KR910006037Y1 - 자동압력 조절기 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

자동압력 조절기

제 1 도 및 제 2a, b 도는 종래 자동압력 조절기의 밸브 축 부분 단면도.

제 3 도는 본 고안 자동압력 조절기의 개략 단면도.

제 4a, b 도는 본 고안 자동압력 조절기의 밸브 축 부분 단면도.

제 5 도는 본 고안 클러치부의 분해 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 밸브 20 : 축

30, 31, 32 : 클러치 40 : 모터

23, 43 : 중간풀리

본 고안은 반도체의 제조공정중 어피택셜 성장등에 필요한 가스의 주입용 자동압력 조절기(APC : Automatic Pressure Controller)에 관한 것으로 , 특히 가스량을 조절하는 밸브와 밸브에 구동력을 공급하는 모터 사이에 설치된 클러치를 교환 가능토록한 자동압력 조절기에 관한 것이다.

종래 자동압력 조절기의 밸브 조절 구동축은 첨부도니 도면 제 1a, b 도와 같이 모터의 회전력을 중간풀리를 통한 축에 의하여 직접 밸브(1)에 전달한으로써 구동 전달용 축(2)에 편심에 의한 비틀림이 발생하여 진동 및 소음이 발생되었고, 이를 해결하고자 제 2a, b 도에 도시한 바와같이 밸브(1) 및 모터(4) 사이의 구동 전달용 축(2)에 클러치3을 설치하여 사용하였으나 이는 편심에 의한 클러치(3)의 교환시 축(2) 전체를 교체 하여야만 하기 때문에 가격의 상승요인이 되었다.

본 고안은 이와같은 문제점을 감안하여 구동 전달용 축에 클러치를 3단으로 설치하여 모터의 구동력을 밸브에 전달함으로써 힘의 정확한 전달은 물론 클러치의 교체를 손쉽게 할수 있도록한 것으로 이를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도면 제 3 도는 본 고안 자동압력 조절기의 단면도로써 전원 입력단 (50)에 입력되는 전원의 입력에 의하여 구동되는 모터(40)의 축(41)에 풀리(42)를 설치하고 상기 풀리(42)의 회전에 의한 구동력을 감속하여 클러치(30,31,32)가 설치된 밸브(10)의 축 (20)에 접속된 풀리(21)에 전달하기 위한 중간 풀리(23,43)로 구성되어 있으며, 제 4a, b 도는 본 고안 자동압력 조절기의 밸브가 접속 연결된 클러치부의 정단면도 및 측단면도로써 축(20)의 설치된 클러치(30,31,32)가 3단으로 배열됨을 나타낸 것이고 제 5 도는 본 고안 클러치부의 분해 사시도를 도시한 것이다.

이와 같이 구성된 본 고안은 모터(40)의 구동력을 중간 풀리(23,43)를 통한 밸브(10)에 전달시 클러치(30,31,32)의 설치로 인한 편심을 보상할수 있음과 아울러, 클러치(31)의 재질을 클러치(30,32)의 재질보다 연질로 제작하여 클러치(31)의 마모시 클러치(31)만을 마모되게 함으로써 클러치(31)만을 교체에 의한 공정의 간소화 및 가격의 절감을 얻을 수 있는 것이다.

Claims (1)

1. 전원의 입력에 따른 모터의 구동으로 인한 밸브의 회전에 의하여 가스를 주입하기위한 자동압력 조절기에 있어서, 밸브(10)의 축(20)에 설치된 클러치(30,31,32)를 3단으로 성형함을 특징으로 하는 자동압력 조절기.