KR910014699A - 칩형 반도체 가스센서 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에서의 적층형 반도체 가스센서의 사시도.
Claims (1)
- 평판형 기판의 한쪽면에 평판형 히터를 갖고, 다른 반대쪽면에 전극을 형성시킨후 그 위에 미립-다공질의 센서 재료들을 도포시킨 적층구조로 제조되는 것을 특징으로 하는 칩형 반도체 가스센서.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019900000654A KR910014699A (ko) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | 칩형 반도체 가스센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019900000654A KR910014699A (ko) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | 칩형 반도체 가스센서 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR910014699A true KR910014699A (ko) | 1991-08-31 |
Family
ID=67468396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019900000654A KR910014699A (ko) | 1990-01-20 | 1990-01-20 | 칩형 반도체 가스센서 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR910014699A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100480378B1 (ko) * | 2002-11-22 | 2005-04-07 | 학교법인 영남학원 | 다공질 가스감지부를 가진 반도체식 가스센서의 제조방법 |
-
1990
- 1990-01-20 KR KR1019900000654A patent/KR910014699A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100480378B1 (ko) * | 2002-11-22 | 2005-04-07 | 학교법인 영남학원 | 다공질 가스감지부를 가진 반도체식 가스센서의 제조방법 |
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Legal Events
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