KR880004449A - 자유표면 캐스팅(free surface casting)방법 및 그를 위한 슬로트 다이 - Google Patents

자유표면 캐스팅(free surface casting)방법 및 그를 위한 슬로트 다이 Download PDF

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KR880004449A
KR880004449A KR1019870010380A KR870010380A KR880004449A KR 880004449 A KR880004449 A KR 880004449A KR 1019870010380 A KR1019870010380 A KR 1019870010380A KR 870010380 A KR870010380 A KR 870010380A KR 880004449 A KR880004449 A KR 880004449A
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웨인 레퓨우 케니스
로버트 쉬프 데이빗
도널드 멀리스 리차드
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도널드 에이 호우즈
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Abstract

내용 없음

Description

자유 표면 캐스팅(free surface casting)방법 및 그를 위한 슬로트 다이
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명을 실시하는 가장 양호한 방식에 유용한 것으로 밝혀진 유형의 슬로트 다이의 사시도,
제2도는 본 발명을 실시하기 위한 디스크 피복 시스템 및 그의 제어 수단을 나타내는 도식도,
제3도는 공정중 가변 설정점들을 위한 회전 각도와 다이 압력의 상호관계를 나타태는 그래프,
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 환상 기판 3 : 스핀들
5 : 위치결정 테이블 7 : 모터 구동부
9 : 제어장치 10 : 슬로트 다이
11 : 회전 트랜스듀서 14A,14B : 다이 부재
15 : 흐름 제어 밸브 16 : 공급물 저장소
17 : 흐름 솔레노이드 밸브 18A, l8B : 랜드(land)표면
19 : 진공 솔레노이드 밸브 20 : 압출 슬로트
22 : 다이 입부분 23 : 진공펌프
24 : 제1단부 25 : 압력 트랜스듀서
26 : 제2단부 27 : 진공 제어 밸브
40 : 요홈부 42 : 압력 분배지역
46 : 도입 채널 56 : 다입 립(lip)
S : 기판 표면

Claims (15)

  1. 기판과 슬로트 다이가 서로에 대하여 회전하는 동안 슬로트 다이를 통한 소정 프로필의 층류에 의해 단일 통과에서 기판상에 필름 형성 물질의 얇은 환상층을 자유 표면 캐스팅하는 방법으로서, (a) 기판의 표면위에 밀접히 슬로트 다이를 배치하고 ; (b) 슬로트와 기판사이에 연속적인 얇은 액체 필름을 형성하도록, 슬로트 다이와 기판의 상대적인 회전 및 기판상으로의 다이 슬로트를 통한 액체의 흐름을 개시하고, (c) 소정 각도 거리에 걸쳐 상기 회전과 액체 흐름을 계속하고 ; (d) 얇은 액체 필름이 기판상의 앞서 형성된 액체층과 만나는 곳에 가까이에서 액체 흐름을 정지시키고 ; (e) 상기 회전을 정지시키고 다이와 기판사이의 액체 접촉을 단절시키는 단계들로 이루어진 자유 표면 캐스팅 방법.
  2. 지판과 슬로트 다이가 서로에 대하여 회전하는 동안 슬로트 다이를 통한 소정 프로필의 층류에 의해 단일 통과에서 기판상에 필름 형성 물질의 얇은 환상층을 자유 표면 캐스팅하는 방법으로서, (a) 고정 기판의 표면위에 밀접히 슬로트 다이를 배치하고 ; (b) 슬로트 다이와 기판의 상대적인 회전과 다이 슬로트를 통한 액체의 흐름을 개시함과 동시에, 제1의 소정 각도 거리내에서 미리 선택된 작동 비율까지 상기 회전을 가속시키고 또한 상기 흐름을 증가시키며 ; (c) 제2의 소정 각도 거리에 걸쳐 상기 미리 선택된 작동비율로 상기 회전 및 액체 흐름을 계속하고 ; (d) 제3의 소정 각도 거리내에서 상기 회전 속도를 보다 높거나 또는 낮은 일정한 비율로 변경시킴과 동시에 상기 액체 흐름을 제로까지 감소시키며 ; (e) 다이를 통한 필름 형성 액체의 흐름을 역류시키고 ; (f) 슬로트 다이가 상기 제1소정 각도 거리를 완전히 재횡단하기 전에 회전을 정지시킴과 동시에 기판 표면으로부터 먼쪽으로 슬로트 다이를 신속하게 제거하고 ; (g) 필름 형성 액체의 역류를 중단시키는 연속적인 단계들로 이루어진 자유 표면 캐스팅 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 슬로트 다이가, 입부분에서 끝나는 간격진 제1 및 제2단부들을 가진 압출 슬로트와 연통하는 압력 분배지역을 형성하도록 협동하는 1쌍의 상면하는 다이 부재들로 이루어져 있고, 상기 제1단에서의 상기 슬로트의 길이가 상기 제2단부에서의 상기 슬로트의 길이보다 더 커서, 상기 압출 슬로트를 채우고 있는 유동성 액체에의 소정 도입 압력의 부여시 상기 슬로트의 입부분을 가로질러 상기 슬로트의 제1단부로부터 제2단부까지 소정의 흐름 프로필이 형성되도록된 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 슬로트 다이가 고정 기판에 대하여 회전되는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 기판이 고정 슬로트 다이에 대하여 회전되는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 슬로트 다이의 후연부가 필름 형성 액체에 의해 적셔지지 않는 유기 물질로 피복되는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 다이를 통한 액체의 흐름이 환상층의 외측 가장자리쪽으로 갈수록 점차로 높게되는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 다이를 통한 흐름의 변동이 환상층에 대하여 슬로트 다이의 외측 가장자리쪽으로 갈수록 점차로 감소하는 길이를 다지는 랜드에 의해 행해지는 방법.
  9. 제2항에 있어서, 액체 흐름 비율이 슬로트 다이에서의 액체 압력의 폐쇄 루우프 제어에 의해 조절되고, 회전 속도는 기판 위치의 폐쇄 루우프 제어에 의해 조절되는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 압력 및 회전 속도 제어장치들의 설정점들이 기판의 위치에 의해 독립적으로 결정되는 방법.
  11. 제2항에 있어서, 피복 사이클의 종료시의 슬로트 다이내 액두(fluid head)가 액체 압력의 폐쇄 루우프 제어에 의해 조절되는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 필름 형성 액체가, 정치에 의해 평탄화된 다음, 가열 또는 광경화에 의해 교차결합되는 열 교차 결합성 중합체 물질인 방법.
  13. 제1항에 있어서, 기판에 의해 형성된 편평한 표면이나 또는 다이 슬로트에 인접한 기판의 편평한 표면에 평행한 다이의 편평한 표면의 상기 환상층의 내외측 가장자리들에서의 연속적인 차단에 의해 상기 내외측 가장자리들에서의 액체의 확산을 제어하는 단계를 더 포함하는 방법.
  14. 제1항에 있어서, 환상층의 내외측 가장자리들로부터의 기판과 슬로트 다이 하측면사이의 간격이, 환상 피복층의 내외측 가장자리들에서의 피복 액체의 확산을 감소시키기 위해 피복 지역위의 간격보다 더 크게 된 방법.
  15. 압출 슬로트와 연통하는 압력 분배 지역을 형성하도록 협동하는 1쌍의 상면하는 다이 부재들로 이루어지고, 상기 압출 슬로트는 입부분에서 끝나는 간격진 제1 및 제2단부들을 가지며, 제1단부에서의 상기 슬로트의 길이가 제2단부에서의 상기 슬로트의 길이보다 더 커서, 상기 압출 슬로트를 채우고 있는 유동성액체에의 소정 도입 압력의 부여시 상기 슬로트의 입부분을 가로질러 상기 슬로트의 제1단부로부터 제2단부까지 소정의 흐름 프로필이 형성되도록된 슬로트 다이.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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