KR840007459A

KR840007459A - 고성능 광학공간 필터 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR840007459A
Application number: KR1019830006217A
Authority: KR
Inventors: 리 푸섹 리챠드
Original assignee: 원본미기재; 유니버시티 오브 데이튼
Priority date: 1982-12-27
Filing date: 1983-12-27
Publication date: 1984-12-07
Also published as: EP0114524A1; US4516833A; JPS59170876A

Abstract

내용 없음.

Description

고성능 광학공간 필터 및 그 제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 간단한 광학프로세서의 개요도.

제2도는 전형적인 Ic 포토매스크의 부분적인 사진.

제7도는 피사체가 투명하거나 반투명한 물체일 때 사용되는 제6도의 장치의 한 부분의 다른 실시예를 도시한 도면.

Claims

피차체 평면에 위치한 피사체(66)에 해당하는 광학공간 필터를 제작하는 방법에 있어서, 제1간섭성 광비임(50)을 상기 피사체(66)에 방향지우고, 상기 빛(50)이 피사체에서 회절되거나 반사되도록 상기 빛이 상기 피사치(66)에 해당되는 광정보를 포함하도록 하는 단계와 퓨리에 변환 평면(69)을 정하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 단계와, 제1광학기록 수단을 상기 퓨리에 변환 평면(69)에 위치시켜 상기 기록수단을 상기 피사체 정보를 제1방향으로 부터 상기 변환 평면(69) 너머에 있는 홀로그래피 기록평면(70)을 통해 제2간섭성 광빔(52)을 투사하여 상기 제1기록수단에 의해 일부 감쇄된 정보가 빠진 피사체 정보를 함유한 광의 간섭 문늬를 상기 기록면(70)에 형성하는 단계와 상기 기록 평면(70)에 상기 부분적으로 감쇄된 피사체 정보의 제1홀로그램(88)을 기록하는 단계와 상기 제1빔(50)을 제거하고, 상기 변환평면(69)으로 부터 상기 제1기록수단을 제거하는 단계와, 제2의 광학 기록 수단을 상기 변환 평면(69)에 놓는 단계와, 상기 제1방향과 반대인 제2방향으로 부터 상기 기록 평면에 있는 상기 홀로그램(88)을 통하도록 상기 제2빔(52)을 재방향지어서 상기 홀로그램(88)으로 부터의 광학정보를 포함하는 상기 제2빔으로부터 나오는 빛으로 상기 제2기록수단을 노출시키는 단계와, 상기 정보가 상기 변환 평면(69) 안에 보이는 대로의 상기 홀로그램 정보의 적어도 한 부분에 해당하는 적어도 부분적으로 불투명한 부분을 상기 제2기록 수단위에 기록하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
제1항에서 정의된 방법에서, 상기 제1광 기록수단이 상기 변환 평면(69)안의 강도가 높은 부분만 기록되기에 충분한 시간동안 노출되는 것을 특징으로 하는 방법.
제2항에서 정의된 방법에서, 상기 제2광 기록 수단이 상기 변환 평면(69) 안에 있는 상기 제1기록 수단 위에 기록된 것보다 강도가 낮은 부분을 기록하기에 충분한 시간 동안 노출되는 것을 특징으로 하는 방법.
제1항, 2항 또는 3항에 정의된 방법에서, 상기 제1홀로그램(88)을 상기 기록평면(70)으로 부터 제거되는 단계와 상기 제1광 빔(50)을 상기 피사체(60)에 재방향지어서 상기 변환 평면(69)을 정의하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 단계와, 상기 제2빔(52)을 상기 제1방향으로 부터 상기 기록 평면을 통하도록 재방향 지우는 단계와, 상기 정보를 포함하는 상기 빛을 상기 변환 평면(69) 안에 놓인 상기 제2기록수단을 통하도록 방향지어서 상기 피사체 정보의 적어도 또 다른 한 부분을 감쇄시키는 단계와, 상기 기록평면(70)에 상기 더 부분적으로 감쇄된 피사체 정보의 제2홀로그램을 기록하는 단계와, 상기 제1빔(50)을 제거하는 단계와, 상기 변환 평면(69)으로부터 상기 제2기록 수단을 제거하는 단계와, 상기 변환 평면(69)에 제3광학 기록수단을 갖다 놓는 단계와, 상기 제2방향으로 부터 상기 기록 평면(70)에 있는 상기 제2홀로그램을 통하도록 상기 제2빔(52)을 재방향지어서 상기 제3기록수단을 상기 제2홀로그램으로 부터의 광학정보를 포함하는 상기 제2빔으로 부터의 빛으로 노출시키는 단계와, 상기 정보가 상기 변환 평면(69) 안에 나타내는대로의 상기 제2홀로그램 정보의 적어도 한 부분에 해당되는 적어도 부분적으로 불투명한 부분을 상기 제2기록 수단위에 기록하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
제1항에서 정의된 방법에서, 상기 제1 및 상기 제2광학기록 수단이 사진 감광판인 것을 특징으로 하는 방법.
제4항에서 정의된 방법에서, 상기 제1 및 상기 제2, 그리고 상기 제3광학 기록수단이 사진 감광판인 것을 특징으로 하는 방법.
사진 기술에 의한 다세대 광학 공간 필터에서, 피사체(66)를 피사체 평면안에 놓는 단계와, 제1간섭성 광 빔(50)이 상기 피사체(66)에서 회절되거나 반사되도록 상기 빛을 상기 피사체에 방향지어서 상기 빛이 상기 피사체(66)에 해당하는 광학 정보를 포함하고, 퓨리에 변환 평면(69)을 정의하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 단계와, 상기 퓨리에 변환 평면(69)에 제1광학기록수단을 갖다 놓고 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛으로 상기 기록 수단을 노출시키는 단계와, 상기 정보가 상기 변환 평면(69) 안에 나타나는 대로의 상기 피사체 정보의 적어도 일부분에 해당하는 적어도 부분적으로 불투명한 부분을 상기 제1기록 수단에 기록하는 단계와, 상기 변환평면(69) 안에 놓여진 상기 제1기록 수단을 통하도록 상기 정보를 포함하는 상기 빛을 방향지어서 상기 피사체 정보의 적어도 한 부분을 감쇄시키는 단계와, 상기 피사체 정보에서 상기 제1기록수단에 의해서부분적으로 감쇄된 상기 정보를 뺀 정보를 포함하는 상기 빛으로 상기 기록 평면에 간섭무늬를 형성하도록 제1방향으로 부터 상기 변환 평면(69) 너머에 있는 홀로그래피 기록 평면(70)을 통하도록 제2간섭성 빛 빔(52)을 방향지우는 단계와, 상기 기록 평면(70)에 상기 부분적으로 감쇄된 피사체 정보의 제1홀로그램(88)을 기록하는 단계와, 상기 제1빔(50)을 제거하고, 상기 변환 평면(69)으로 부터 상기 제1기록 수단을 제거하는 단계와, 상기 변환 평면(69)에 제2광학기록 수단을 갖다놓는 단계와, 제1방향과 반대인 제2방향으로 부터 상기 기록평면에 있는 상기 홀로그램(88)을 통하도록 상기 제2빔(52)을 방향지어서 상기 홀로그램(88)으로부터 광학정보를 포함하는 제2빔으로 부터의 빛으로 상기 제2기록수단을 노출시키는 단계와, 상기 정보가 상기 변환평면(69)안에 보이는대로의 상기 홀로그램 정보의 적어도 한 부분에 해당하는 적어도 부분적으로 불투명한 부분을 상기 제2기록 수단위에 기록하는 단계로 이어져 있는 과정으로 부터 제작되는 것을 특징으로 하는 광 공간 필터.
제7항에서 정의된 필터에서, 상기 기록 평면(70)으로 부터 상기 제1홀로그램(88)을 제거하는 과정과 상기 피사체(66)에 상기 제1광 빔(50)을 재방향시키고 상기 변환평면(9)을 정의하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 과정과, 상기 제1방향으로부터 상기 기록 평면을 통하도록 상기 제2빔(52)을 재방향지우는 과정과, 상기 변환 평면(69) 안에 놓인 상기 제2기록 수단을 통하도록 상기 정보를 포함하는 상기 빛을 방향지어서 상기 피사체 정보의 적어도 또 다른 일부분을 감쇄시키는 과정과 상기 더욱 부분적으로 감쇄된 피사체 정보의 제2홀로그램을 상기 기록 평면(70)에 기록하는 과정과, 상기 제1빔(50)을 제거하는 과정과, 상기 변환 평면(69)으로 부터 상기 제2기록 수단을 제거하는 과정과, 상기 변환 평면(69)에 제3광학 기록수단을 갖다 놓는 과정과, 상기 제2방향으로 부터 상기 기록 평면(70)에 있는 상기 제2홀로그램을 통하도록 상기 제2빔(52)을 재방향지어서 상기 제2홀로그램으로 부터의 광학 정보를 포함하는 상기 제2빔으로 부터의 빛으로 상기 제3기록 수단을 노출시키는 과정과, 상기 정보가 상기 변환평면(69)안에 보이는 대로의 상기 제2홀로그램 정보의 적어도 한 부분에 해당하는 적어도 부분적으로 불투명한 부분을 상기 제2기록 수단에 기록하는 것을 더욱 포함하는 과정으로 부터 제작되는 것을 특징으로 하는 광 공간 필터.
제7항에서 정의된 필터에서, 상기 제1 및 상기 제2광학 기록수단이 사진 감광판인 것을 특징으로 하는 광학 공간 필터.
제8항에서 정의된 필터에서 상기 제1 및 상기 제2, 그리고 상기 제3광학기록 수단이 사진 감광판인 것을 특징으로 하는 광학 공간 필터.
피사체 평면체 놓인 피사체(66)의 비주기적인 결함을 분리해내는 방법에서, 간섭성 광 빔(50)이 상기 피사체(66)에서 회절되거나 반사되도록 상기 빛을 상기 피사체에 방향지어서 상기 빛이 상기 피사체(66)에 해당하는 광학 정보를 포함하는 단계와, 퓨리에 변환 평면(69)을 정의하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 단계와, 비주기적인 결함에 해당하는 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛만이 대체적으로 필터를 통과하도록 사진 기술에 의한 다세대 광학 공간 필터를 상기 변환 평면(69) 안에 갖다 놓는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제11항에서 정의된 방법에서, 상기 필터를 통과한 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛으로 감광성 매체 위에 홀로그램(88)을 기록하는 단게와, 상기 피사체 평면으로 부터 상기피사체(66)를 제거하는 단계와, 비주기적인 결함에 해당하는 상기 홀로그램(88)으로 부터의 정보를 상기 피사체 평면에 재구성시키는 단계로 더욱 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
피사체 평면안에 놓인 피사체(66)에의 비주기적인 결함을 브리해내는 방법에서 간섭성 및 빔(50)이 상기 피사체(66)에서 회절되거나 반사되도록 상기 빛을 상기 피사체에 방향지어서 상기 빛이 상기 피사체(66)에 해당하는 광학정보를 포함하는 단계와, 퓨리에 변환 평면(69)을 정의하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 단계와, 상기 변환 평면 너머 통과한 상기 빛으로 감광성 매체 위에 홀로그램을 기록하는 단계를, 상기 피사체 평면으로 부터 상기 피사체(66)를 제거하는 단계와, 상기 변환 평면(69) 안에 사진 기술에 의한 다세대 광학 공간 필터를 갖다 놓는 단계와, 비주기적인 결함에 해당하는 상기 필터를 통과한 상기 홀로그램(88)으로 부터의 피사체 비정보만을 상기 피사체 평면에 재구성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
대체적으로 간섭성 빛 빔(42)을 발생시키는 원천(40)과, 상기 빛 빔이 상기 피사체에 의해서 회절되거나 반사되도록 상기 광 빔의 적어도 한 부분을 상기 피사체(66)에 방향지우는 수단과, 상기 피사체정보를 포함하는 상기 빛을 통과시켜서 퓨리에 변환 평면(69)을 정의하도록 상기 빛을 집중시키는 렌즈(68)로 구성된, 피사체 평면체 놓인 피사체(66)의 비주기적인 결함을 분리해내는 장치에서, 퓨리에 변환 평면(69)에 제거할 수 있도록 갖다 놓아질 수 있는 사진 기술에 의한 다세대 광학 공간 필터를 특징으로 하는 장치.
제14항에서 정의된 장치에서, 상기 피사체(66)에 방향지어지기 전에 상기 간섭성 빔(42)을 피사체 빔과 참조빔(52)(52)으로 나누어서 상기 피사체 빔(50)을 상기 피사체(66)에 방향지우는 빔 스플리터(48)와, 상기 렌즈(68)가 상기 기록 수단(70)의 한쪽 면위나 그 가까이에 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛의 상이 맺히게 하고 거기에 있는 피사체의 홀로그램을 기록하는 수단(70)과, 거기에 이미 결정된 입사각으로 제1방향으로 부터 상기 기록수단(70)의 상기 한 쪽면에 상기 참조 빔을 방향지우는 수단(M12)과, 상기 피사체 평면에 상기 피사체(66)에 속하는 결함정보를 재구성하기 위하여 상기 피사체 빔이 진행되는 것과 정확히 반대방향으로 상기 기록 수단의 반대면에서 회절하여 상기 렌즈(68)로 들어가도록 상기 제1방향과 정확히 반대인 한쌍의 방향으로 상기 기록수단(70)의 반대면에 상기 참조 빔(52)을 방향지우는 수단(M10)(M11)을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
피사체 평면에 놓인 상기 피사체(66) 또는 이것과 비슷한 피사체에 해당하는 광학 공간필터를 제작하는 방법에서, 제1간섭성 빛 빔(50)이 상기 피사체에서 회절되거나 반사되도록 원천(40)으로 부터의 제1간섭성 광 빔(50)을 상기 피사체쪽으로 방향지어서 상기 빛이 상기 피사체(66)에 해당하는 광학정보를 포함하는 단계와, 퓨리에 변환 평면을 정의하도록 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛을 집중시키는 단계와, 상기 퓨리에 변환 평면(69)에 제1사진 감광판을 갖다놓고 상기 변환평면(69)안의 강도가 높은 부분만 기록하기에 충분한 시간동안 상기 피사체 정보를 포함하는 상기 빛으로 상기 감광판을 노출시키는 단계와, 상기 강도가 높은 부분에 해당하는 어두운 부분을 만들어 내기 위해 상기 제1감광판을 현상한 다음 상기 변환 평면(69) 으로 방향지어진 강도가 높은 빛을 감쇄시키기 위하여 상기 감광판을 상기 변환평면(69) 안의 원래의 위치에 갖다놓는 단계와, 상기 피사체 정보에서 상기 제1감광판에 의하여 감쇄된 상기 정보를 뺀 정보를 포함하는 상기 빛과 상기 제2빔(52)으로 상기 기록 평면 간섭 무늬를 형성하도록 상기 제1빔(50)을 상기 피사체(66) 쪽으로 계속 방향지우면서 제1방향으로 부터 상기 변환 평면(69) 너머의 홀로그래피 기록 평면(70)을 통하도록 상기 원천(40)으로 부터의 제2간섭성 빛 빔(52)을 방향지우는 단계와, 상기 부분적으로 감쇄된 피사체 정보의 제1홀로그램(88)을 상기 기록 평면에 기록하는 단계와, 제1빔(50)을 제거하는 단계와, 상기 변환 평면(69)으로부터 상기 제1감광판을 제거하는 단계와, 상기 변환 평면(69)에 제2사진 감광판을 갖다 놓는 단계와, 상기 제1방향과 반대인 제2방향으로 부터 상기 기록 평면에 있는 상기 홀로그램(88)을 통하도록 상기 제2빔(52)을 재방향지어서 상기 변환 평면안의 상기 제1사진 강광판 위에 기록된 것보다 강도가 낮은 것과 상기 제1홀로그램을 기록하는 동안 상기 제1감광판에 의해 감쇄되었던 원래 강도가 높은 부분의 양쪽 부분을 기록하기에 충분한 시간 동안 상기 제2빔으로 부터의 빛으로 상기 제2감광판을 노출시키는 단계와, 상기 강도가 낮은 부분과 상기 원래 강도가 높은 부분에 해당하는 어두운 부분을 만들어 내기 위해 상기 제2감광판을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
제16항에서 정의된 방법에서, 상기 제1사진 감광판이 거기에서 노출된 후에 현상을 위하여 상기 변환 평면(69)으로 부터 먼 장소를 상기 변환 평면(69)으로부터 제거된 다음 상기 변환 평면(69)에 다시 갖다 놓여지고, 상기 제2사진 감광판이 거기에서 노출된 후에 현상을 위하여 상기 변환 평면(69)으로 부터 먼 장소로 상기 변환 평면으로 부터 제거되는 것을 특징으로 하는 방법.
제16항이나 17항에서 정의된 방법에서, 거기에 노출된 것과 동시에 상기 제1 및 제2사진 감광판을 떠는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
※ 참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.