5)의 아래면에 닿게되고, 계속되는 웨이퍼 무빙의 상승에 의해 트레이(12)가 더욱 상승하게 된다.
그러나, 웨이퍼링(R)은 내향플랜지(5)에 접촉되어 더이상 상승되어 지지 않기 때문에 웨이퍼(W)에 부착되어 있는 마일러는 제 2 도에 도시한 바와 같이 익스팬딩이 된다.
익스팬딩이 완료되면 회전수단의 회전력이 벨트(9)에 의해 회전체(3) 전달되어 회전체(3)을 제 3 도에 도시한 화살표 방향으로 회전시키게 된다.
회전체(3)이 회전될때 트레이(12)는 웨이퍼 무빙위에 정지된 상태로 있게 되고 되므로, 이 회전체(3)의 걸림홈(11)에 트레이(12)의 걸림돌기(14)가 삽입되어 진다.
이때 걸림홈(11)은 걸림돌기(14)가 삽입되는 반대방향측면이 막혀진 상태로 있기 때문에 걸림돌기(14)는 걸림홈(11)을 벗아나지 않게 된다.
이러한 작용에 의해 걸림홈(11)에 걸림돌기(14)갈 걸려 회전체(3)의 안쪽에 트레이(12)가 홀딩되면, 상승되어 있던 웨이퍼 무빙이 하강됨과 동시에 회전체(3)이 회전을 하면서 칩의 위치를 보정하게 된다.
이상 설명한 바와같이 본 고안의 웨이퍼 홀딩장치는 웨이퍼 무빙의 상승의 익스팬딩함과 동시에 칩의 위치를 보정하기 위한 회전체의 회전으로 웨이퍼를 홀딩함으로써, 확실하게 웨이퍼를 홀딩할 수 있으며, 웨이퍼가 장치의 상단부에 홀딩되므로써, 그 다음공정으로 이어지는 본딩헤드가 트랜스퍼 헤드가 간섭을 받지 않게 된다.
또한, 웨이퍼 홀딩을 위한 별도의 수단을 필요로하지 않기 때문에 간단한 구조로 할 수 있어 고장율이 적고, 제조비를 줄일 수 있는 이점이 있다.

Claims (1)

  1. 안쪽면에 가이드(2)가 원주방향으를 돌출형성되는 고정체(1)과, 수직벽(4)의 안쪽에 걸림홈(11)이 형성되고, 아래쪽 끝단부에 수직연장 형성되는 외향플랜지(7)의 외주면에 회전수단과 전동되는 플리(10)이 형성되고, 윗면에 상기한 가이드(2)와 구름 접촉하는 가이드로울러(8)이 다수개 설치됨과 아울러 픽업용 구멍(6)이 중앙부에 뚫려진 내향플랜지(5)가 윗쪽 끝단부에 형성되는 회전체(3)과, 상기한 걸림홈(11)에 계지되는 걸림돌기(14)가 외주면에 대향 설치되는 트레이(12)로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 홀딩장치.
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