KR890000942A - 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기 - Google Patents

피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기 Download PDF

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KR890000942A
KR890000942A KR1019880007659A KR880007659A KR890000942A KR 890000942 A KR890000942 A KR 890000942A KR 1019880007659 A KR1019880007659 A KR 1019880007659A KR 880007659 A KR880007659 A KR 880007659A KR 890000942 A KR890000942 A KR 890000942A
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Abstract

내용 없음

Description

피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기
제1도는 본 발명의 일실시예에 의한 피이드포워드(feedforward) 시스템이 정특성보상회로(14,20A-24A)로 포함하고 있는 공정제어기의 기본 배열을 나타내는 개통도.
제2도는 피이드포워드 시스템이 정특성보상회로(14,20A-24A)와 동특성보상회로(17,26A-28A)를 포함하고 있는 본 발명의 다른 실시예에 의한 공정제어기를 나타내는 개통도.
내용 없음

Claims (7)

  1. 제어타게트 변동치(SV)와 공정결과(PV)간의 차에 대응하는 제1신호(S12)를 출력시키기 위한 제1수단(10-12)과, 예정된 전달함수를 근거로 제1신호(S12)를 변환시켜 얻어지는 제2신호(MVn)를 출력시키기 위한 제2수단(16)과, 그리고 제어결과(PV)를 출력시키기 위해 제2신호(MVn)를 근거로 제어되는 제3수단(18)을, 포함하는 피이드백회로(a)와, 제2신호(MVn)와 현재와 종전 외부신호들(Dn,Dn-1)간의 차를 종전 외부신호(Dn-1)로서 분할하여 얻은 몫(△Dn/Dn-1)의 곱을 나타내는 정특성보상신호를 검출하기 위해, 외부신호(Dn)에 응답하며 또한 상기 제2수단(16)에 결합되는 제4수단(20A-24A)과, 제1신호(S12)와, 정특성보상신호(△Fn)의 합성신호(S14)를 상기 제2수단(16)에 공급하기 위해 상기 제4수단(20A-24A), 상기 제1수단(10-12) 및 상기 제2수단에 결합되는 제5수단(14)을 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 같는 공정제어기.
  2. 제1항에서, 상기 피이드포워드 회로는 : 외부신호(Dn)의 필요시간 차동성분값(S26A)에 대응하는 동특성보상신호(△Gn), 외부신호(Dn) 및 제2신호(MVn)를 검출하기 위해 상기 제4수단(20A-24A)에 결합되며 또한 필요시간 차동성분값(S26A)에 응답하는 제6수단(24A-28A)과, 제2신호(MVn)와 동특성보상신호(△Gn)의 합성신호(S17)를 상기 제3수단(18)에 공급하기 위해 상기 제6수단(24A-28A), 상기 제2수단(16) 및 상기 제3수단(18)에 결합되는 제7수단(17)을 더 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기.
  3. 제1항에서, 상기 피이드포워드 회로는, 또 다른 외부신호(Dn*)와 제2신호(MVn)를 외부신호(Dn)로 분할하여 얻은 신호(kn)의 적(우=kn×Dn*)에 대응하는 조정신호(S34A)를 발생시키기 위해 상기 제4수단(20A-24A)에 결합되며 또한 외부신호(Dn)에 대응하는 또 다른 외부신호(Dn*)에 응답하는 제8수단(32A-34A)과, 제1신호(S12)에 조정신호(S34A)의 합성신호를 상기 제5수단(14)에 공급하기 위해 상기 제8수단(32A-34A), 상기 제1수단(10-12) 및 상기 제5수단(14)에 결합되는 제9수단(13)을 더 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기.
  4. 제1-3항중 하나에서, 상기 제4수단(20A-24A:제1도)은, 현재와 종전의 외부신호들(Dn,Dn-1)간의 편차신호를 출력시비기 위해 외부신호(Dn)에 응답하는 편차수단
    (20A)과, 종전 외부신호(Dn-1)가 얻어질 때 얻어진 제2신호(MVn-1)를 종전 외부신호(Dn-1)에 의해 분할하여 얻은 몫신호(S24A)를 출력시키기 이한 분할수단(24A)과, 그리고 편차신호(△Dn)와 몫신호(S24A)의 곱(MVn,△Dn/Dn-1)으로부터 정특성보상신호(△Fn)를 발생시키기 위한 승산수단(22A)을 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기.
  5. 제4항에서, 상기 제4수단(20A-25A:제3도)은, 몫신호(S24A)를 저역통과 필터시켜 얻은 여파된 몫신호(kn)을 상기 승산수단(22A)에 공급하기 위해 상기 분할수단(24A)과 상기 승산수단(22A)간에 배치되는 필터수단(24A)을 더 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기.
  6. 제1항에서, 상기 제5수단(20B-22B:제4도)은 종전과 현재의 외부신호(Dn,Dn-1)간의 편차(△Dn)를 정전외부신호(Dn-1)로 분할하여 얻은 편차몫신호(S20B)를 출력시키기 위해 외부신호(Dn)에 응답하는 분하라수단(20B)과, 편차몫신호(S20B)와 제2신호(MVn)의 곱(MVn,△Dn/Dn-1)으로부터 정특성보상신호(△Fn)를 발생시키기 위한 수단을 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기.
  7. 제1-3항중 하나에서, 상기 제4수단(20C-24C : 제5도)은 현재와 종전 외부신호들(Dn,Dn-1)간의 편차신호(△Dn)를 출력시키기 위해 외부신호(Dn)에 응답하는 편차수단과, 편차신호(△Dn)와 제2신호(MVn)의 곱(MVn,△Dn)으로부터 승산신호(S22C)를 발생시키기 위한 승산수단(22C)과, 그리고 정특성보상신호(△Fn)를 출력시키도록 승산신호(S22C)를 종전 외부신호(Dn-1)로 분할하기 위한 분할수단(24C)을 포함하는 것이 특징인 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880007659A 1987-06-26 1988-06-24 피이드포워드 및 피이드백 제어의 개선된 조합을 갖는 공정제어기 KR910000871B1 (ko)

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