KR860003494A - 휴대용 레이저 주사장치 - Google Patents

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KR860003494A KR1019850003149A KR850003149A KR860003494A KR 860003494 A KR860003494 A KR 860003494A KR 1019850003149 A KR1019850003149 A KR 1019850003149A KR 850003149 A KR850003149 A KR 850003149A KR 860003494 A KR860003494 A KR 860003494A
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Abstract

내용 없음

Description

휴대용 레이저 주사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 서로에 대해 정확한 관계를 이루고 있는 중요 부품을 도시한 본 발명에 따른 레이저 표면 검사장치의 분해사시도.
제 4 도는 제 3 도의 표면검사장치에 대한 측단면도.
제 6 도는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 레이저 표면검사 장치의 개략사시도.

Claims (10)

  1. 레이저 광원(21)이 레이저 비임을 발생시키고, 주사수단(27)이 레이저 비임을 수신하여 예정된 평면에 투영시키며, 웨이퍼(W)가 주사비임을 수신하도록 배치시켜서된 레이저 주사장치에 있어서, 중첩광학용기(30)를 주사수단(27)애서 웨이퍼(W) 사이에 설치하되, 주사비임이 주사수단(27)과 웨이퍼(W)까지 이동하는 동안 여러번 반사되도록 하여 주사수단과 웨이퍼 사이에 있는 레이저 비임의 전체 이동길이를 상당히 증가시키기 위해서, 상기의 중첩광학용기를 서로에 대하여 대향된 한쌍의 반사표면으로 구성 시켜서　된 레이저 주사장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기의 중첩광학용기를 서로에 대하여 간격을 두고 대향배치된 한쌍의 반사표면을 갖는 제 1 거울(31) 및 제 2 거울(32)을 구성시킨 레이저 주사장치.
  3. 제 2 항에 있어서 주사비임을 평행한 주사형태로 이동시키기 위해서, 제 1 거울(31)을 평면 반사표면으로 형성시키고, 제 2 거울(32)을 오목 반사표면으로 형성시킨 레이저 주사장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 표적평면에 소정의 길이 및 폭을 갖는 웨이퍼(W)를 위치시켜 웨이퍼 전체의 길이 및 폭에 레이저비임을 주사시키기 위해서, 레이저 비임의 주사선(L)에 대해 횡으로 연장되는 소정의 이동진로를 따라 웨이퍼를 이동시키기 위한 컨베이어(40)를 설치한 레이저 주사장치.
  5. 레이저 광원(21)이 레이저비임을 발생시키고, 주사수단(27)이 레이저 비임을 수신하여 예정된 평면에 투여시키며, 웨이퍼(W)가 주사비임을 수신하도록 배치시켜서된 레이저 표면검사장치에 있어서, 중첩광학용기(30)를 주사수단(27)과 웨이퍼(W)사이에 설치하되, 주사비임이 주사수단(27)에서 웨이퍼(W)까지 이동하는 동안 여러번 반사되도록 하여 주사수단과 웨이퍼 사이에 있는 레이저 비임의 전체 이동길이를 상당히 증가시키기 위해서, 상기의 중첩광학용기를 서로에 대하여 대향된 한쌍의 반사표면으로 구성시키고, 상기의 웨이퍼로부터 반사된 광선을 수신하며 수신된 광선으로부터 웨이퍼의 표면 특성을 탐지하기 위한 탐지수단을 설치한　것을 특징으로 하는 레이저 표면 검사장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기의 탐지수단을 암시야 광탐지기(57)와 , 상기 웨이퍼의 표면으로부터 반사된 산란광선을 상기의 암시야 광탐지기내로 투영시키기 위한 수단으로 구성시킨 레이저 표면 검사장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 산란광선을 암시야 광탐지기(57)내로 투영시키기 위한 수단을, 광선을 수신하여 상기의 탐지기내로 인도하기 위해 암시야 광탐지기(57)에 광학적으로 연결시킨 도광관(52)과, 검사표면에 인접시킨 타원형 거울(50)로 구성시켜, 타원형 거울의 촛점에서 도광관의 종축 및 검사표면과 함께 레이저 주사선의 교점에　위치 되도록　하여 검사표면으로부터 주사선을 따라 반사된 거의 모든 산란광선을 도광관내로 투영 되도록한 레이저 표면 검사장치.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기의 탐지수단을 명시야 광탐지기(39)와, 웨이퍼로부터 반사된 광선을 상기의 명시야 광탐지기내로 투영시키기 위한 수단으로 구성시키되, 반사된 비임이 웨이퍼로부터 이동하는 동안 중첩광학용기(30)에 투영된후 각각의 반사표면에 여러번 반사되어 명시야 광탐지기에 투영되도록 명시야 탐지기를 위치시킨 레이저 표면 검사장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 반사광선을 명시야 광탐지기(39)내로 투영시키기 위한 수단을, 반사비임의 중앙 상부위만을 명시야 광탐지기내를 투영시키기 위한 수단이고, 근시야 광탐지기(70) 및 중앙 상부위를 둘러싸는 반사비임의 나머지 부위를 근시야 광탐지기내로 투영시키기 위한 수단으로 구성시켜서　된 레이저 표면 검사장치.
  10. 제 8 항에 있어서, 검사표면과 광학용기 사이에 있는 반사비임의 이동진로가 입사주사비임의 예정된 평면과 다른 평면에 있으며, 입사비임으로부터 반사비임을 분리하기 위해 차폐체(80)를 입사비임면과 반사비임면 사이에 설치시켜서　된 레이저 표면검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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