Claims (14)
특정 굴절율을 갖는 단결성 기판상에 제1 세트의 에피택셜 단결정 층으로 형성된 내측 반사경과, 공진자층, 제2세트의 에피택셜 단결정층으로 형성된 외측 반사경을 연속적으로 적층한 구조로 이루어지는데, 상기 구조의 적어도 한 부분은 내측 반사경, 기판 및 공진자층의 하나 또는 그 이상으로 이루어지고, p형 또는 n형의 전기 전도성을 가지며, 상기 구조의 적어도 다른 하나의 부분은 외측 반사경 및 공진자 층의 하나 또는 그 이상으로 이루어지고 n형 또는 p형의 전기 전도성을 가지지만 상기 하나의 부분과는 다른 전도 형태를 가지며, 상기구조는 또한 상기 구조의 상기하나의 부분과 상기 다른 하나의 부분에 각각 오오믹 접촉을 만드는 제1 및 제2 전기 전도수단을 포함하고, 상기 전기 전도 수단에 전위를 인가함으로써 상기 구조에 역 바이어스가 인가되어 상기 공진자 층에 전계가 형성되도록 하며 이로써 공진자 층을 굴절율은 상기 바이어스의 변화에 따라 상기전계를 변화시킴으로써, 사용시에, 변조기를 통화하는 빛을 대응하게 변조시키도록 변화되는 갓을 특징으로 하는 전기 광학변조기.The inner reflector formed of the first set of epitaxial single crystal layers on the unitary substrate having a specific refractive index and the outer reflector formed of the resonator layer and the second set of epitaxial single crystal layers are successively laminated. At least one portion of the inner reflector, the substrate and the resonator layer consists of one or more, has a p-type or n-type electrical conductivity, and at least the other portion of the structure has one or more of the outer reflector and resonator layers Consisting of more than one and having an n- or p-type electrical conductivity but having a different conduction form than the one part, the structure also has an ohmic contact with the one part and the other part of the structure, respectively. A first and second electrically conducting means for producing a reverse bias to said structure by applying a potential to said electrically conducting means. Is applied to cause an electric field to be formed in the resonator layer, whereby the refractive index of the resonator layer is varied by changing the electric field in response to a change in the bias, so that in use, the shade is changed to correspondingly modulate the light passing through the modulator. Electro-optic modulator made.
r1=r1exp(jφ1)이고 여기에서 r1은 내측 반사경에 포함된 층의 반사율크기, φ1은 상기 반사율에 대한 위상 시프트를 나타내며 ro=r2exp(jφ2)이고, 여기에서 r2는 외측 반사경에 포함된 층의 반사율 크기, φ2는 상기 반사율에 대한 위상 시프트를 나타낸 것을 특징으로 하는 전기 광학변조기.r 1 = r 1 exp (jφ 1 ) where r 1 is the reflectance size of the layer included in the inner reflector, φ 1 is the phase shift with respect to the reflectance and ro = r 2 exp (jφ 2 ), where and r 2 is the reflectance magnitude of the layer included in the outer reflector, and φ 2 is the phase shift with respect to the reflectance.
제1항 또는 제2항에 있어서, 공진자 층에 인접한 내측 반사경의 층의 굴절율(Nb)과 공진자 층에 바로 인접한 외측 반사경의 층을 굴절율 (Na)은 변조기에 인가된 어떤 특수 동작 전압에서 공진자 층의 굴절율(Nr(V)과Na<Nr(O)이면 Nb<Nr(O)의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.According to claim 1 or 2, wherein the refractive index of the layer of the inside reflector adjacent to the resonator layer (N b) and a refractive index of a layer of the outside reflector immediately adjacent the resonator layer (N a) is applied which special operation the modulator the refractive index of the resonator layer at a voltage (N r (V) and N a <N r (O) is an electro-optic modulator, it characterized in that a relationship of N b <N r (O) .
제1항 또는 제2항에 있어서, 공진자 층에 인접한 내측 반사경의 층의 굴절율(Nb)과 공진자층에 바로 가까이에 인접한 외측 반사경의 층의 굴절율(Na)은 변조기에 인가된 어떤 특정 동작 전압에서 공진자 층의 굴절율 (Nr(V)과Na<Nr(O)이면 Nb<Nr(O)의 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.The method according to claim 1 or 2, wherein the refractive index N b of the layer of the inner reflector adjacent to the resonator layer and the refractive index N a of the layer of the outer reflector immediately adjacent to the resonator layer are any particular applied to the modulator. the refractive index of the resonator layer at the operating voltage (N r (V) and N a <N r (O) is an electro-optic modulator, it characterized in that a relationship of N b <N r (O) .
제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 반사경을 포함한 층들은 고굴절율 및 저국절율을 교대로 가지며 광학 두께 入/2의 구성상의 주기성 또는 홀수의 다수 두께가 달성되어지는 두께를 가지며 여기에서 入는 특수장치에 의해 변조될 빛의 다수의 가능한 별개의 파장 들중 가장 긴 것을 나타내고, 다른 예에서는 구성 그러므로 반사경의 굴절율은 入/2의 광학 두께 또는 어떤 홀수의 다수 두께를 갖는 구성상의 주기성이 달성되어지도록 연속적 또는 계단식으로 변화될 수 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.The layer according to any one of claims 1 to 4, wherein the layers including the reflector alternately have a high refractive index and a low refractive index, and have a thickness at which a cyclic periodicity or an odd number of thicknesses of an optical thickness 入 / 2 is achieved. Represents the longest of the many possible discrete wavelengths of light to be modulated by the special device, and in other examples the configuration therefore the refractive index of the reflector achieves a cyclic periodicity with an optical thickness of ⁄ / 2 or any odd multiple thickness Electro-optic modulator, characterized in that it can be changed continuously or stepwise.
제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 구성 그러므로 반사경의 굴절율은 /2의 광학 두께 또는 어떤홀수의 다수 두께를 갖는 구성상의 주기성이 달성되어 지도록 연속적 또는 계단식으로 변화된는 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.5. The electro-optic modulator according to any one of claims 1 to 4, wherein the configuration and therefore the refractive index of the reflector is changed continuously or stepwise such that a periodicity of the configuration with an optical thickness of / 2 or any odd multiple thickness is achieved. .
제1항 내지 제6항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판 및 후속 물질층들은 특수층에서 특수 비율로 결합된 갈륨, 알루미늄 및 비소를 포함하는 족으로부터 선택된 물질의 단결정인 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.7. An electro-optic modulator according to any one of claims 1 to 6, wherein the substrate and subsequent material layers are single crystals of a material selected from the group comprising gallium, aluminum and arsenic bonded in a special proportion in a special layer.
제1항 내지 제6항중 어느 한항에 있어서, 기판 및 후속 물질층들은 특수층에서 특수 비율로 결합된 갈륨, 인듐, 비소 및 인을 포함하는 족으로부터 선택된 물질의 단결정인 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.The electro-optic modulator according to any one of claims 1 to 6, wherein the substrate and subsequent material layers are single crystals of a material selected from the group comprising gallium, indium, arsenic and phosphorus bonded in a special proportion in a special layer.
제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 기판 및 후속 물질층들은 특수층에서 특수 비율로 결합된 갈륨, 인듐, 알루미늄, 비소 및 아티몬을 포함한 족으로부터 선택된 물질의 단결정인 것을 특징으로 하는 전기 광학변조기.7. The electrical method of any one of claims 1 to 6, wherein the substrate and subsequent material layers are single crystals of a material selected from the group comprising gallium, indium, aluminum, arsenic and attimon bonded in special proportions in a special layer. Optical modulator.
제1항 내지 제6항중 어느 한항에 있어서, 기판 및 후속 물질층들은 특수층에서 특수 비율로 결합된 수은, 카드뮴, 망간 및 테루륨을 포함한 족으로부터 선택된 물질의 단결정인 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.7. An electro-optic modulator according to any one of the preceding claims, wherein the substrate and subsequent material layers are single crystals of a material selected from the group comprising mercury, cadmium, manganese and terulium combined in special proportions in a special layer.
제1항 내지 제6항중 어느 한항에 있어서, 기판 및 후속 물질층들은 특수층에서 특수 비율로 결합된 납, 유황 텔루륨 및 셀레늄을 포함한 족으로부터 선택된 물질의 단결정인 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.7. An electro-optic modulator according to any one of the preceding claims, wherein the substrate and subsequent material layers are single crystals of a material selected from the group comprising lead, sulfur tellurium and selenium bonded in a special proportion in a special layer.
제7항 내지 제11항중 어느 한항에 있어서, 상기 층들은 초격자 또는 다중 양자정 구조로 된 미세한 충돌로 차례로 구성된 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.12. The electro-optic modulator according to any one of claims 7 to 11, wherein the layers are in turn composed of fine collisions of superlattice or multi quantum crystal structures.
제7항 내지 제11항중 어느 한항에 있어서, 상기 충돌은 그 구성이 연속 등급으로 된 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.12. The electro-optic modulator according to any one of claims 7 to 11, wherein the collision is of continuous grade in configuration.
제12항에 있어서, 전기 광학 변조기의 동작 파장은 공진자 층의 기본 에너지 갭 바로 아래의 여자 영역에 대응하도록 선택된 것을 특징으로 하는 전기 광학 변조기.13. The electro-optic modulator of claim 12, wherein the operating wavelength of the electro-optic modulator is selected to correspond to an excitation region directly below the fundamental energy gap of the resonator layer.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.