KR890000330B1 - Device for continuously manufacturing nitrogen gas - Google Patents
Device for continuously manufacturing nitrogen gas Download PDFInfo
- Publication number
- KR890000330B1 KR890000330B1 KR1019840001997A KR840001997A KR890000330B1 KR 890000330 B1 KR890000330 B1 KR 890000330B1 KR 1019840001997 A KR1019840001997 A KR 1019840001997A KR 840001997 A KR840001997 A KR 840001997A KR 890000330 B1 KR890000330 B1 KR 890000330B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- nitrogen gas
- nitrogen
- air
- liquid nitrogen
- gas
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
Description
제1도 종래 실시예의 구성도1 is a block diagram of a conventional embodiment
제2도 본 발명의 한 실시예의 구성도2 is a block diagram of one embodiment of the present invention
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
9 : 공기압축기 12 : 흡착통(吸着筒)9
13 : 제1의 열교환기 14 : 제2의 열교환기13: first heat exchanger 14: second heat exchanger
15 : 액체질소저장조 18 : 정류탑15: liquid nitrogen storage tank 18: rectification tower
본 발명은 질소 가스를 연속적으로 제조하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for continuously producing nitrogen gas.
전자 공업에서는 매우 다량의 질소가스가 사용되고 있다. 그러므로 가격이 저렴한 질소 가스의 공급이 요망되어 이에 부응하기 위해서 PSA방식이 도입되었으며, 그것에 의하여 질소가스가 제조공급되도록 되어있다.In the electronic industry, a very large amount of nitrogen gas is used. Therefore, in order to meet the demand of inexpensive nitrogen gas, the PSA method was introduced, whereby nitrogen gas is manufactured and supplied.
이 PSA방식에 의한 질소가스 제조장치가 제1도에 나타나 있다. 도면에서 (1)은 공기를 끌어들이는 입구 (2)는 공기압축기. (3)은 후기 냉각기, (3a)는 냉각수 공급로, (4)는 기름과 물의 분리기이다. (5)는 제1의 흡착조, (6)은 제2의 흡착조이며, (V1) 및 (V2)는 공기 작동밸브이며 공기압축기(2)에 의해서 압축된 공기가 밸브작용에 의해서 흡착조(6)로 보내진다. (V3) 및 (V4)는 진공밸브이며, 흡착조(6)내를 진공펌프(6b)의 작용으로 진공상태로 만든다. (6b)는 진공펌프(6a)에 냉각수를 공급하는 냉각파이프, (6c)는 소음장치, (6d)는 그 배기파이프이다. (V5), (V6), (V7) 및 (V9)는 공기작동 밸브이다. (7)은 제품조이며 파이프(8)에 의해서 흡착조(5), (6)에 접속되어 있다.An apparatus for producing nitrogen gas by this PSA system is shown in FIG. In the figure (1) is the inlet for drawing air (2) is an air compressor. (3) is the late cooler, (3 a ) is the cooling water supply, and (4) is the oil and water separator. (5) is the first adsorption tank, (6) is the second adsorption tank, (V 1 ) and (V 2 ) are air operated valves, and the air compressed by the air compressor (2) is adsorbed by the valve action. Sent to Joe (6). (V 3 ) and (V 4 ) are vacuum valves, and the
(7a)는 제품으로서의 질소가스를 끌어내는 파이프, (7b)는 불순물 분석계, (7c)는 유량계이다.(7 a) is a pipe to draw the nitrogen gas as a product, (7 b) is an impurity analyzer, (7 c) is a flow meter.
본 질소가스 제조장치는 공기압축기(2)에 의해서 공기를 압축하며, 이 공기 압축기(2)에 부수되는 후기 냉각기(3)에 의해서 압축된 공기를 냉각해서 분리기(4)로 응축수를 제거하고 공기작동밸브(V1) 또는 (V2)를 통과시켜서 흡착조(5), (6)로 보낸다.This nitrogen gas manufacturing apparatus compresses air by an air compressor (2), cools the air compressed by the late cooler (3) accompanying the air compressor (2), removes condensed water by the separator (4), and air Pass the operation valve (V 1 ) or (V 2 ) to the adsorption tanks (5) and (6).
2기의 흡착조(5), (6)은 각각 산소흡착용의 탄소분자체를 내장하고 있으며 이것들의 흡착조(5), (6)에는 압력스윙 방식에 의해서 매1분마다 교대로 압축 공기가 보내진다. 이 경우 압축공기가 보내지지 않고 있는 흡착조(5), (6)는 진공 펌프(6a)의 작용으로 내부가 진공상태로 된다.The two adsorption tanks (5) and (6) each contain a carbon molecular body for oxygen adsorption, and these adsorption tanks (5) and (6) alternately pressurized air every minute by a pressure swing method. Is sent. In this case, the inside by the action of compressed air to the adsorption tank (5) which, without being sent, (6) a vacuum pump (6 a) is in a vacuum state.
즉, 공기 압축기(2)에 대해서 압축된 공기는 한쪽의 흡착조(5)내로 들어가서 탄소분자체에 의해서 그 속의 산소부분을 흡착 제거하여 질소 가스로 되어 밸브(V5), (V7), (V9)를 통과해서 제품조(7)내로 보내져서 파이프(7a)로부터 끌어내진다. 이때 다른쪽의 흡착조(6)는 공기압축기(2)로부터의 공기가 밸브(V2)가 닫히므로서 차단되며 또한 밸브(V4)의 개방으로 내부가 진공펌프(6a)에 의해서 진공흡인된다.That is, the air compressed with respect to the
그 결과 탄소분자체에 흡착된 산소가 흡인제거되어 탄소분자체가 재생된다. 이와같이 해서 흡착조(5), (6)로부터 교대로 질소가스가 제품조(7)로 보내져서 제품으로서의 질소가스가 연속적으로 얻어진다.As a result, oxygen adsorbed on the carbon molecular sieve is removed by suction to regenerate the carbon molecular sieve. In this way, nitrogen gas is alternately sent to the
이와같이 본 질소가스 제조장치는 탄소분자체가 산소를 선택적으로 흡착한다는 특성을 이용해서 질소가스를 제조하기 때문에 저렴한 가격으로 질소가스를 얻을 수가 있다.In this way, the nitrogen gas production apparatus can obtain nitrogen gas at a low price because nitrogen gas is produced using the characteristic that carbon molecules selectively adsorb oxygen.
그러나, 전술한 바와같이 2기의 흡착조(5), (6)에 매1분간마다 교대로 압축공기를 보내는 동시에 다른쪽의 흡착조내를 진공흡인하므로 밸브가 다수 필요하게 되는 동시에 밸브 조작도 번잡하게 되어 고장율이 많은 결점이 있다.However, as described above, the compressed air is alternately sent to the two
그것때문에 2개1조의 흡착조(5), (6)을 2조 설치해서 1조를 예비로 하지 않으면 안되는 실정이다. 따라서 설치비가 많아지는 결점도 있다. 본 발명은 이와같은 결점을 제거하기 위해서 외부로부터 끌어들인 공기를 압축하는 공기 압축수단과 이공기 압축수단에 의해서 압축된 압축공기속의 탄산가스와 수분을 제거하는 제거수단과 액체질소를 저장하는 액체질소 저장 수단과 전술한 제거수단을 통과한 압축공기를 초저온으로 냉각하는 열교환 수단과 열교환수단에 의해서 초저온으로 냉각된 압축공기속의 산소를 액화해서 내부에 모아두고 질소만을 제품으로서의 기체로서 방출하는 정류탑을 구비한 질소가스 연속제조장치로서 액체질소 저장수단내의 액체질소를 열교환수단으로 유도해서 한냉원(寒冷源)으로 하는 동시에 한냉원으로서의 작용을 끝내고 기화된 액체질소를 대기준으로 방출하도록된 질소가스 연속제조장치를 그 요지로 하는 것이다.For this reason, two sets of two adsorption tanks (5) and (6) have to be provided and one set must be spared. Therefore, there is a drawback that the installation cost is high. The present invention provides an air compression means for compressing air drawn from the outside to remove such defects, a liquid nitrogen for storing liquid nitrogen and a removal means for removing carbon dioxide and water in the compressed air compressed by the air compression means. A heat exchange means for cooling the compressed air that has passed through the storage means and the above-described removal means to an ultra low temperature, and a rectifying tower that liquefies oxygen in the compressed air cooled to an extremely low temperature by the heat exchange means, collects therein and releases only nitrogen as a gas as a product. Nitrogen gas continuous production equipment equipped with nitrogen gas to induce liquid nitrogen in liquid nitrogen storage means to heat exchange means to be a cold source and to end the function as a cold source and to release vaporized liquid nitrogen on a large basis. The manufacturing apparatus is made into the summary.
즉, 본 질소가스 연속 제조장치는 액체질소의 증발열을 사용해서 공기압축수단에 의하여 압축된 공기를 냉각하고 이것을 정류탑으로 보내서 산소와 질소의 비등점의 차이를 이용하여서 산소를 액화하고 질소를 기체상태 그대로 끌어내기 때문에 질소가스를 저렴한 가격으로 얻을 수 있게된다. 더구나, 본 장치는 PSV방식과 같은 다수의 밸브가 필요하지 않기 때문에 고장이 적다.In other words, the present nitrogen gas continuous production apparatus uses the heat of vaporization of liquid nitrogen to cool the air compressed by the air compression means, and sends it to the rectification tower to liquefy oxygen by using the difference between the boiling point of oxygen and nitrogen and to convert nitrogen into a gaseous state. As it is pulled out as it is, nitrogen gas can be obtained at a low price. Moreover, the device is less prone to failure since a number of valves such as the PSV method are not needed.
따라서 PSA방식과 같이 2개1조의 흡착조를 예비로 또 1조를 설치할 필요가 없게 되므로 비용도 절감할 수가 있다. 본 발명을 한 실시예에 의해서 상세하게 설명하면 다음과 같다. 제2도는 본 발명의 한 실시예의 구성도이다. 도면에 있어서 (9)는 공기압축기, (10)은 드레인분리기, (11)은 프레온(freon)냉각기, (12)는 2개1조의 흡착통이다. 흡착통(12)은 내부에 분자체가 충전되어 있어서 공기압축기(9)에 의해서 압축된 공기속의 H2O 및 CO2를 흡착제거하는 작용을 한다. (13)은 제1의 열교환기이며 흡착통(12)에 의해서 H2O 및 CO2가 흡착제거된 압축공기가 보내진다. (14)는 제2의 열교환기이며 제1의 열교환기(13)을 통과한 압축공기가 보내진다. (15)는 액체질소 저장조이며, 내부의 액체질소를 파이프(16)을 통과해서 제2의 열교환기(14)로 보내어 제2의 열교환기(14) 속으로 보내진 압축공기와 열교환 시키며 계속해서 제1의 열교환기(13)내로 보내서 거기서 제1의 열교환기(13)로 보내진 압축공기와 열교환 시켜서 기화시키도록 되어있다.Therefore, as in the PSA system, it is not necessary to install two tanks in advance as well as two tanks, thereby reducing the cost. If the present invention will be described in detail by one embodiment as follows. 2 is a block diagram of one embodiment of the present invention. In the drawing, reference numeral 9 denotes an air compressor, 10 denotes a drain separator, 11 denotes a freon cooler, and 12 denotes two sets of adsorption vessels. The
제1의 열교환기(13)에 의해서 기화된 액체질소는 파이프(16a)를 통과하여 대기속으로 방출되게 되어있다. 정류탑(18)은 하부로부터 제1및 제2의 열교환기(13), (14)를 통과하여 초저온(약-170℃)으로 냉각된 압축공기를 끌어넣어서 압축공기속의 산소(비등점-183℃)를 액화시키고 질소(비등점-196℃)만을 상부로부터 배출하도록 되어있다. (18a)는 제1의 안내 파이프로서 정류탑(18)의 상부로부터 배출된 초저온의 질소가스를 제2, 제1의 열교환기(14), (13)로 안내하며 그곳에 보내지는 압축공기와 열교환시켜서 상온으로 하여 제품으로서의 가스로서 주파이프(17)로 보내는 작용을 한다.The liquid nitrogen vaporized by the first heat exchanger 13 passes through the
(18b)는 정류탑 파이프로서 정류탑(18) 하부에 모여진 액체공기(액체 질소도 제법 혼입되어 있음)를 정류탑(18)의 상부에 설치된 냉각 파이프(18c)로 안내하여 그 파이프(18c)를 냉각하는 작용을 한다.(18 b) is to guide the rectification column (18) in the lower collected liquid air (as liquid nitrogen FIG formula incorporation) as the rectifier pipe to the cooling pipe (18 c) provided in the upper portion of the rectification column (18) the pipe ( 18 c ) to cool.
(18d)는 그 파이프의 냉각을 끝낸 액체공기를 제2및 제1의 열교환기(14), (13)로 보내는 제2의 안내파이프이다. 제2및 제1의 열교환기(14), (13)의 열교환(열교환기(14), (13)내의 압축공기의 냉각)을 끝낸 액체공기는 기화해서 제1의 열교환기(13)의 방출 파이프(13a)로부터 화살표 방향과 같이 대기속으로 방출되도록 되어있다. 더구나(19)는 백엎계 라인이며 공기 압축계 라인이 고장났을때에 액체질소 저장조(15)내의 액체질소를 증발기(20)에 의하여 증발시켜서 주파이프(17)로 보내며 질소가스의 공급이 중단되는 일이 없도록 하는 것이다. 본 장치는 다음과 같이 하여 제품으로서의 질소가스를 제조한다.( 18d ) is a second guide pipe which sends the liquid air which finished cooling the pipe to the 2nd and 1st heat exchanger 14,13. After the heat exchange (cooling of the compressed air in the heat exchangers 14 and 13) of the second and first heat exchangers 14 and 13 is completed, the liquid air is vaporized to discharge the first heat exchanger 13. It is intended to be discharged from the pipe 13 a to the atmosphere in the direction of the arrow. Moreover, 19 is a sludge line and when the air compression line fails, the liquid nitrogen in the
즉, 공기압축기(9)에 의하여 공기를 압축하며 드레인 분리기(10)에 의해서 압축된 공기속의 수분을 제거하여 프레온 냉각기(11)에 의해서 냉각시키고 그 상태롤 분자체가 충전되어 있는 흡착통(12)으로 보내고 공기속의 H2O및 CO2를 흡착제거한다. 다음에는 H2O, CO2가 흡착제거된 압축공기를 제1의 열교환기(13) 및 제2의 열교환기(14)로 보내서 초저온으로 냉각하여 정류탑(18)내로 보낸다.That is, the air is compressed by the air compressor 9, the moisture in the air compressed by the
그리고 질소와 산소의 비등점의 차이(산소의 비등점 -183℃, 질소의 비등점 -196℃)를 이용해서 공기속의 산소를 액화하고 질소를 기체상태대로 끌어내어 제1의 열교환기(13)로 보내서 상온에 가깝도록 온도를 올려서 주파이프(17)로부터 제품으로서의 질소가스로서 끌어낸다.By using the difference between the boiling point of nitrogen and oxygen (boiling point of oxygen -183 ° C, boiling point of nitrogen -196 ° C), the oxygen in the air is liquefied, nitrogen is brought out in the gaseous state, and sent to the first heat exchanger 13 at room temperature. The temperature is raised to close to and drawn from the
이 경우, 액체질소 저장조(15)내의 액체질소는 제1및 제2의 열교환기(13), (14)의 한냉원으로서 작용하며그 자체는 기화하여 방출 파이프(16a)로부터 대기속으로 방출한다.In this case, the liquid nitrogen in the
이와같이 본 질소가스 제조장치에 의하면 액체질소의 증발열을 이용해서 압축공기를 냉각하여서 정류탑(18)로 보내어 산소를 분리해서 질소만을 연속적으로 끌어내기 때문에 대단히 저렴하고도 순도가 높은 질소가스를 얻을 수가 있다.As described above, according to the nitrogen gas manufacturing apparatus, the compressed air is cooled using the evaporative heat of liquid nitrogen, sent to the
즉, 정류탑(18)을 고정 밀도로 설정하므로서 순도 99.999%의 질소가스를 얻을 수 있게 된다. 이에 대해서 PSA 방식의 질소가스 제조장치로서는 기껏해야 순도 99.3%의 질소가스밖에 얻을 수가 없다. 이와같이 PSA방식의 질소가스 제조장치로서는 99.3%의 순도의 질소가스밖에 제조할 수 없기때문에 이것을 그대로 고순도의 질소가스가 요구되는 전자 공업용으로 사용할 수는 없다.That is, nitrogen gas having a purity of 99.999% can be obtained by setting the
전자공업용으로 사용하기 위해서는 별도로 정제기(精製器)를 설치하고 질소가스에 수소를 첨가해서 질소가스속의 산소(불순물)를 수소와 화합시켜서 제거(H2O로서)할 필요가 있다.In order to use for the electronics industry, it is necessary to install a purifier separately, add hydrogen to nitrogen gas, and remove (as H 2 O) oxygen (impurity) in nitrogen gas by combining with hydrogen.
그러나, 이와같이 하므로서 이번에는 질소가스속에 수소가 불순물로서 들어가게 되므로 정제기를 통과시키더라도 결국 순도는 0.3%가 향상되는데 불과하다.However, in this way, since hydrogen enters the nitrogen gas as impurities at this time, even though passing through the purifier, the purity is only improved by 0.3%.
이러한 것 외에도 PSA 방식의 질소가스 제조장치로부터 얻어지는 질소가스속에는 5-10ppm의 탄산가스가불순물로서 포함되어있기 때문에 이것을 제거하기 위해서 별도로 탄산가스용의 홉착조도 필요하게 된다.In addition to the above, since 5-10 ppm of carbon dioxide is contained in the nitrogen gas obtained from the PSA-type nitrogen gas production apparatus, a separate adhesion tank for carbon dioxide gas is required to remove this.
이에 대하여, 본 발명의 질소가스 연속제조장치에 의하면 고순도의 질소가스가 얻어지기 때문에 그것을 그대로 전자공업용으로 사용할 수가 있다. 더구나 이 가스에는 탄산가스가 포함되어 있지 않으므로 연속제조장치 내에서 제거되고 있다.On the other hand, according to the nitrogen gas continuous manufacturing apparatus of this invention, since high purity nitrogen gas is obtained, it can be used for the electronic industry as it is. Moreover, since this gas does not contain carbon dioxide, it is removed in the continuous production apparatus.
탄산가스용의 흡착조를 별도로 설치할 필요가 없다. 또한 소량의 액체질소를 공급하는 것만으로 대량의 질소가스가 얻어지게 된다.There is no need to install an adsorption tank for carbon dioxide gas separately. In addition, a large amount of nitrogen gas is obtained only by supplying a small amount of liquid nitrogen.
즉, 본 발명의 질소가스 연속제조장치에 의하면 액체질소가스 저장조로부터 100Nm3의 액체질소가스를 분축기(16)로 보내므로서 9000Nm3의 제품으로서의 질소가스를 얻을 수가 있다.In other words, according to the nitrogen gas continuous production apparatus of the present invention, nitrogen gas as a product of 9000 Nm 3 can be obtained by sending 100 Nm 3 of liquid nitrogen gas from the liquid nitrogen gas storage tank to the
이와같이 본 장치에 의하면 소량의 액체질소를 공급하는 것만으로 그 9배의 제품으로서의 질소가스가 얻어지게 되는 것이다. 따라서, 매우 저렴한 질소가스가 얻어지게 된다. 또한 PSA 방식에 의한 질소가스 세조장치에 비해서 장치가 간단하기 때문에 장치 전체가 저렴한 가격이며 또한 다수의 밸브등도 불필요하게 되므로 장치의 신뢰도가 크다.Thus, according to this apparatus, nitrogen gas as a 9 times product is obtained only by supplying a small amount of liquid nitrogen. Thus, very cheap nitrogen gas is obtained. In addition, since the apparatus is simpler than the nitrogen gas washing apparatus based on the PSA method, the entire apparatus is low in cost, and a large number of valves are unnecessary, so the reliability of the apparatus is high.
더구나, 백엎계 라인이 설치되어 있으므로 공기압축계 라인의 형편이 고르지 못할때에도 질소가스를 공급할 수 있는 것이며 질소가스의 공급이 중단되는 일이 생기지 않는다.In addition, since the sludge line is installed, nitrogen gas can be supplied even when the air compressor line is uneven, and the supply of nitrogen gas is not interrupted.
본 발명의 질소가스를 연속제조장치는 이상과 같이 구성되어 있기 때문에 가격이 저렴한 질소가스를 안정하게 공급할 수 있으며 더구나 설비가 간단하므로 고장률이 적다.Since the nitrogen gas continuous production apparatus of the present invention is configured as described above, it is possible to stably supply inexpensive nitrogen gas, and furthermore, since the equipment is simple, the failure rate is low.
따라서 PSA방식과 같이 2개1조의 흡착조를 예비로 더한 조 설치할 필요가 없게 되어서 설비비를 절감할 수 있게 된다.Therefore, there is no need to install two additional tanks as preliminary tanks like the PSA system, thereby reducing the equipment cost.
더구나, 본 발명의 질소가스 연속 제조장치는 장치의 형편이 고르지 못할때에 작동하는 백엎계 라인을 간단하게 부착할 수 있으므로 이것도 예비로 설비할 필요가 없다.In addition, the nitrogen gas continuous production apparatus of the present invention can easily attach a sludge line that operates when the equipment is uneven, and thus it is not necessary to equip it as a spare.
Claims (2)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58089855A JPS59215578A (en) | 1983-05-21 | 1983-05-21 | Device for continuously manufacturing nitrogen gas |
JP89855 | 1983-05-21 | ||
JP58-89855 | 1983-05-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR840008967A KR840008967A (en) | 1984-12-20 |
KR890000330B1 true KR890000330B1 (en) | 1989-03-14 |
Family
ID=13982396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019840001997A KR890000330B1 (en) | 1983-05-21 | 1984-04-16 | Device for continuously manufacturing nitrogen gas |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59215578A (en) |
KR (1) | KR890000330B1 (en) |
-
1983
- 1983-05-21 JP JP58089855A patent/JPS59215578A/en active Granted
-
1984
- 1984-04-16 KR KR1019840001997A patent/KR890000330B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59215578A (en) | 1984-12-05 |
JPS6217149B2 (en) | 1987-04-16 |
KR840008967A (en) | 1984-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0144430B1 (en) | Apparatus for producing high-purity nitrogen gas | |
EP0211957A1 (en) | Apparatus for producing high-purity nitrogen and oxygen gases | |
KR900005985B1 (en) | High- purity nitrogen gas production equipment | |
KR890001744B1 (en) | High-purity nitrogen gas production equipment | |
WO1985004466A1 (en) | Apparatus for producing high-purity nitrogen gas | |
KR890001767B1 (en) | Highly pure nitrogen gas producing apparatus | |
KR890001743B1 (en) | Highly pure nitrogen gas producing apparatus | |
JPS61228286A (en) | Air separator | |
KR890000330B1 (en) | Device for continuously manufacturing nitrogen gas | |
JPH06281322A (en) | Manufacturing apparatus for high purity nitrogen and oxygen gas | |
JP2672251B2 (en) | Nitrogen gas production equipment | |
KR890001742B1 (en) | Highly pure nitrogen gas producing apparatus | |
JP2540244B2 (en) | Nitrogen gas production equipment | |
KR920009314B1 (en) | High purity oxygen gas production equipment | |
JPH0587447A (en) | Producing apparatus for nitrogen gas | |
JPS60232470A (en) | Production unit for high-purity nitrogen gas | |
JP2533262B2 (en) | High-purity nitrogen and oxygen gas production equipment | |
KR900005986B1 (en) | High-purity nitrogen gas production equipment | |
JPS6115070A (en) | Production unit for high-purity nitrogen gas | |
JPH0620073Y2 (en) | Liquid nitrogen storage device | |
JPS6115068A (en) | Production unit for high-purity nitrogen gas | |
JPS59129372A (en) | Device for manufacturing nitrogen gas | |
JPH01239375A (en) | Device for manufacturing highly pure nitrogen gas | |
JPH0417346B2 (en) | ||
JPS63148080A (en) | Production unit for nitrogen gas |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20040310 Year of fee payment: 16 |
|
EXPY | Expiration of term |