KR890005216B1 - 컴퓨터 제어에 의한 웨이퍼나 기판등 피검사물의 자동 검사장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

컴퓨터 제어에 의한 웨이퍼나 기판등 피검사물의 자동 검사장치

제 1 도는 본 발명의 사시도.

제 2 도는 피검사물 홀더와 홀더의 구동부를 나타낸 상부체의 저면 사시도.

제 3 도응 홀더부분만을 도시한 문해사시도.

제 4(a)도, 제4(b)도는 홀더에 의해 피검사물이 고정되는 상태를 나타낸 단면도.

제 5 도는 피검사물 각도 조절부의 일부 사시도.

제 6(a)도, 제6(b)도는 피검사물의 각도 조절을 위한 이동편의 작동상태 단면도.

제 7 (a)도, 제7(b)도는 피검사물의 각도 조절상태를 나타낸 일부 평면도.

제 8 도는 연속작업을 위해 본 발명 장치를 다수 연결한 상태의 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의설명

1 : 검사기 2 : 하부케이스

5 : 상부케이스 6 : 힌지

8 : 지지대 13 : 작동판

17 : 상판 17a : 걸림돌기

18 : 하판 18a : 돌출부

19 : 실린더고정판 20 : 에어실린더

21 : 이동편

본 발명은 컴퓨터 제어에 의한 웨이퍼(Wafer)나 기판(P.C.B) (이하 "웨이퍼"라 약칭함)등 피검사물의 자동검사장치에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 피검사물을 작업대의 상방에서 클램핑(Clamping)하여 연속적인 검사작용이 가능하게 하고 피검사물의 클램핑 각도가 자동적으로 정확히 조절될 수 있게 한 것이다.

일반적으로 웨이퍼가 부착된 프레임을 현미경의 하방으로 이송한 후 전·후, 좌　우 방향으로 연속적으로 이동시키면서 웨이퍼의 불량여부를 검사하는 장치는 알려져 있다.

그러나 종래의 장치는 모두 피검사물을 작업대의 하방에서 클램핑하여 이송시키도록 되어 있고 이에 따라 하나의 작업대에서 피검사물을 검사하는 동안에는 검사중인 피검사물의 상방 또는 하방으로 또다른 피검사물을 이송시킬 수 없기 때문에 여러대의 기계를 일열로 설치하여 연속적인 검사작업을 하는 것이 불가능했고, 검사된 제품의 이동이 불편했으며, 또 피검사물이 프레임에 정확히 부착되지 못한 경우 피검사물의 각도를 수동적으로 조절하거나 또는 별도 조절장치에 의해 피검사물의 각도를 조절한후 다시 소정위치로 이송시켜 주어야하는 불편이 있었다.

본 발명은 하나의 검사기에서 피검사물을 검사하는 동안에도 또다른 피검사물을 다음 검사기로 이송시며 연속적인 검사작업을 가능하게 하고, 또한 피검사물의 부착위치가 정확하지 않은 경우에는 이를 감지하여 피검사물의 각도를 자동적으로 정확히 조절할 수 있는 장치를 제공하기 위한 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 검사기에는 피검사물을 클램핑하기 위한 홀더부분이 작업대의 상방에 위치되어 항상 하방으로 또다른 피검사물이 이송될 수 있도록 되어 있고 홀더부분의 후방에는 피검사물의 각도를 조절할 수 있는 이동편이 설치되어 있다.

이하 본 발명을 첨부된 도면에 의해 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제 1 도는 본 발명 장치에 사용되는 검사기(1)의 일부 분해사시도이고, 제 8 도는 작업대 (24)위에 여러대의 검사기를 일방향으로 연결시켜 연속적인 검사작업을 가능하게 한 상태의 사시도이다. 검사기 (1) 는 제 1 도와 같이 하부 케이스 (2) 와 상부 케이스(5)로 분할 형성된 후 힌지(6)로 연결되어 필요시 상부 케이스 (5)를 뒤로 젖힐 수 있게 되어 있으며 하부 케이스(2)의 전면에는 검사시 피검사물을 받쳐주기 위한 받침대 (3)가 고정되어 있고 상부케이스 (5)의 전면에는 받침대(3)의 상방에서 전·후, 좌·우로 이동하는 피검사물을 육안으로 볼 수 있는 현미경(7)이 고정되어 있다.

받침대 (3)의 상방에는 표면으로부터 약간 동출된 원형의 받침편 (4)이 설치되어 있는데, 이 받침편(4)은 내부에 장착된 스텝모우터에 의해 상,하로 승강 가능하게 설치되어 현미경(7)의 촛점을 쉽게 맞출 수 있게 되어 있고 진공흡착 수단이 있어 검사작업시 피검사물의 수평 유지는 물론 진동을 방지할 수 있게 되어 있다. 작업시 피검사물을 클램핑하기 위한 홀더는 상부 케이스(5)내에 설치되어 있다.

제 2 도는 상부케이스 (5)를 뒤집은 상태로 도시한 저면 사시도로서 상부케이스 (5)내에는 상판(17)과 하판(18)으로 구성된 홀더와 이 홀더를 좌,우 방향으로 이동시켜 주기 위한 작동판(13) 그리고 홀더와 작동판(13) 전체를 전, 후 방향으로 이동시켜 주기 위한 지지대(8)등이 설치되어 있으며, 지지대 (8)는 스탭 모우터(9)와 연결된 스크류 (11)의 회전에 의해 선형 베어링(12)을 따라 전, 후 방향으로 이동하게 되어 있고 작동판(13)은 스탭 모우터(14)와 연결된 스크류(15)의 회전에 의해 선형 베어링(16)을 따라 좌, 우 방향으로 이동하게 되어 있다.

홀더를 구성하고 있는 상판(17)와 하판(18)중에서 상판(17)의 후방에는 제 3 도 내지 제 7 도와 같이 실린더 고정판(19)이 연결되어 있고 실린더 고정판(19)과 지지대(8) 사이에는 에어실린더(20)에 의해 진퇴하는 이동편(21)이 설치되어 있다.

그리고 상판(17)의 상방에는 제 3 도와 같이 또하나의 에어실린더 (22)가 설치되어 있는데 이 에어실린더 (22)는 연결대 (23)에 의해 하판 (18)과 연결되어 에어실린더 (22)의 작동에 따라 하판 (18)이 가이드홈(10)를 따라 진퇴하도록 되어 있다.

상판(17)의 전방 저면에는 걸림돌기 (17a)가 형성되어 있고 이 걸림돌기 (17a)에 하판 (18)의 절결부가 끼워져 있으며 하판 (18)에 형성된 절결부의 후방에는 한쌍의 하향동출부 (18a) 가 형성되어 제 4 도와 같이 하판 (18)이 후진된 상태에서는 하판 (18)이 자중에 의해 하방으로 벌어져 있다가 에어실린더 (22)에 의해 하판 (18)이 전진하면 돌출부 (18a)가 걸림돌기 (17a)내로 삽입되면서 상판 (17)과 하판 (18)사이의 간격이 좁아져 피검사물을 클램핑할 수 있게 되어 있다.

각 검사기(1)는 제 8 도와 같이 작업대 (24)의 상방에 설치되며 하부케이스(2)와 상부케이스 (5) 사이에는 콘베어 (25)가 설치되어 피검사물을 이송시키도록 되어 있다.

이와같이 구성된 본고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다. 먼저 피검사물이 콘베어 (25)를 타고 이송되어 상부케이스 (5)내에 설치된 홀더의 상판 (17)부분에 이르게 되면 에어실린더 (22)가 작동하여 이 에어실린더(22)와 연결대(23)에 의해 연결된 하판 (18)을 전진시키게 되는데 하판 (18)은 후진된 상태에서는 자중에 의해 하방으로 벌어져 있다가 에어실린더 (22)에 의해 전진하면 돌출부 (18a)가 상판 (17)의 걸림돌기 (17a)에 삽입됨과 동시에 상판 (17)과의 간격이 좁아지게 되므로 피검사물은 상판 (17)과 하판 (18)사이에 클램핑된다.

이렇게 피검사물이 클램핑되면 2개의 스탭모우터 (9) (14)에 의해 피검사물이 받침대(3)와 현미경(7) 사이로 이동된 후 전·후,좌·우 방향으로 움직이면서 검사작업이 시작된다 (각 에어실린더의 작동과 스탭모우터의 작동은 별도의 컴퓨터에 의해 자동적으로 제어되도록 되어 있음).

그리고 상판(17)과 하판(18)사이에 피검사물이 클램핑되어 검사작업이 진행될때 피검사물의 클램핑 각도가 정확하지 않을 때에는 자동적으로 그 각도가 조절되는데, 피검사물의 각도가 정확하지 않을 경우에는 제6도와 같이 에어실린더(20)에 의해 실린더 고정판(19)과 지지대(8)사이에 설치된(21)이 전진하여 지지대(8)와 접속하게 되고 이동편(21)이 지지대(8)와 접속된 상태에서 스탭모우터(14)와 스크류(15)에 의해 작동판(13)을 좌측 또는 우측 방향으로 약간 이동시켜 주면 상판(17)과 하판(18)이 제7(a)도와 같은 상태에서 제7(b)도와 같이 이동편(21)을 중심으로 하여 어느 일방향으로 기울어지게 되므로 피검사물의 클램핑 각도를 조절할 수 있게 되는 것이다(클램핑 각도의 조절을 위한 스탭모우터의 작동도 컴퓨터에 의해 작동 제어 되도록 되어 있음).

또한 홀더 부분이 콘베어(25)의 상방에 위치되어 있고 이에 따라 홀더가 작동중인 상태에서도 또다른 피검사물을 콘베어 (25)로 이송시킬 수 있게 되므로 연속적인 검사적업이 가능해져 작업능률이 향상되며 검사적업의 완전 자동화가 가능해진다.

Claims (3)

1. 검사기 (1)를 하부케이스 (2)와 상부케이스 (5)로 분할 형성하여 힌지(6)로 결합하고 상부 케이스 (5) 내에는 전, 후 방향으로 이동하는 지지대 (8)와 좌, 우 방향으로 이동하는 작동판 (13) 그리고 상판 (17)과 하판 (18)으로 구성된 홀더를 설치하여 피검사물을 콘베어의 상방에서 클램핑할 수 있도록 함을 특징으로하는 컴퓨터 제어에 의한 웨이퍼나 기판등 피검사물의 자동 검사장치.
2. 제 1 항에 있어서, 홀더를 구성하는 상판 (17)의 저면에 걸림돌기 (17a)를 형성하고 하판 (18)에는 한쌍의 돌출부 (18a)를 형성하여 하판 (18)을 전진시키면 하판 (18)의 돌출부 (18a)가 걸림돌기 (17a)에 끼워짐과 동시에 피검사물이 클램핑될 수 있도록한 컴퓨터 제어에 의한 웨이퍼나 기판등 피검사물의 자동 검상장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상판 (17)의 후방에 실린더 고정판 (19)을 연결하여 에어실린더 (20)를 고정하고 실린더 고정판 (19)과 지지대 (8) 사이에는 에어실린더 (20)에 의해 진퇴하는 이동편 (21)을 설치하여 이동편 (21)의 진퇴에 따라 피검사물의 각도를 조절 할 수 있게 한 컴퓨터 제어에 의한 웨이퍼나 기판등 피검사물의 자동 검사장치.

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