Claims (6)
박막입힌 필름의 박막을 레이저 비임을 사용하여 박막입힌 필름의 이동방향과 그 이동방향의 횡방향으로 가공하기 위한 레이저 가공장치에 있어서, 상기 장치는 폭방향Q스위치 레이저 발전기, 비임형상 변환수단, 다면경,·θ렌즈와 원주형 렌즈를 포함하는 렌즈유니트로 구성되는 폭방향Q스위치의 레이저 가공부와, 이동방향Q스위치에 레이저 발진기, 레이저 분광기, 다수의 광섬유케이블, 다수의 레이저 비임 조사해드를 포함하는이동방향Q스위치 레이저 가공부로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.A laser processing apparatus for processing a thin film of a thin film coated film in a moving direction of the thin film coated film and a transverse direction of the moving direction by using a laser beam, the apparatus comprising: a widthwise Q-switched laser generator, a non-shaped conversion means, circa, A laser processing part of a width Q switch composed of a lens unit including a θ lens and a cylindrical lens, and a laser oscillator, a laser spectrometer, a plurality of optical fiber cables, and a plurality of laser beam irradiation heads in the movement direction Q switch. Laser processing apparatus comprising a moving direction Q switch laser processing unit.
제1항에 있어서, 상기 비임형상 변환수단은 상기 레이저 발진기에 의해 발진된 레이저 비임을 타원형의 레이저 비임으로 변환시키는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the beam shape converting means converts the laser beam oscillated by the laser oscillator into an elliptical laser beam.
제2항에 있어서, 상기 타원형의 레이저 비임의 큰 직경방향이 레이저 비임 가공방향과 일치하도록 상기 비임형상 변환수단을 회전시키는 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.The laser processing apparatus according to claim 2, further comprising means for rotating said beam shape converting means so that a large radial direction of said elliptical laser beam coincides with a laser beam processing direction.
제1항에 있어서, 상기 비임형상 변환수단은 상기 레이저 비임의 큰 직경을 Y방향으로 확대 또는 축소시키는 X방향의 비임형상 변환수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the non-geographic conversion means is constituted by non-geometric conversion means in the X-direction which enlarges or reduces the large diameter of the laser beam in the Y-direction.
제1항에 있어서,상기 박막입힌 필름을 안내하기 위한 다수의 필름 안내수단은 여러위치에 갖추어지고 상기 Q스위치 레이저 가공부는 상기 박막입힌 필름의 필름측에 위치하는 방식으로 상기 필름 안내수단 사이에 배치되는 레이저 조사 부재를 구비하며, 흡진수단은 상기 박막입힌 필름을 통과하여 상기 레이저 조사부재를 향하는 방식으로 상기 박막입힌 필름의 박막측에 갖추어지는 것을 특징으로 하는 레이저 가공방법.According to claim 1, A plurality of film guiding means for guiding the thin film coated film is provided in a number of positions and the Q switch laser processing unit is disposed between the film guide means in a manner located on the film side of the thin film coated film And a laser irradiation member, wherein the suction means is provided on the thin film side of the thin film coated film in such a manner that it passes through the thin film coated film and faces the laser irradiation member.
가공하고자 하는 가공물에 주사레이저 비임을 조사하는 방법에 있어서, 상기 방법은 레이저 발전기에 의해 발전된 레이저 비임을 반사광학시스템을 개재하여 굴절시키고, 상가 주사레이저 비임을 가공물의 이동방향에 대하여 횡방향으로 조사할때 상기 레이저 비임을 비임형상 변환수단에 통과시켜 타원형의 레이저 비임으로 변환하고, 상기 타원형 레이저 비임의 큰직경 방향이 레이저 비임의 주사방향과 일치되게 상기 비임형상 변환 수단을 회전시켜 상기 타원형 레이저 비임의 큰 직경 양이 주사방향 일치되게 타원형의 레이저 비임을 상기 가공물에 조사하는 것을 특징으로 하는 주사레이저 비임 조사방법.A method of irradiating a scanning laser beam to a workpiece to be processed, wherein the method refracts a laser beam generated by a laser generator through a reflection optical system, and irradiates the scanning laser beam laterally with respect to the moving direction of the workpiece. When the laser beam is passed through the beam shape converting means to convert into an elliptical laser beam, the large diameter direction of the elliptical laser beam rotates the beam shape converting means to match the scanning direction of the laser beam, the elliptical laser beam A method of irradiating a scanning laser beam according to claim 1, wherein the workpiece is irradiated with an elliptical laser beam in such a manner that a large diameter of?
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.