KR900002398A - 캐리어를 반송하기 위한 핸들링 장치 및 캐리어 반송방법 - Google Patents

캐리어를 반송하기 위한 핸들링 장치 및 캐리어 반송방법 Download PDF

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KR900002398A
KR900002398A KR1019880009135A KR880009135A KR900002398A KR 900002398 A KR900002398 A KR 900002398A KR 1019880009135 A KR1019880009135 A KR 1019880009135A KR 880009135 A KR880009135 A KR 880009135A KR 900002398 A KR900002398 A KR 900002398A
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테루오 아사카와
테츠 오오사와
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고다까 토시오
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

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내용 없음

Description

캐리어를 반송하기 위한 핸들링 장치 및 캐리어 반송방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에서 원통형 스토커(Stocker) 및 핸들링 장치가 착설된 임프랜터(Implanter)를 개념적으로 나타내는 평면도.
제2도는 본 발명에서 핸들링 장치를 구비한 원통형 스토커를 개념적으로 나타내는 사시도.
제3도는 본 발명에서 핸들링 장치를 구비한 원통형 스토커를 일부를 절격하여 내부를 나타내는 종단면도.

Claims (20)

  1. 하나의 위치에 다른위치로 피반송물을 반송하는 제1의 이동수단과, 상기 제1의 이동수단은 아암부재, 상기 피반송물을 얹어놓은 상기 아암부재를 구비한 얹어놓는부와, 상기 아암부재를 요동시키는 수단과, 상기 하나의 위치에 상기 제1의 이동수단을 이동시키는 제2의 이동수단과, 상기 하나의 위치에 배치된 상기 피반송물을 빼내고 또한 얹어놓는 부위에 상기 피반송물을 빼내어 얹어놓고, 다음에 상기 얹어놓는 부에서부터 피반송물을 빼냄을 해제하도록, 아암부재가 요동될때에, 상기 다른 위치에서 이동하는 상기 제1의 이동수단과를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2의 이동수단은 승강수단 및 수평이동 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  3. 제1항에 있어서, 얹어놓는부에 접촉 방지용 센서(13a) 및 피반송체의 존재를 확인하는 센서(13b)를 형성한 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  4. 제1항에 있어서, 아암부재(5)에 곧바로 선 핑거부재를 형성하고, 피취출물의 유지 자세가 변화되더라도 탈락함이 없는 보호지지되도록 한 얹어놓는부를 형성하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  5. 제1항에 있어서, 아암부재(5)의 메인아암이 부메랑형상과 같이 구부러져 있는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 아암부재(5)의 외형을 매끄러운 날개 형상으로 형성한것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 승강수단 및 상기 요동수단의 외형을 유선형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  8. 제1항에 있어서,상기 아암부재(5)의 요동수단으로서 직접 접촉구동기구를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 아암부재(5)를 요동시키는 수단으로서 감아거는 전달구동 기구를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  10. 제2항에 있어서, 승강 수단으로서 보을나사 및 너트를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  11. 제1항에 있어서, 수평 이동수단으로써 기어 전달구동 기구를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  12. 제2항에 있어서, 승강 수단으로서 기어 전달구동 기구를 사용하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  13. 제2항에 있어서, 승강수단에 리니어가이드 기구를 형성하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  14. 제2항에 있어서, 수평이동수단에 리니어가이드 기구를 형성하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  15. 제2항에 있어서, 수평이동수단에 감아거는 전달구동 기구를 형성하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 제1의 이동수단을 캐리지에 얹어 싣는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  17. 제16항에 있어서, 캐리지를 레일로써 가이드하는 것을 특징으로 하는 핸들링 장치.
  18. 하나의 위치에 배치된 피반송물중 적어도 하나를 빼내고 또한 제2의 이동수단 및 요동수단의 사용에 의하여 제1의 이동수단의 얹어놓는 부위에 피반송물을 빼내어 얹어놓는 과정과; 요동수단이 요동하는 동안에 제2의 이동수단의 사용에 위하여 하나의 위치에서부터 다른 위치로 피반송물을 빼내어 이동하는 과정과; 제2의 이동수단 및 요동수단의 사용에 의하여 다른 위치에 얹어놓는 부에서 피반송물을 빼냄을 해제하는 과정으로 이루어지고, 상기 하나의 위치에서 다른 위치로 피반송물을 반송하는 제1의 이동수단과, 상기 제1의 이동수단은 아암부재, 상기 피반송물을 얹어놓는 상기 아암부재를 구비한 얹어놓는부와, 상기 아암부재를 요동시키는 수단과, 상기 하나의 위치에 상기 제1의 이동수단을 이동시키는 제2의 이동수단과, 상기 하나의 위치에 배치된 상기 피반송물을 빼내고 또한 얹어놓는 부위에 상기 피반송물을 빼내에 얹어놓고, 다음에 상기 얹어놓는 부에서부터 피반송물의빼냄을 해제하도록, 아암부재가 요동될때에, 상기 다른위치에서 이동하는 상기 제1의 이동수단과를 구비하고, 있는 핸들링 장치의 사용에 의한 피반송물의 반송방법.
  19. 제18항에 있어서, 한대의 핸들링 장치로써 2개 또는 그 이상의 캐리어(11)를 반송하는 캐리어 반송방법.
  20. 제18항에 있어서, 얹어놓는 부위에 에어컨디션 장치(70)를 착설하여 반송중의 캐리어(11)를 공기를 뿜어내는 캐리어 반송방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880009135A 1988-07-21 1988-07-21 캐리어를 반송하기 위한 핸들링 장치 및 캐리어 반송방법 KR0134028B1 (ko)

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