KR910008562B1 - Epoxy resin compositions for encapsulating semi - conductor elements - Google Patents

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Abstract

An epoxy resin compsn. comprises 10-30 wt.pts. of cresol novolak epoxy resin (1), 5-20 wt.pts. of phenol novolak resin (2), 2-20 wt.pts. of silicon-modified epoxy resin (3), 60-80 wt.pts. of inorganic filler (4) and 0.2-5 wt.pts. of copolymer (5) of silicon and n-butyl acrylate. The resin (1) is pref. 180-240 epoxy equivalent and 60-110 deg.C softening point, and the resin (3) is prepd. by reacting a reactive silicon cpd. with a cresol novolak epoxy resin. The resin compsn. for sealing a semiconductor device has a low internal stress and a good heat-resistance and moldability.

Description

반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물Epoxy Resin Compositions for Semiconductor Device Encapsulation

본 발명은 반도체 소자를 봉지시키는데 사용되는 에폭시 수지 조성물에 관한 것으로서, 더 상세하게는 생성되어지는 경화물이 낮은 내부응력을 가지며, 동시에 우수한 내열특성 및 성형성을 가지는 반도체 수지 밀봉용 에폭시 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to an epoxy resin composition used to encapsulate a semiconductor device, and more particularly, to an epoxy resin composition for sealing a semiconductor resin having a low internal stress and having excellent heat resistance and moldability. It is about.

최근 반도체 소자의 고 집적화가 진행되고, 이에 따라 소자의 고기능, 대형화가 진행되며, 알루미늄 배선은 점점 미세하게 되는 경향이 있다. 지금까지 반도체 소자의 봉지에 사용되고 있는 에폭시 수지 조성물은 내열성, 내습성 및 기계적 강도가 좋으나 반도체 소자와 에폭시 수지와의 열팽창계수의 차가 상당히 있어 이송성형법(transfer molding)으로 성형시, 혹은 성형후에 급격한 온도 변화를 받을 때, 내부응력을 크게 발생시키기 때문에 소자표면이 갈라지거나, 내부의 크랙의 발생, 결속선(bonding wire)의 절단, 소자보호막(passivation)층의 크랙발생, 알루미늄 배선의 변형 또는 미끄러짐 등의 문제가 발생한다. 따라서, 내부 응력이 큰 봉지재로 성형한 반도체 소자는 신뢰성의 저하를 초래하게 된다.In recent years, high integration of semiconductor devices has progressed, and as a result, high functions and enlargement of devices have progressed, and aluminum wiring tends to become finer. Epoxy resin compositions used for encapsulation of semiconductor devices have good heat resistance, moisture resistance, and mechanical strength, but there is a significant difference in coefficient of thermal expansion between semiconductor devices and epoxy resins. When a change is made, internal stress is generated largely, so that the surface of the device is cracked, cracks in the inside, cutting of the bonding wire, cracking of the passivation layer, deformation or slipping of the aluminum wiring, etc. Problem occurs. Therefore, a semiconductor element molded from an encapsulant having a large internal stress causes a decrease in reliability.

상기에서 문제점으로 제시되고 있는 경화물의 내부응력을 낮추기 위한 방법으로는 봉지수지의 유리전이 온도를 낮추는 방법, 봉지수지의 열팽창계수와 내부 봉합물의 열팽창계수의 차를 줄이는 방법, 봉지수지의 탄성율을 낮추는 방법이 있다.As a method for lowering the internal stress of the cured product proposed as a problem, a method of lowering the glass transition temperature of the encapsulating resin, a method of reducing the difference between the coefficient of thermal expansion of the encapsulating resin and the thermal expansion coefficient of the encapsulating resin, and reducing the elastic modulus of the encapsulating resin There is a way.

상기 방법중 유리전이 온도를 낮추는 것은 수지 조성물의 고온특성을 나쁘게 하는 단점이 있으며, 열팽창 계수의 계수를 줄이기 위해 열팽창계수가 낮은 무기충진제를 중량하였을 경우에는, 역으로 탄성율이 높아지고 성형성도 나빠지는 단점이 있다.Lowering the glass transition temperature of the above method has the disadvantage of deteriorating the high temperature characteristics of the resin composition, and in the case of weighing an inorganic filler having a low coefficient of thermal expansion, in order to reduce the coefficient of thermal expansion coefficient, conversely, the elastic modulus becomes high and the moldability deteriorates. There is this.

또한, 봉지수지의 탄성율을 낮추는 방법으로는 폴리프로필렌 글리콜 디글리시딜 에테르와 같은 긴 곁가지를 가진 비스에폭시를 사용하거나, 카르복실이나 아미노 말단기를 갖는 저분자량 폴리부타디엔과 같은 반응성의 액상 고무를 사용하는 방법등이 있다. 그러나, 탄성율이 충분히 낮아질때까지 이런 첨가제를 사용하게 되면 기계적 강도가 저하되며, 고온특성이 나빠진다.In addition, a method of lowering the elastic modulus of the encapsulating resin is to use bisepoxy having a long side branch such as polypropylene glycol diglycidyl ether, or to use a reactive liquid rubber such as low molecular weight polybutadiene having carboxyl or amino terminal groups. There are ways to use. However, when such additives are used until the elastic modulus is sufficiently low, the mechanical strength is lowered and the high temperature characteristics are deteriorated.

본 발명자는 상기의 문제점을 해결하기 위해 예의 연구한 결과, 굴곡탄성율은 낮춤과 동시에 기계적 강도가 저하되지 않는, 내열특성 및 성형성이 우수한 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물을 얻기에 이르러 본 발명을 완성하게 되었다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of earnestly researching in order to solve the said problem, the present inventors completed the present invention by obtaining an epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation excellent in heat resistance and moldability, which has a low flexural modulus and does not lower mechanical strength. Was done.

즉, 본 발명은That is, the present invention

(1) 크레졸 노블락 에폭시 수지 10―30 중량부(1) 10-30 parts by weight of a cresol noblock epoxy resin

(2) 페놀 노블락 수지 5―20중량부(2) 5-20 weight part of phenol noble resin

(3) 실리콘 변성에폭시 수지 2―20중량부(3) 2-20 parts by weight of a silicone-modified epoxy resin

(4) 무기 충진제 60―80중량부와(4) 60-80 parts by weight of inorganic filler

(5) 실리콘과 n―부틸 아크릴레이트의 공중합체, 0.2―5중량부로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물에 관한 것이다.(5) It is related with the copolymer of silicone and n-butyl acrylate, and 0.2-5 weight part, It is related with the epoxy resin composition for semiconductor element sealing characterized by the above-mentioned.

이하 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명에서 사용되는 (1)성분의 크레졸 노블락 에폭시 수지는 에폭시 당량이 180―240이고, 연화점이 60―110℃인 에폭시 수지로서 1분자중에 3개 이상의 에폭시기를 함유하는 것이다. 또한 상기 (1)성분의 크레졸 노블락 에폭시 수지에 난연성을 부여하기 위해 전 에폭시 수지에 통상 10―30%의 브롬화 에폭시 수지를 함유하는 것이 바람직하다.The cresol noblock epoxy resin of (1) component used by this invention is an epoxy resin whose epoxy equivalent is 180-240 and a softening point of 60-110 degreeC, and contains 3 or more epoxy groups in 1 molecule. Moreover, in order to provide flame retardance to the cresol noblock epoxy resin of the said (1) component, it is preferable to contain 10-30% brominated epoxy resin normally in all the epoxy resins.

상기 에폭시 수지의 사용량은 10중량부가 적당하며, 사용량이 10중량부 이하이면 내습성이 저하되고 30중량부 이상이면 기계적 강도가 나빠진다.The use amount of the said epoxy resin is 10 weight part suitably, when the usage-amount is 10 weight part or less, moisture resistance falls, and when it is 30 weight part or more, mechanical strength will worsen.

본 발명에 사용되는 (2)성분의 페놀 노블락수지는 (1)성분을 주성분으로 하는 에폭시 수지의 경화제로서 1분자내에 수산기를 2개 이상 함유해야 한다.The phenol noblock resin of (2) component used for this invention must contain 2 or more hydroxyl groups in 1 molecule as a hardening | curing agent of the epoxy resin which has (1) component as a main component.

이때 사용량은 5―20중량부가 되도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the amount is preferably 5 to 20 parts by weight.

사용량이 5중량부 이하에서는 가교밀도가 낮아 기계적 강도가 나쁘고 20중량부 이상에서는 미반응 수산기에 의해 내습성이 저하된다.If the amount of use is 5 parts by weight or less, the crosslinking density is low, and the mechanical strength is poor.

본 발명에서 사용되는 (3)성분의 실리콘 변성 에폭시 수지는 반응성 실리콘 화합물과 (1)성분의 에폭시 수지를 반응시켜 얻은 것으로 여기서 사용되는 실리콘은 주사슬이 [Si―O]의 단위구조가 반복되어진 구조를 형성되어 있는 것으로서 예를들면, 디메틸 실리콘, 메틸페닐실리콘, 알킬 변성실리콘, 지방산 변성실리콘, 에폭시 변성실리콘, 디메틸 디페닐 공중합 실리콘 등을 들 수 있다. 실리콘 변성 에폭시 화합물의 사용량은 2―20중량부이면 좋다. 사용량이 2중량부 이하이면 탄성율이 낮아, 효과가 미비하고 중량부 이상이면 성형성이 나빠진다.The silicone-modified epoxy resin of component (3) used in the present invention is obtained by reacting a reactive silicone compound with an epoxy resin of component (1). The silicon used herein has a repeating unit structure of [Si-O]. As a structure formed, dimethyl silicone, methylphenyl silicone, alkyl modified silicone, fatty acid modified silicone, epoxy modified silicone, dimethyl diphenyl copolymer silicone, etc. are mentioned, for example. The amount of the silicone-modified epoxy compound may be 2 to 20 parts by weight. If the amount is 2 parts by weight or less, the modulus of elasticity is low, and the effect is insignificant.

본 발명에서 사용되는 (4)성분의 무기충진제로는 산화실리콘, 탄산칼슘, 알루미나, 용융실리카, 결정성실리카, 유리, 마그네사이트, 석고, 흑연, 시멘트, 철 카르보닐, 타르, 마이카, 규사, 카오린, 수산화 알루미늄, 석면등이 있으며, 이들 성분중 단독 또는 2종 이상 병행하여 사용할 수 있다. 상기 무기충진제의 배합 비율은 전체 조성물의 60―80중량부가 사용되는데 60중량부 이하가 되면, 열팽창계수가 증가하여 크랙을 발생시키고 80중량부 이상을 사용하게 되면 유동성이 저하된다.Inorganic fillers of component (4) used in the present invention include silicon oxide, calcium carbonate, alumina, molten silica, crystalline silica, glass, magnesite, gypsum, graphite, cement, iron carbonyl, tar, mica, silica sand, kaolin , Aluminum hydroxide, asbestos, and the like, which may be used alone or in combination of two or more thereof. The blending ratio of the inorganic filler is used 60-80 parts by weight of the total composition is less than 60 parts by weight, the coefficient of thermal expansion is increased to generate cracks, when using more than 80 parts by weight fluidity is lowered.

본 발명에 사용된 (5)성분의 실리콘과 n―부틸 아크릴레이트의 공중합체는 n―부틸 아크릴레이트를 반응성 실리콘 화합물과 반응시켜 얻어진다. 사용되는 반응성 실리콘 화합물은 한 분자중에 적어도 카르복실기와 반응할 수 있는 반응기가 2개 이상 있어야 하는데, 이때의 반응기로는 에폭시기, 수산기, 아민기, 카르복실기 등을 들 수 있다.The copolymer of silicone of component (5) and n-butyl acrylate used in the present invention is obtained by reacting n-butyl acrylate with a reactive silicone compound. The reactive silicone compound to be used should have at least two reactors capable of reacting with at least a carboxyl group in one molecule, and examples thereof include an epoxy group, a hydroxyl group, an amine group, and a carboxyl group.

중합반응시 실리콘에 대한 n―부틸 아크릴레이트의 중량비는 30―50이 적당하다. 중량비가 50을 넘을 때에는 과도한 반응열 때문에 반응을 조절하기가 어렵게 된다.The weight ratio of n-butyl acrylate to silicon in the polymerization reaction is suitably 30-50. When the weight ratio exceeds 50, it is difficult to control the reaction due to excessive heat of reaction.

본 발명의 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물은 상기의 성분을 필수 성분으로 하며 또한 성형시의 경화속도를 촉진하는 목적으로 트리페닐 포스핀, 트리부틸 포스핀, 디메틸 포스핀 등의 유기 포스핀계 화합물을 0.1―5중량부 사용할 수 있다. 이와 같은 경화촉진제의 배합비율이 0.1중량부 미만일 경우에는 경화속도가 늦어지며 5중량부 이상일 경우에는 내습성이 나빠질 수 있다.The epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation of the present invention is an organic phosphine compound such as triphenyl phosphine, tributyl phosphine, dimethyl phosphine, etc. for the purpose of making the above components an essential component and promoting the curing speed during molding. 0.1-5 weight part can be used. When the blending ratio of such a curing accelerator is less than 0.1 parts by weight, the curing rate is slow, and when 5 parts by weight or more, moisture resistance may deteriorate.

또한, 본 발명의 조성물에는 천연왁스, 고급지방산 및 그 금속염류 등의 이형제, 에폭시 실란계의 커플링제, 카본블랙과 같은 착색제, 삼산화 안티몬 등의 난연조제 등의 공지의 첨가제를 10중량부 이하로 배합하여 사용함이 바람직하다.In the composition of the present invention, known additives such as release agents such as natural waxes, higher fatty acids and metal salts thereof, coupling agents of epoxy silanes, colorants such as carbon black, and flame retardant aids such as antimony trioxide may be 10 parts by weight or less. It is preferable to mix and use.

본 발명의 에폭시 수지 조성물의 제조방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the production method of the epoxy resin composition of the present invention in detail.

(5)성분을 140℃―160℃에서 30분간 (1)성분의 에폭시 수지와 용융, 혼합한 후 냉각하여 고체상태의 화합물을 얻는다. 이를 다른 조성물과 함께 작게 분쇄하여 헨셀(Henchell)믹서와 같은 혼합기를 사용하여 균일하게 혼합시키고 가열로울러, 니이더(Kneader), 가열 압출기 등으로 용융, 혼련시켜서 얻은 수지를 다시 냉각한 후 잘게 분쇄하여 사용할 수 있다.(5) The component is melted and mixed with the epoxy resin of the component (1) for 30 minutes at 140 ° C to 160 ° C, and then cooled to obtain a solid compound. The mixture is pulverized small with other compositions, mixed uniformly using a mixer such as Henschel mixer, melted and kneaded with a heating roller, kneader, heating extruder, etc. Can be used.

이하 본 발명을 실시예에서 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to Examples.

각 실시예 및 비교예에 사용된 크레졸 노블락 에폭시 수지는 에폭시 당량 213, 연화점 79℃이고 브롬화페닐 노블락 수지의 연화점은 110℃이다. 제조예, 실시예 및 비교예중에서 사용된 부는 모두 중량부를 기준으로 한 것이다.The cresol noblock resin epoxy resin used in each Example and the comparative example is epoxy equivalent 213, softening point 79 degreeC, and the softening point of the brominated phenyl noblock resin is 110 degreeC. Parts used in Preparation Examples, Comparative Examples and Comparative Examples are all based on parts by weight.

[제조예 1][Production Example 1]

60부의 반응성 실리콘을 반응기에 넣어 온도를 100℃까지 상승시킨후 n―부틸 아크릴레이트 27부, 아크릴산 1.5부, 개시제로 3부의 4,4'―아조비스―(4―시아노 발레르산)과 디 큐밀 퍼옥사이드(Dicumyl peroxide) 0.2부를 넣어 충분히 교반하면서 중합반응을 행한다. 여기서 제조된 생성물을 SBA―I이라 칭한다.60 parts of reactive silicone was placed in a reactor and the temperature was raised to 100 ° C, followed by 27 parts of n-butyl acrylate, 1.5 parts of acrylic acid, and 3 parts of 4,4'-azobis- (4-cyano valeric acid) and di 0.2 part of cumyl peroxide is added and polymerization is carried out with sufficient stirring. The product produced here is called SBA-I.

[실시예 1]Example 1

표 1에서 표시된 성분 및 양으로 혼합한 다음, 2개의 롤(Roll)사이에서 75―85℃로 가열, 혼련시켜 일정한 입도로 분쇄하여 사용하기 편리하도록 타정하여 본 발명의 반도체 봉지용 수지 조성물을 얻는다. 상기와 같이 얻어진 조성물의 스파이랄 특성을 측정하고 저압 트랜스퍼 성형기를 이용하여 물성 평가용 시편을 제작하고 175℃에서 8시간후 경화시킨후 물성을 측정하여 그 특성을 표 1에 나타내었다. 스파이랄 플로우의 측정방법은 공지의 측정방법으로 스파이랄 금형을 이용하여 EMMI―1―66(Epoxy Molding Material Institute; Society of Plastic Industry)에 준하여 측정했으며, 굴곡탄성율은 ASTM D―790에 준해 측정했으며, 열팽창계수와 유리전이 온도는 TMA(Thermo mechanical Anaylsis)법을 사용하여 측정하였다.After mixing with the ingredients and amounts shown in Table 1, and then heated and kneaded at 75-85 ° C between two rolls to be pulverized to a certain particle size for convenient use to obtain a resin composition for semiconductor encapsulation of the present invention . The spiral properties of the composition obtained as described above were measured, and a specimen for evaluation of physical properties was prepared using a low pressure transfer molding machine, and cured after 8 hours at 175 ° C. The spiral flow was measured according to EMMI-166 (Epoxy Molding Material Institute; Society of Plastic Industry) using a spiral mold, and the flexural modulus was measured according to ASTM D-790. , Coefficient of thermal expansion and glass transition temperature were measured using TMA (Thermo mechanical Anaylsis) method.

[비교예 1]Comparative Example 1

실시예 1에서 사용한 SBA―1, 실리콘변성 에폭시 수지 대신에 크레졸노블락 에폭시 수지 16.1중량부를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 표 1에 나타낸 성분 및 양으로 배합하여 본 발명의 조성물을 제조하고, 실시예와 동일한 방법으로 시험하여 이에 대한 결과를 표 1에 나타내었다.The composition of the present invention was prepared by mixing the same ingredients and amounts shown in Table 1 in the same manner as in Example 1, except that 16.1 parts by weight of a cresol noblock epoxy resin was used instead of the SBA-1 and silicone-modified epoxy resin used in Example 1. And the test in the same manner as in Example and the results are shown in Table 1.

[비교예 2]Comparative Example 2

비교예 1에서 크레졸 노블락 에폭시 수지 대신에 크레졸 노블락 에폭시 수지 8.1중량부, 실리콘 변성 에폭시 수지 8중량부를 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 표 1에 나타낸 성분 및 양으로 배합하여 본 발명의 조성물을 제조하고 실시예 1과 동일한 방법으로 시험하여 이에 대한 결과를 표 1에 나타내었다.Except for using the cresol novolac epoxy resin 8.1 parts by weight, and the silicone-modified epoxy resin 8 parts by weight in place of the cresol noblock epoxy resin in Comparative Example 1 in the same manner as in Example 1 in the components and amounts shown in Table 1 The composition was prepared and tested in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 1.

[표 1]TABLE 1

Figure kpo00001
Figure kpo00001

표 1에서 알 수 있듯이 본 발명에서 통상의 크레졸 노블락 에폭시 수지 대신에 SBA―1과 SBA―2를 사용할 경우 굴곡탄성율이 저하됨과 동시에 굴곡강도가 저하되지 않는, 내열특성 및 성형성이 우수한 조성물임을 나타내고 있다.As can be seen from Table 1, in the present invention, when SBA-1 and SBA-2 are used instead of the conventional cresol noblock epoxy resin, the flexural modulus decreases and the flexural strength does not decrease, indicating that the composition has excellent heat resistance and moldability. have.

Claims (6)

(1) 크레졸 노블락 에폭시 수지 10―30중량부(1) 10-30 parts by weight of cresol noblock epoxy resin (2) 페놀 노블락 수지 5―20중량부(2) 5-20 weight part of phenol noble resin (3) 실리콘 변성 에폭시 수지 2―20중량부(3) 2-20 parts by weight of a silicone-modified epoxy resin (4) 무기 충진제 60-80중량부와(4) 60-80 parts by weight of inorganic filler (5) 실리콘과 n―부틸 아크릴레이트의 공중합체, 0.2―5중량부로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물.(5) An epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation, comprising a copolymer of silicon and n-butyl acrylate and 0.2-5 parts by weight. 제1항에 있어서, 크레졸 노블락 에폭시 수지가 에폭시 당량이 180―240이고 연화점이 60―110℃임이 특징인 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물.The epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation according to claim 1, wherein the cresol noblock epoxy resin has an epoxy equivalent of 180 to 240 and a softening point of 60 to 110 ° C. 제1항 또는 제2항에 있어서, 크레졸 노블락 에폭시 수지가 1분자 중에 3개 이상의 에폭시기를 함유함을 특징으로 하는 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물.The epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation according to claim 1 or 2, wherein the cresol noblock epoxy resin contains three or more epoxy groups in one molecule. 제1항에 있어서, 실리콘 변성 에폭시 수지가 반응성 실리콘 화합물과 크레졸 노블락 에폭시 수지를 반응시켜 제조됨이 특징인 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물.The epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation according to claim 1, wherein the silicone-modified epoxy resin is prepared by reacting a reactive silicone compound with a cresol noblock epoxy resin. 제4항에 있어서, 반응성 실리콘 화합물이 디메틸실리콘, 메틸페닐실리콘, 알킬 변성실리콘, 지방산 변성실리콘, 에폭시 변성실리콘, 디메틸 디페닐 공중합 실리콘임이 특징인 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물.The epoxy resin composition for semiconductor element encapsulation according to claim 4, wherein the reactive silicone compound is dimethylsilicone, methylphenylsilicone, alkyl modified silicone, fatty acid modified silicone, epoxy modified silicone, dimethyl diphenyl copolymerized silicone. 제1항에 있어서, 무기충진제가 산화실리콘, 탄산칼슘, 알루미나, 용융실리카, 결정성실리카, 유리, 마스네사이트, 석고, 흑연, 시멘트, 철카르보닐, 타르, 마이카, 규사, 카오린, 수산화알루미늄, 석면으로 부터 선택된 것임이 특징인 반도체 소자 봉지용 에폭시 수지 조성물.The inorganic filler according to claim 1, wherein the inorganic filler is silicon oxide, calcium carbonate, alumina, molten silica, crystalline silica, glass, masnecite, gypsum, graphite, cement, iron carbonyl, tar, mica, silica sand, kaolin, aluminum hydroxide, Epoxy resin composition for sealing semiconductor elements, characterized in that selected from asbestos.
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