KR900005075A - 배기 특성을 개량한 다단 진공 펌프 장치 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 관한 진공펌프 장치의 실시예를 설명코져 개략적으로 도시한 단면 계통도
제 2 도는 1단 진공펌프와 다단 진공펌프의 배기특성을 표시한 그래프.
Claims (1)
- 다단(多段)타잎의 진공펌프에 있어서 1단(2)흡입측으로는 피진공기구(미도시)로부터 연통 접속되어 연장되는 제 1관로(3)를 접속하고, 2단(2')의 흡입측으로는 상기 제 1관로(3)로부터 연장되는 제 1 개.폐밸브(11)가 부착된 제 2 관로(7)를 연통접속하며, 상기 1단(2)의 배기측으로는 상기 제 2관로(7)에의 제1개.폐밸브 후측으로부터 연장되는 제2개.폐밸브(13)가 부착된 제 3관로(9)를 연통 접속하여, 대기압 상태에서는 상기 밸브중 제 1개.폐밸브(11)만을 개방함에 의해 제 1,2관로(3)(7)를 통해 흡입되는 공기를 1,2단 진공펌프(2)(2')로서 동시에 흡.배기토록 하여 대기압(760mmHg)부터 일정 진공도까지는 배기속도가 우수한 1단 타잎진공펌프로 작동되게 하고, 그 후부터는 제 1개.폐밸브는 폐쇄하고 제2개.폐밸브(13)는 개방함에 의해, 제1 관로(3)를 통해 흡입되는 공기는 1차로 1단(2)에서 흡.배기함과 아울러 미쳐 배기되지 못한 잔류 공기는 2차로 2단(2')에서 흡.배기토록 하여 도달 진공도가 높게 되는 다단타잎 진공펌프로서 작동되게 구성하여 배기특성을 개량한 다단 진공펌프장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019880011773A KR900005075A (ko) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 배기 특성을 개량한 다단 진공 펌프 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019880011773A KR900005075A (ko) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 배기 특성을 개량한 다단 진공 펌프 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR900005075A true KR900005075A (ko) | 1990-04-13 |
Family
ID=68137749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019880011773A KR900005075A (ko) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 배기 특성을 개량한 다단 진공 펌프 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR900005075A (ko) |
-
1988
- 1988-09-12 KR KR1019880011773A patent/KR900005075A/ko not_active Application Discontinuation
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