KR900005332B1

KR900005332B1 - Of inorganic element concentration analysis instrument

Info

Publication number: KR900005332B1
Application number: KR1019870005530A
Authority: KR
Inventors: 양근영
Original assignee: 주식회사 금성사; 최근선
Priority date: 1987-05-30
Filing date: 1987-05-30
Publication date: 1990-07-27
Also published as: KR880014365A

Abstract

The spectrometer of mineral element concentration analysis, apparatus uses laser of variable wavelength and splits beams by acoustics- optics (A/O) modulator using A/O material in order to measure intensity according to wavelength of laser beam. The apparatus composes slit (41) plate having curvature along focus track of lens (34) focussing deflecting beam.

Description

Spectrometer of mineral element concentration analyzer

제1도는 종래 분석장치의 구성도.1 is a block diagram of a conventional analyzer.

제2도는 본 발명 스펙트로메타가 직용된 분석장치의 구성도.2 is a block diagram of an analysis apparatus in which the present invention spectrometer is applied.

제3도는 본 발명 스펙트로에타의 상세도.Figure 3 is a detailed view of the spectroeta of the present invention.

제4도는 제3도의 측면도.4 is a side view of FIG.

제5도는 A/D 모듈레이션에 의한 빛의 회절설명도.5 is a diagram illustrating diffraction of light by A / D modulation.

제6도는 램프발생기에 의한 레이저의 파장변화도.6 is a wavelength change diagram of the laser by the lamp generator.

본 발명은 무기질 원소 농도 분석장치의 스펙트로메타에 관한 것으로, 특히 파장을 가변할 수 있는 레이저를 사용하고, 그 레이저빔의 파장에 따른 강도를 측정하기 위해 음향-광학물질을 이용한 무기질 원소 농도 분석장치의 스펙트로메타에 관한 것이다.The present invention relates to a spectrometer of an inorganic element concentration analyzer, and in particular, an inorganic element concentration analyzer using an acoustic-optic material to measure the intensity according to the wavelength of the laser beam using a laser having a variable wavelength. It's about the spectrometer.

종래의 장치는 제1도에 도시한 바와같이, 샘플(1)과 창(window)(3)에 의하여 밀폐되어 샘플(1)을 증발시키는 GDL(Glow discharge Lamp ; 글로우 방전관)(2)와, GDL(2)로 부터 들어오는 빛을 그레이팅(grating ; 회절판)(4)에 접속하는 집속렌즈(5), 그래이팅(4)에서 회절된 빛을 검지하는 슬릿(6), PM 튜브(Photomultiplier tube ; 광전자 증배관)(7)을 내장한 스펙트로메타(spectrometer ; 분광계)(8)를 구비하고 GDL(2)의 샘플(1)을 증발시키도록 GDL(2)에 고전압을 공급하는 고전압전원공급기(9), GDL(2)에 알곤가스를 공급하고 내부를 진공으로 해주며 또한, 스펙트로메타(8)의 내부를 진공으로 만드는 진공 및 알곤공급시스템(10), 스펙트로메타(8)를 전공상태로 유지시키면서 GDL(2)로 부터의 빛을 통과시키는 창(11), PM튜브(7)로 부터의 전기적 신호를 디지탈로 바꾸어 주고 이를 증폭하는 A/D콘버터와 앰플리파이어(증폭기)(12), 그리고 데이타를 분석하고 장치를 제어하는 컴퓨터(13)로 구성되어 있으며 상기 스펙트로메타(8)에 내장된 슬릿(6)과 PM튜브(7)는 그레이팅(4)에 의해 회절된 여러파장들 중에 분석에 필요한 파장이 지나가는 경로에 위치하도록 되어있다.The conventional apparatus comprises a GDL (Glow Discharge Lamp) 2, which is sealed by the sample 1 and the window 3 and evaporates the sample 1, as shown in FIG. A focusing lens 5 for connecting the light coming from the GDL 2 to a grating 4, a slit 6 for detecting the light diffracted at the grating 4, a PM tube (Photomultiplier tube) A high voltage power supply having a spectrometer (8) incorporating a photomultiplier tube (7) and supplying a high voltage to the GDL (2) to evaporate the sample (1) of the GDL (2); 9) The vacuum and argon supply system (10) and the spectrometer (8), which supply the argon gas to the GDL (2) and vacuum the inside, and vacuum the inside of the spectrometer (8), are in a state of majoring. A / D converter that converts and amplifies the electrical signal from the window 11 and PM tube 7 through which the light from the GDL 2 passes, and amplifies it. It consists of an amplifier (amplifier) 12 and a computer 13 for analyzing data and controlling the device, and the slit 6 and PM tube 7 embedded in the spectrometer 8 are attached to the grating 4. Among the wavelengths diffracted by the wavelength, the wavelength required for analysis is located in the passing path.

이와같은 종래의 무기질 원소 농도 측정장치는 원소의 농도(concentration)를 알고있는 표준샘플(1)을 GDL(2)에 부착하고 컴퓨터(13)에 의해 조정되는 전원공급기(9)와, 진공 및 알곤공급시스템(10)으로 GDL(2)외 동작조건을 맞추고 동작시키면 전원공급기(9)에 의해 애노드(14)와 캐소드(1)(I5)사이에 형성된 전기장에 의해 알곤가스가 표준샘플(1)쪽으로 가속되어 충돌되면서 표준샘플(1)로 부터 원자를 분리시키며 분리된 원자는 가속된 알곤 가스와 충돌하여 여기(excit)된다. 여기된 원자들은 여기된 상태로 부터 기저(ground) 상태로 환원되면서, 원자의 공명진동수(resonance frequency)에 해당하는 빛(1)을 방출하게 된다. 그러므로 표준샘플(1)을 구성하는 모든 원소들의 공명진동수들이 GDL(2)로 부터 방출되고 방출된 빛은 GDL(2)에 부각된 창(3)과 스펙트로메타(8)에 부과된 창(11)을 통하여 입력된 후 집속렌즈(5)와 입구측 슬릿(16)을 거쳐 그레이팅(4)에 집속된다. 집속된 빛은 그레이팅(4)얘 의해 파장별로 분리되면서 일정각도로 반사된다.Such a conventional inorganic element concentration measuring device has a standard sample (1), which knows the concentration of an element, attached to the GDL (2) and a power supply (9) controlled by a computer (13), vacuum and argon. When the operation system other than the GDL (2) operating conditions are adjusted and operated, the argon gas is generated by the electric power supply 9 between the anode 14 and the cathode 1 (I5). Accelerated to collide, it separates the atoms from the standard sample (1), and the separated atoms collide with the accelerated argon gas and are excited. The excited atoms are reduced from the excited state to the ground state, and emit light 1 corresponding to the resonance frequency of the atom. Therefore, the resonance frequencies of all the elements constituting the standard sample (1) are emitted from the GDL (2), and the emitted light is imposed on the window (3) and the spectrometer (8) highlighted in the GDL (2). After the input through the focusing lens 5 and the entrance side slit 16 is focused on the grating (4). The focused light is reflected at a constant angle while being separated for each wavelength by the grating (4).

이러한 그레이팅(4)에 의해 회절된 빛은 측정하고자 하는 원소의 공명진동수의 강도를 측정하기 위해 빛이 지나가는 경로에 위치한 출구측 슬릿(6) 및 PM 튜브(7)에 의해 파장별로 강도가 측정된다. 즉, 측정하고자 하는 원소가 3종류라 하고 표준샘플(1)이 이 3종류의 원소를 포함하면, GDL (2)로 부터 방출되는 빛에 이 원소들의 공명진동수 F₁,F₂,F₃가 섞여나오며 이 빛은 스펙트로메타(8)내에 있는 그레이팅(4)에 의해 진동수별로 다른 각도를 가지고 회절된다.The light diffracted by the grating 4 is measured for each wavelength by the exit slit 6 and the PM tube 7 located in the path through which the light passes to measure the intensity of the resonance frequency of the element to be measured. . That is, if there are three kinds of elements to be measured and the standard sample (1) includes these three kinds of elements, the resonance frequencies F ₁ , F ₂ , and F ₃ of these elements are added to the light emitted from the GDL (2). This light is diffracted by the grating (4) in the spectrometer (8) with different angles at different frequencies.

이때 F₁,F₂.F₃빛이 회절되어 지나가는 경로에 위치한 출구측 슬릿(6)과 PM 튜브(7)가 F_l,F₂.F₃의 진동수를 가진 빛의 강도를 측정한다. PM 튜브에 의해 측정된 강도들, I₁,I₂,I₃는 A/D콘버터(12)를 거쳐 디지탈신호로 바꿔주고 앰플리파이어(12)에 의해 증폭되어 컴퓨터(13)에 기억된다. 이때 I₁,I₂,I₃는 농도를 알고있는 원소를 포함한 표준샘플(1)에 의한 강도들이므로 각 원소의 알려진 농도 C₁,C₂,C₃에 각각 해당하는 강도들이다. 표준샘플(1)에 의한 측정이 끝난후 표준샘플(1)을 제거하고 원소의 종류는 알려져 있고 농도가 알려지지 않은 합금을 표준샘플(1)의 측정과 같은 과정으로 측정하면 알려지지 않은 원소의 농도 C'₁,C'₂,C'₃에 해당되는 강도, I'₁,I'₂,I'₃가 컴퓨터(13)에 기억되고 컴퓨터(13)에 내장된 소프트웨어에 의해 I'₁,I'₂,I'₃와 I₁,I₂,I₃를 비교하여 알려지지 않는 농도 C'₁,C'₂,C'₃의 값이됨으로서 측정하고자 하는 원소의 농도를 알아낼 수 있다.At this time, the exit slit 6 and the PM tube 7 located in the path through which the F ₁ , F ₂ .F ₃ light is diffracted measure the intensity of the light having the frequency of F ₁ , F ₂ .F ₃ . The intensities measured by the PM tube, I ₁ , I ₂ , I _3, are converted into a digital signal via the A / D converter 12 and amplified by the amplifier 12 and stored in the computer 13. In this case, since I ₁ , I ₂ , and I ₃ are the intensities of the standard sample (1) including the element whose concentration is known, the intensities corresponding to the known concentrations C ₁ , C ₂ and C ₃ of each element are respectively. After the measurement by the standard sample (1) is completed, the standard sample (1) is removed, and the alloy of which the element type is known and the concentration is unknown is measured by the same process as the measurement of the standard sample (1). _{_{'1, C' 2, C}} ' strength corresponding to the _{_{3, I' 1, I '}} 2, I' 3 is I by the software embedded within the memory and the computer 13 to the computer 13 _'1, I' _2, I by being a value of _'3 and I _1, I _2, an unknown concentration by comparing the _{_{I 3 C' 1, C '}} 2, C' 3 can determine the elemental concentrations of the to be measured.

그러나, 이와같은 종래장치는 여러종류의 무기물 원소를 동시에 분석하기 위해서는 고가의 여러개의 PM 튜브(7)가 필요하며, PM 튜브(7)를 동작시키기 위한 고전압회로 및 안전장치가 필요하다. 또한 고전압이 인가되는 PM 튜브(7)의 안전거리를 유지하면서 그레이팅(4)으로부터 회절칠된 빛을 높은 분해능을 가지고 분해하기 위해서는 그레이팅(4)으로 부터 PM 튜브(7)까지의 거리가 길어져 스펙트로메타(8)가 대형화되는 문제점이 있었다.However, such a conventional apparatus requires several expensive PM tubes 7 to simultaneously analyze various kinds of inorganic elements, and requires a high voltage circuit and a safety device for operating the PM tubes 7. In addition, in order to decompose diffracted light from the grating 4 with high resolution while maintaining the safety distance of the PM tube 7 to which high voltage is applied, the distance from the grating 4 to the PM tube 7 is increased. There was a problem that the meta 8 was enlarged.

본 발명은 이와같은 종래의 제반결함을 해소하기 위하여 창안한 것으로, 이를 첨부한 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The present invention was devised to solve such a conventional defect, and it will be described in detail with reference to the accompanying drawings as follows.

제2도 내지 제5도에 도시한 바와같이, 본 발명에 따른 분석장치는 파장을 가변할수 있는 레이저빔을 발산하기 위한 레이저(21), 레이저빔(1)의 파장을 가변하고 전원을 공급하는 레이저구동회로부(22) 및 램프발생기(23), 레이저빔(1)의 발산광을 집속하는 집속렌즈(24), 레이저빔(1)이 GDL(25)을 통과하도륵 하는 창(26), GDL(25)로 부터 나오는 레이저빔을 분광하여 검지하는 스펙트로메타(27), GDL(25)의 동작조건을 형성하는 진공 및 알곤가스공급시스템(28) 및 고전압전원공급기(29), 스펙트로메타(27)에 내장된 포토다이오드(30)(제2도에는 도시되지 않음)로 부터의 시그널을 증폭하고 디지탈신호로 바꾸는 A/D콘버터 및 증폭기(31), 이로부터의 시그널을 분석하고 주변장치를 조정하는 컴퓨터(32)로 구성되어 있다.As shown in Figs. 2 to 5, the analysis apparatus according to the present invention is adapted to supply power by varying the wavelength of the laser 21 and the laser beam 1 for emitting a laser beam which can vary the wavelength. A laser driving circuit section 22, a lamp generator 23, a focusing lens 24 for focusing the divergent light of the laser beam 1, a window 26 through which the laser beam 1 passes through the GDL 25, Spectrometer (27) for spectroscopically detecting the laser beam from the GDL (25), vacuum and argon gas supply system (28) and high voltage power supply (29), spectrometer (forming the operating conditions of the GDL 25) 27) A / D converter and amplifier 31 which amplifies the signal from the photodiode 30 (not shown in FIG. 2) and converts it into a digital signal, analyzes the signal therefrom, and analyzes the peripheral device. It consists of the computer 32 to adjust.

제3도 및 제4도는 본 발명 스펙트로메타(27)의 상세도로서, 그 내부에 진공을 유지시키면서 레이저빔을 통과시키는 창(33), 그 창(33)을 통과하는 레이저빔을 집속시키는 집속렌즈(34), 입구측슬릿(35). 레이저빔을 회전시키기 위한 음향-광학(A/O) 물질(36), A/O 물질(36)에 고진동수 오실레이터(37)로 부터의 고진동수시그널을 인가하는 압전트랜스듀서(PET : Piexo-electric transducer)(38), 회절된 레이저빔을 집속하는 집속렌즈(39), 집속렌즈(39)의 궤적을 따라 곡률을 가지면서 출구측 슬릿(40)이 설치된 슬릿판(41), 그리고 레이저빔을 감지하는 포토다이오드(30)로 구성되어 있으며 집속렌즈(34)에 의해 레이저빔은 집속면(42)상에 맺혀지게 구성된다 [ 집속면(42)외 위치는 A/O 물질 (36)의 1/2이 되는 지점이다.]3 and 4 are detailed views of the spectrometer 27 of the present invention, focusing on concentrating a laser beam passing through the window 33 and a window 33 through which the laser beam passes while maintaining a vacuum therein. Lens 34, entrance side slit 35. Piezoelectric transducers (PET: Piexo-) for applying high-frequency signals from the high-frequency oscillator 37 to the acoustic-optical (A / O) material 36 and the A / O material 36 for rotating the laser beam. electric transducer 38, a focusing lens 39 for focusing the diffracted laser beam, a slit plate 41 provided with an exit slit 40 with a curvature along the trajectory of the focusing lens 39, and a laser beam It is composed of a photodiode 30 for detecting a laser beam is focused on the focusing surface 42 by the focusing lens 34 (where the position outside the focusing surface 42 is the A / O material 36 1/2 point.]

이와같이된 본 발명은 종래의 기술과 같이 GDL(25)을 동작시키면, 샘플(43)로 부터 어느정도 떨어진 위치(이 위치는 GDL내의 압렵 및 공급전압에 의하여 결정된다)에서 플라즈마(44)가 형성된다. 샘플(43)로부터 플라즈마(44)까지의 공간은 원소의 원자들이 샘플(43)로부터 플라즈마(44)를 향하여 가속되고 있는 공간<이 공간을 통상 다크스패이스(dark space)라 부른다>이다. 이때 램프발생기(23)와 레이저구동회로부(7)에 의하여 파장이 가변하는 레이저빔은 집속렌즈(24)와 창(26)을 통하여 다크스페이스에 입사된다.According to the present invention, when the GDL 25 is operated as in the conventional art, the plasma 44 is formed at a position slightly separated from the sample 43 (this position is determined by pressure and supply voltage in the GDL). . The space from the sample 43 to the plasma 44 is the space in which the atoms of the element are being accelerated from the sample 43 toward the plasma 44 (this space is commonly referred to as dark space). At this time, the laser beam whose wavelength is changed by the lamp generator 23 and the laser driving circuit unit 7 is incident on the dark space through the focusing lens 24 and the window 26.

만약, 측정하고자 하는 원소의 공명진동수가 F₁,F₂,F₃이고, Fmin<F₁,F₂‥‥Fn<Fmax와 같은 조건을 만족하는 원소라면 레이저빔의 파장이 Fmin으로 부터 Fmax가지 변화하면서 F_l,F₂‥‥Fn과 일치하였을때 F_l,F₂,‥‥Fn의 공명진동수를 가진 원소들은 레이저빔의 얘너지를 흡수하여 여기된다. 즉, 흡수되기전 레이저빔의 강도가 I₀라하면, 원자들에 의해 흡수된 후의 강도는 I₁,I₂,‥‥‥In이 된다.If the resonance frequencies of the element to be measured are F ₁ , F ₂ , F ₃ , and Fmin <F ₁ , F ₂ ‥‥ Fn <Fmax, the wavelength of the laser beam is Fmax to Fmax. When the change coincides with F ₁ , F ₂ ... Fn, elements with resonance frequencies F ₁ , F ₂ , ... Fn are excited by absorbing the energy of the laser beam. That is, if the intensity of the laser beam before absorption is I ₀ , the intensity after absorption by the atoms becomes I ₁ , I ₂ ,.

이렇게 에너지가 감소된 레이저빔은 측정하고자 하는 진동수 F₁,F₂,‥‥‥Fn의 빛이 A/O 물질(36)에 입사되어 회절된 후 지나가는 경로에 위치한 출구측슬릿(40)과 포토다이오드(30)에 의해 검지된다. A/O 물질(36)에 인가되는 고진동수는 고진동수 오실레이터(37)에 의해 공급된다. 만약에 농도가 알려진 3종류의 원소로된 표준샘플을 측정할 경우 원소들의 공명진동수가 F₁,F₂,F₃라 하자(이때 레이저빔의 변화 범위는 Fmin<F_l,F₂,F₃<Fmax가 조건을 만족하도록 해야한다). 레이저빔의 진동수가 Fmin으로 부터 Fmax가지 변하는 한 주기동안에 원소들에 의한 에너지의 흡수가 발생하여 레이저빔의 강도가 감소된다. 이러한 레이저빔은 창(33)을 통해서 집속렌즈(34)에 의해 A/O 물질(36)에 입사된다. 고진동수가 인가된 A/O 물질(36)은 제5도와 같이 밀도가 고 진동수가 시그널에 의해 변하여 그레니팅역할을 하게 되어 입사된 레이저빔을 회절시킨다. 제5도에서 a는 A/O 물질(36)이 인가된 고 진동수에 의해 굴절율이 변한 부분이고, b는 고진동수가 가해지지 않았을때의 A/O 물질(36) 고유의 굴절율이 유지되는 부분을 표시한 것이다. 이와같이 주기적으로 굴절율이 다른 a,b부분이 형성되어 그레이팅역할을 하게 된다.The energy-reduced laser beam has an exit side slit 40 and a photo located in a path through which light of the frequencies F ₁ , F ₂ , ....., Fn is incident on the A / O material 36 and diffracted. It is detected by the diode 30. The high frequency applied to the A / O material 36 is supplied by the high frequency oscillator 37. If the standard sample of three kinds of known concentrations is measured, let the resonance frequencies of the elements be F ₁ , F ₂ , F ₃ (wherein the variation range of the laser beam is Fmin <F _l , F ₂ , F ₃ <Fmax must be satisfied). Absorption of energy by the elements occurs during one period in which the frequency of the laser beam varies from Fmin to Fmax, thereby reducing the intensity of the laser beam. This laser beam is incident on the A / O material 36 by the focusing lens 34 through the window 33. The high frequency applied A / O material 36, as shown in FIG. 5, has a high density and is changed by a signal to serve as a granulating role to diffract an incident laser beam. In FIG. 5, a is a portion where the refractive index is changed by the high frequency to which the A / O material 36 is applied, and b is a portion where the intrinsic refractive index of the A / O material 36 is maintained when high frequency is not applied. It is displayed. As described above, a and b portions having different refractive indices are formed periodically to play a grating role.

레이저빔은 그 파장이 증가할수록 회절공식 d(sinθ₁+sinθ₀)= mλ<여기서, θ₁는 입사각, θ₀는 회절각, m은 회절차수, λ는 파장이다>에 따라 A에서 B를 향하여(제3도) 회절한다. 회절된 레이저빔은 측정하고자 하는 원소의 진동수 F₁,F₂,F₃가 회절되어 지나가는 경로에 위치한 출구측 슬릿(40)과 포토다이오드(30)에 의해 레이저빔의 진동수가 F_l,F₂,F₃와 같게 되었을때에만 측정된다. 이렇게 측정된 강도를 I₁,I₂,I₃라 하면 이 값은 원소의 알려진 농도 C_l,C₂,C₃에 의한 레이저빔의 감소된 강도이다.As the wavelength of the laser beam increases, the diffraction equation d (sinθ ₁ + sinθ ₀ ) = mλ <where θ ₁ is the incident angle, θ ₀ is the diffraction angle, m is the diffraction order, and λ is the wavelength. Diffract toward (FIG. 3). The frequency of the laser beam by the outlet slit 40 and the photodiode 30 is located in the diffracted laser beam is an element frequency of F _1, to be measured F _2, F ₃ is diffracted the passing path F _l, F ₂ It is only measured when F ₃ is equal to. If the measured intensity is I ₁ , I ₂ , I ₃ , this value is the reduced intensity of the laser beam by the known concentrations of elements C ₁ , C ₂ , C ₃ .

또한 이 값은 증폭기에 의해 증폭되고 A/D콘버터를 거쳐 컴퓨터(32)에 기억된다. 표준샘플을 제거하고 표푼샘플과 같은 원소로 구성되었으나 농도가 알려지지 않는 샘플을 이와같은 과정으로 측정하면, 알려지지 않는 원소의 농도 I₁,I₂,I₃의 감소된 레이저빔 강도가 구해진다. 이때 컴퓨터(32)는 분석용 소프트웨어로 I₁,I₂,I₃와 I'₁,I'₂,I'₃의 값을 비교 계산하여 C₁,C₂,C₃의 값을 구함으로써 알려지지 않는 원소들의 농도를 측정할 수 있다.This value is also amplified by the amplifier and stored in the computer 32 via the A / D converter. By removing the standard sample and measuring a sample composed of the same elements as the sample but with an unknown concentration, a reduced laser beam intensity of unknown concentrations I ₁ , I ₂ , and I ₃ is obtained. At this time, the computer 32 is known by analyzing and comparing the values of I ₁ , I ₂ , I ₃ with I ' ₁ , I' ₂ , I ' _{3 to obtain} the values of C ₁ , C ₂ , C ₃ . Can measure the concentration of elements that do not.

출구측 슬릿(40)과 포로다이오드(30)의 수량 및 위치는 측정하고자 하는 원소의 수와 진동수에 의하여 결정되므로 한번 측정에 여러가지의 원소를 동시에 측정할 수 있게 되고 원소의 진동수에 따라 레이저에 인가되는 전류를 변화시킴으로써 레이저의 진동수를 Fmin<F_l,F₂,F₃,<Fmax의 조건을 만족하도록 가별할 수 있다.The quantity and position of the exit side slit 40 and the photodiode 30 are determined by the number and frequency of the elements to be measured, so that various elements can be measured simultaneously in one measurement and applied to the laser according to the frequency of the elements. The frequency of the laser can be discriminated so as to satisfy the conditions of Fmin < F _l , F ₂ , F ₃ , <

(제6도 참조).(See Figure 6.)

제6도에서 I는 레이저에 가하여지는 전류, I_th는 레이저가 동작하기 위한 드레시홀드 전류, Fmax는 파장이 최대일때의 레이저 진동수, Fmin은 파장이 최소일때의 레이저 진동수이다.In FIG. 6, I is the current applied to the laser, I _th is the threshold current for operating the laser, Fmax is the laser frequency when the wavelength is maximum, and Fmin is the laser frequency when the wavelength is minimum.

이상에서 설명한 본 발명에 의한 스펙트로메타는 고가의 튜브를 가격이 저렴한 포토다이오드로 대치할 수 있게 하여, A/O 물질에 인가되는 진동수를 회로적으로 간단하게 가변함으로써 원하는 분해능(resolution)을 얻을 수 있다. 또한. FM 튜브사용에 의한 FM 튜브용 고전압회로 및 안정장치도 제거할 수 있게 되어 매우 경제적이다.The spectrometer according to the present invention described above can replace an expensive tube with an inexpensive photodiode, and simply change the frequency applied to the A / O material in a circuit to obtain a desired resolution. have. Also. It is very economical to remove high voltage circuit and stabilizer for FM tube by using FM tube.

Claims

Spectro of inorganic element concentration analyzer using a laser having a variable wavelength and spectroscopy light by an A / O modulator using an acoustic-optic material to measure the intensity according to the wavelength of the laser beam. Meta.

The electrometer of the water element concentration analyzer according to claim 1, wherein the slit plate has a curvature along the focal locus of the lens focusing the diffracted light.

The spectrometer according to claim 1, wherein the laser is a semiconductor laser, and the current varies the laser frequency by modulation.