KR900013568A - 전자빔의 중심을 잡는 방법 - Google Patents

전자빔의 중심을 잡는 방법 Download PDF

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KR900013568A
KR900013568A KR1019900000656A KR900000656A KR900013568A KR 900013568 A KR900013568 A KR 900013568A KR 1019900000656 A KR1019900000656 A KR 1019900000656A KR 900000656 A KR900000656 A KR 900000656A KR 900013568 A KR900013568 A KR 900013568A
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magnetic
magnetic field
axis
spools
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KR1019900000656A
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Inventor
프리델 볼프강
카우프만 헬무트
쉬미드 로랜드
Original Assignee
이. 해페리·유. 웨그만
발저스 아크티엔게젤샤프트
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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Abstract

내용 없음

Description

전자빔의 중심을 잡는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 진공성층장치를 개략적으로 도시한 종단면도,
제2도는 제1도에 도시한 진공성층장치의 진공실을 개략적으로 도시한 횡단면도,
제3도는 원료원에서의 운동 및 축선의 배열도

Claims (10)

  1. 진공실성층장치에 있어서, 전자빔의 중심을 잡는 방법으로서, 전자빔이 진공실내에서 음극으로부터 원료원으로 안내되고, 전자빔에 의하여 원료원의 표면이 가열 및 요해되고, 원료원이 용해에 상응하여 밀려나가는 방법에 있어서, 전자빔의 축선에 대하여 거의 직각으로 자장이 발생하고, 이러한 자장이 전자빔의 축선에 대하여 거의 직각으로 놓여있는 평면내에서 그 둘레를 회전하고, 전자빔이 이 자장에 의하여 전자빔축선과 평행으로 되어 있는 축선둘레로 회전운동을 하게 되고, 원료의 기화율 변동이 측정되고, 회전운동의 축선이 기화율에 따라 원료원의 축선과 합치되는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 원료의 기화율이 진공실내에 장입되는 반응가스의 소비량 변동을 거쳐 간접적으로 측정되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 회전운동의 축선을 변동시키기 위하여 이 축선과 거의 직각이 되도록 추가 정상자장이 생기고, 이러한 정상자장의 작용에의하여 전자빔이 이동되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항 내지 제3항중 한 항에 있어서, 회전자장이 서로 교호적으로 교차하는 2개의 자장에 의하여 발생하고, 2개의 자장의 교호작용이 90°정도의 반대위상변위로 발생하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항 내지 제4항중 한 항에 있어서, 회전자장이 교류에 의하여 발생하고, 정상자장이 직류에 의하여 발생하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항 내지 제5항중 한 항에 있어서, 기화율로부터 유도되는 측정신호가 회전운동을 발생시키는 자장의 공급전류의 교호전압신호와 비교되고, 이러한 비교에 근거하여 교정에 필요한 균일전압신호가 생기고, 교호전압신호와 중첩되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제1항에 의한 방법을 실시하는 장치로서, 전자빔(3)의 영역내의 평면에 2개의 제1자기스풀(11, 12)이 배치되어 있고, 이러한 자기스풀(11, 12)의 축선(15, 16)이 전자빔(3)의 축선(17)에 대하여 거의 직각으로, 서로에 대하여서도 거의 직각으로 뻗어있고, 이 2개의 자기스풀(11, 12)에 교호전압접속부(18)가 제공되어 있고, 제1자기스풀(11, 12)에 대하여 평행으로 또는 제1자기스풀과 일체적으로 제2자기스풀(13, 14)이 배치되어 있고, 서로 평행되는 2개의 제2자기스풀(13, 14)에는 각각 균일전압접속부(19)가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 2개의 제1자기스풀(11, 12)의 전기 공급전압이 각각 90°의 각도로 위상변위되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제7항 또는 제8항중 한 항에 있어서, 제1 및 제2자기스풀(11, 13 또는 12, 14)가 단일자기스풀에 의하여 형성되고, 균일전압이 교호전압에 중첩되는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제7항 내지 제9항중 한 항에 있어서, 장치에 진공실(1)내에 장입되는 반응가스용의 유량계(21)가 제공되어 있고, 이 유량계(21)가 제2자기스풀(13, 14)의 균일전압용 제어장치(20)와 결합되어 하나의 제어신호발신기를 형성하는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900000656A 1989-02-09 1990-01-20 전자빔의 중심을 잡는 방법 KR900013568A (ko)

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CH00455/89-0 1989-02-09

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ATE102742T1 (de) 1994-03-15
EP0381912A1 (de) 1990-08-16
US5001403A (en) 1991-03-19
EP0381912B1 (de) 1994-03-09
JPH02239558A (ja) 1990-09-21
JP2859344B2 (ja) 1999-02-17

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